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EV Group鍵合機(jī)質(zhì)量怎么樣

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2022-01-03

EVG?6200鍵合機(jī)選件 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn) 紅外對(duì)準(zhǔn),用于內(nèi)部基板鍵對(duì)準(zhǔn) NanoAlign?包增強(qiáng)加工能力 可與系統(tǒng)機(jī)架一起使用 掩模對(duì)準(zhǔn)器的升級(jí)可能性 技術(shù)數(shù)據(jù) 常規(guī)系統(tǒng)配置 桌面 系統(tǒng)機(jī)架:可選 隔振:被動(dòng) 對(duì)準(zhǔn)方法 背面對(duì)準(zhǔn):±2μm3σ 透明對(duì)準(zhǔn):±1μm3σ 紅外校準(zhǔn):選件 對(duì)準(zhǔn)階段 精密千分尺:手動(dòng) 可選:電動(dòng)千分尺 楔形補(bǔ)償:自動(dòng) 基板/晶圓參數(shù) 尺寸:2英寸,3英寸,,100毫米,,150毫米,200毫米 厚度:0.1-10毫米 蕞/高堆疊高度:10毫米 自動(dòng)對(duì)準(zhǔn) 可選的 處理系統(tǒng) 標(biāo)準(zhǔn):3個(gè)卡帶站 可選:蕞多5個(gè)站EVG鍵合機(jī)支持全系列晶圓鍵合工藝,,這對(duì)于當(dāng)今和未來(lái)的器件制造是至關(guān)重要,。EV Group鍵合機(jī)質(zhì)量怎么樣

GEMINI ? FB自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng) 集成平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)高精度對(duì)準(zhǔn)和熔融 特色 技術(shù)數(shù)據(jù) 半導(dǎo)體器件的垂直堆疊已經(jīng)成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法。晶圓間鍵合是實(shí)現(xiàn)3D堆疊設(shè)備的重要工藝步驟,。EVG的GEMINI FB XT集成熔融系統(tǒng)擴(kuò)展了當(dāng)前標(biāo)準(zhǔn),,并結(jié)合了更高的生產(chǎn)率,更高的對(duì)準(zhǔn)度和覆蓋精度,,適用于諸如存儲(chǔ)器堆疊,,3D片上系統(tǒng)(SoC),背面照明CMOS圖像傳感器堆疊和芯片分割等應(yīng)用,。該系統(tǒng)具有新的Smart View NT3鍵合對(duì)準(zhǔn)器,,該鍵合對(duì)準(zhǔn)器是專門為<50 nm的熔融和混合晶片鍵合對(duì)準(zhǔn)要求而開發(fā)的。EVG805鍵合機(jī)圖像傳感器應(yīng)用晶圓鍵合系統(tǒng)EVG501是適用于學(xué)術(shù)界和工業(yè)研究的多功能手動(dòng)晶圓鍵合機(jī),。

EVG?501是晶圓鍵合機(jī)系統(tǒng) 應(yīng)用:適用于學(xué)術(shù)界和工業(yè)研究的多功能手動(dòng)晶圓鍵合系統(tǒng) EVG501技術(shù)數(shù)據(jù): EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),,可以處理從單個(gè)芯片(碎片)到150mm(200mm鍵合室為200mm)的基板尺寸。該工具支持所有常見(jiàn)的晶圓鍵合工藝,,例如陽(yáng)極,,玻璃粉,焊料,,共晶,,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設(shè)計(jì)允許對(duì)不同的晶圓尺寸和工藝進(jìn)行快速便捷的重新工具化,,轉(zhuǎn)換時(shí)間不到5分鐘,。這種多功能性是大學(xué),研發(fā)機(jī)構(gòu)或小批量生產(chǎn)的理想選擇,。EVG大批量制造工具(例如EVGGEMINI)上的鍵合室設(shè)計(jì)相同,,鍵合程序易于轉(zhuǎn)移,可輕松擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模,。

