EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹：

EV Group是納米壓印光刻（NIL）的市場**設(shè)備供應(yīng)商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進(jìn)行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求,。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結(jié)果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進(jìn)步,。

EVG ? 770是分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng),，使用分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作,。中芯國際納米壓印質(zhì)量怎么樣

EVG ® 720自動SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

自動全視野的UV納米壓印溶液達(dá)150毫米,，設(shè)有EVG's專有SmartNIL ®技術(shù)

EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu),。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結(jié)構(gòu),，具有****的吞吐量，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件,，例如衍射光學(xué)元件（ DOEs）,。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細(xì)的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。也可以訪問官網(wǎng),，獲得更多信息,。 福建納米壓印當(dāng)?shù)貎r格高 效，強(qiáng)大的SmartNIL工藝提供高圖案保真度,，擁有高度均勻圖案層和**少殘留層,，易于擴(kuò)展的晶圓尺寸和產(chǎn)量。

HERCULES®NIL：完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)

■批量生產(chǎn)低至40 nm的結(jié)構(gòu)或更小尺寸（分辨率取決于過程和模板）

■結(jié)合了預(yù)處理（清潔/涂布/烘烤/冷卻）和SmartNIL®技術(shù)

■全自動壓印和受控的低力分離,，可很大程度地重復(fù)使用工作印章

■具備工作印章制造能力

EVG®770：連續(xù)重復(fù)的納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作

■用于晶圓級光學(xué)器件的微透鏡的高 效母模制造,，直至SmartNIL®的納米結(jié)構(gòu)

■不同類型的母版的簡單實現(xiàn)

■可變的光刻膠分配模式

■分配，壓印和脫模過程中的實時圖像

■用于壓印和脫模的原位力控制

SmartNIL是行業(yè)**的NIL技術(shù),，可對小于40 nm *的極小特征進(jìn)行圖案化,，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進(jìn)行圖案化。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合,，可實現(xiàn)****的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢，同時保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本，大批量替代光刻技術(shù),。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細(xì)的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng),。

納米壓印設(shè)備哪個好,？預(yù)墨印章用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。該技術(shù)用于表面化學(xué)的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置,。

納米壓印設(shè)備可以進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱、印章,、聚合物,、基板、附加沖壓成型脫模,。

將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上,，從而將材料轉(zhuǎn)變?yōu)檎承誀顟B(tài)。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進(jìn)步,。

納米壓印設(shè)備哪個好？預(yù)墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。臺積電納米壓印干涉測量應(yīng)用

EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸。中芯國際納米壓印質(zhì)量怎么樣

       通過中心提供的試驗生產(chǎn)線基礎(chǔ)設(shè)施,，WaveOptics將超越其客戶對下個季度的預(yù)期需求,，并有一條可靠的途徑將大批量生產(chǎn)工藝和設(shè)備轉(zhuǎn)移至能夠大規(guī)模生產(chǎn)波導(dǎo)的指定設(shè)施適用于全球前列OEM品牌。

      WaveOptics與EVG的合作突顯了其致力于以可實現(xiàn)的價格提供高性能,，商用波導(dǎo)來幫助客戶將AR顯示器推向市場的承諾,。利用EVG在批量生產(chǎn)設(shè)備和工藝技術(shù)方面的專業(yè)知識，到2019年,，AR終端用戶產(chǎn)品將以不到600美元的價格進(jìn)入市場,，這是當(dāng)今行業(yè)中的*低價位。 中芯國際納米壓印質(zhì)量怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，交通便利,，環(huán)境優(yōu)美，是一家其他型企業(yè),。公司是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，以誠信務(wù)實的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團(tuán)隊,、踏實的職工隊伍,，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn),；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來,，一直堅持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會各界的普遍認(rèn)可與大力支持,。