輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸,。
白光輪廓儀的典型應(yīng)用:
對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,,粗糙度,,波溫度,面型輪廓,,表面缺 陷,,磨損情況,,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。
擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時(shí)耗力,,精確度低的缺點(diǎn),**提高加工效率,。晶圓片輪廓儀值得買
輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號,,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中,,計(jì)算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),,或放大的實(shí)際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,,也可由打印機(jī)輸出,。(來自網(wǎng)絡(luò)) NanoScopy輪廓儀當(dāng)?shù)貎r(jià)格白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例
測量種類
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基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸
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基板A Sold Mask粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌
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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域粗糙度
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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度
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基板A Trace 3D形貌和尺寸
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基板B 背面 Pad
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,急停等功能,,報(bào)警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運(yùn)動速度 **快
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,,急停等功能,報(bào)警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um)
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm
? XY運(yùn)動速度 **快
表面三維微觀形貌測量的意義
在生產(chǎn)中,,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有**直接的影響,,而且表面三維評定參數(shù)由于能更***,,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較***的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,,通??煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,其中以非接觸式測量方法為主,。
輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,,硅片外延表面缺 陷檢測,。
輪廓儀的培訓(xùn)
一、 培訓(xùn)承諾
系統(tǒng)建成后,,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢,;培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場,;
系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng),;
1.1. 培訓(xùn)對象
系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員),;
其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。
1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容
系統(tǒng)操作使用說明書,。
培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容如下:
* 系統(tǒng)文檔解讀,;
* 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式;
* 系統(tǒng)一般故障排除,。
傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).安徽輪廓儀供應(yīng)商
輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,,核探測。晶圓片輪廓儀值得買
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀,?
一,、準(zhǔn)備工作
1.測量前準(zhǔn)備。
2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動是否正常,。
3.擦凈工件被測表面。
二,、測量
1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。
2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)
3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。
4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。
5.測量完畢,,根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,,并保存,、打印。
晶圓片輪廓儀值得買
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號第五層六十五部位,,是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)深耕行業(yè)多年,,始終以客戶的需求為向?qū)?,為客戶提?**的磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,影響并帶動團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,,竭誠為客戶提供良好的服務(wù),。