輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對(duì)被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算，測量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)） 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,。PSI輪廓儀推薦廠家

輪廓儀對(duì)精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領(lǐng)域同樣如此,，雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關(guān),。例如在光學(xué)玻璃,、集成電路、汽車零部件,、機(jī)器人**器件,、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,，都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測,，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù)，其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,，以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用： 3D形貌輪廓儀可以試用嗎粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。

    超納輪廓儀的主設(shè)計(jì)簡介:

中組部第十一批“****”****,，美國KLA-Tencor（集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的**企業(yè)）***研發(fā)總監(jiān),，干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師，創(chuàng)造多項(xiàng)干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,，在光測領(lǐng)域發(fā)表23個(gè)美國專利和35篇學(xué)術(shù)論文3個(gè)研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎(jiǎng),，國家教育部***批公派研究生,83年留學(xué)美國。光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如：半導(dǎo)體,、微機(jī)電,、納米材料、生物醫(yī)療,、精密涂層,、科研院所、航空航天等領(lǐng)域,?？梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,，除了三維光學(xué)輪廓儀,，沒有其它的儀器設(shè)備可以達(dá)到其精度要求。（網(wǎng)絡(luò)）,。

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢

世界先進(jìn)水平的產(chǎn)品技術(shù)

合理的產(chǎn)品價(jià)格

24小時(shí)到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)

無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持

個(gè)性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)

更佳的產(chǎn)品性價(jià)比和更優(yōu)解決方案

非接觸式輪廓儀（光學(xué)輪廓儀）是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。（本段來自網(wǎng)絡(luò)） 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm。

輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái) ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素：

標(biāo)配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)：

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺(tái)階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 測量模式：移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）。輪廓儀有哪些應(yīng)用

輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。PSI輪廓儀推薦廠家

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單,，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)  

個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 

更好用戶體驗(yàn)： 迅捷的售后服務(wù),，個(gè)性化應(yīng)用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn)，具有穩(wěn)定性好,、承載大,、**磨損等優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度,。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,，準(zhǔn)確度高，穩(wěn)定性好,。（網(wǎng)絡(luò)） PSI輪廓儀推薦廠家

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,，是一家其他型企業(yè),。是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究,，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn)，追求新型,，在強(qiáng)化內(nèi)部管理,，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時(shí)，良好的質(zhì)量,、合理的價(jià)格,、完善的服務(wù)，在業(yè)界受到寬泛好評(píng),。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),，具有磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等多項(xiàng)業(yè)務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù),、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,，為彼此贏得全新的未來,！