輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數和尺寸，典型結果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據需求選配對應的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結構尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應的輪廓尺寸,。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通常可分為接觸時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主,。北京輪廓儀應用

1）白光輪廓儀的典型應用：

對各種產品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤,、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現,。200到400個共焦圖像通常在幾秒內被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

北京輪廓儀應用反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。

    隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了,，不少的產品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測,，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器,。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動,。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣,，并將其轉換為電信號,。電信號被放大和處理,，然后轉換成數字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計算粗糙度分量,，測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,。測量結果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出,。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工,、汽車、摩托車,、精密五金,、精密工具、刀 具,、模具,、光學元件等行業(yè)適用于研究機構、大學,、計量機構和企業(yè)計量室,。在汽車，摩托車和制冷行業(yè),，它可以測量活塞,，活塞銷，齒輪的總線參數和汽車,，摩托車和壓縮機的閥門柱塞,，可以測量各種傾斜部件的參數。在軸承工業(yè)中,，內護套環(huán)的密封槽的形狀（角度,，倒角R，槽深,，槽寬等）,；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對數曲線,；電機軸,，圓柱銷，活塞銷,，滾針軸承,，圓柱滾子軸承。

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？

答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展）,，Z向測量范圍比較大可達10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例,，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量,，檢測效率會比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數,；

4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm，或者能夠測到更小的尺寸,？

如果需要了解更多,，請訪問官網。 LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。

    輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊,，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣,，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術,，不需要任何樣本準備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用,。北京輪廓儀應用

具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存,。北京輪廓儀應用

1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊,；

    數據采集功能的講解：通訊端口、連接計算器,、等待時間等參數的解釋和參數設置,；

    實際演示一一講解；

    如何做好備份和恢復備份資料,；

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說,；

    數據庫文件應定時作備份，大變動時更應做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數據庫的流失,；

    在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數據應在培訓結束后及時刪除這些資料,。

    備注：系統(tǒng)培訓完成后應請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務中心”的電話與個人名片,，以方便顧客電話聯系咨詢,。 北京輪廓儀應用

岱美儀器技術服務（上海）有限公司主營品牌有岱美儀器技術服務，發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，該公司其他型的公司,。公司致力于為客戶提供安全、質量有保證的良好產品及服務,，是一家有限責任公司企業(yè),。公司擁有專業(yè)的技術團隊，具有磁記錄,，半導體,，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)等多項業(yè)務,。岱美儀器技術服務將以真誠的服務,、創(chuàng)新的理念、***的產品,，為彼此贏得全新的未來,！