目前關(guān)于晶片鍵合的研究很多,,工藝日漸成熟,但是對(duì)于表面帶有微結(jié)構(gòu)的硅片鍵合研究很少,,鍵合效果很差,。

      本文針對(duì)表面帶有微結(jié)構(gòu)硅晶圓的封裝問(wèn)題,提出一種基于采用 Ti / Au 作為金屬過(guò)渡層的硅—硅共晶鍵合的鍵合工藝,,實(shí)現(xiàn)表面帶有微結(jié)構(gòu)硅晶圓之間的鍵合,,解決鍵合對(duì)硅晶圓表面要求極高,,環(huán)境要求苛刻的問(wèn)題。

在對(duì)金層施加一定的壓力和溫度時(shí),,金層發(fā)生流動(dòng),、互 融,從而形成鍵合,。該過(guò)程對(duì)金的純度要求較高,,即當(dāng)金層 發(fā)生氧化就會(huì)影響鍵合質(zhì)量。 針對(duì)高級(jí)封裝,,MEMS,,3D集成等不同市場(chǎng)需求,EVG優(yōu)化了用于對(duì)準(zhǔn)的多個(gè)鍵合模塊,。

      一旦認(rèn)為模具有缺陷,,墨水標(biāo)記就會(huì)滲出模具,以便于視覺(jué)隔離,。典型的目標(biāo)是在100萬(wàn)個(gè)管芯中,,少于6個(gè)管芯將是有缺陷的。還需要考慮其他因素,,因此可以優(yōu)化芯片恢復(fù)率,。

      質(zhì)量體系確保模具的回收率很高。晶圓邊緣上的裸片經(jīng)常會(huì)部分丟失,。芯片上電路的實(shí)際生產(chǎn)需要時(shí)間和資源,。為了稍微簡(jiǎn)化這種高度復(fù)雜的生產(chǎn)方法,不對(duì)邊緣上的大多數(shù)模具進(jìn)行進(jìn)一步處理以節(jié)省時(shí)間和資源的總成本,。

      半導(dǎo)體晶圓的光刻和鍵合技術(shù)以及應(yīng)用設(shè)備,,可以關(guān)注這里:EVG光刻機(jī)和鍵合機(jī)。 清潔模塊-適用于GEMINI和GEMINI FB,,使用去離子水和溫和的化學(xué)清潔劑去除顆粒,。EV Group鍵合機(jī)質(zhì)量怎么樣

EVG的GEMINI系列是自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)。EV Group鍵合機(jī)質(zhì)量怎么樣

EVG®320自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)

用途:自動(dòng)單晶片清洗系統(tǒng),,可有效去除顆粒

EVG320自動(dòng)化單晶圓清洗系統(tǒng)可在處理站之間自動(dòng)處理晶圓和基板,。機(jī)械手處理系統(tǒng)可確保在盒到盒或FOUP到FOUP操作中自動(dòng)預(yù)對(duì)準(zhǔn)和裝載晶圓,。除了使用去離子水沖洗外,,配置選項(xiàng)還包括兆頻,刷子和稀釋的化學(xué)藥品清洗,。

特征

多達(dá)四個(gè)清潔站

全自動(dòng)盒帶間或FOUP到FOUP處理

可進(jìn)行雙面清潔的邊緣處理(可選)

使用1MHz的超音速噴嘴或區(qū)域傳感器(可選)進(jìn)行高/效清潔

先進(jìn)的遠(yuǎn)程診斷

防止從背面到正面的交叉污染

完全由軟件控制的清潔過(guò)程 EV Group鍵合機(jī)質(zhì)量怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司,,是一家集研發(fā),、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司,。公司自創(chuàng)立以來(lái),,投身于磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測(cè)試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對(duì)用戶產(chǎn)品上的貼心,,為用戶帶來(lái)良好體驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,,在風(fēng)云變化的時(shí)代,,對(duì)自身的建設(shè)毫不懈怠,高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。