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臺(tái)積電輪廓儀質(zhì)量怎么樣

來源: 發(fā)布時(shí)間:2019-12-22

1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn),、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)***的認(rèn)識(shí),。

    在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后,,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。


1.4. 培訓(xùn)形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn);

    向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料,,使學(xué)員對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握,;

    針對(duì)系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),;

    對(duì)學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答,;




輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm,。臺(tái)積電輪廓儀質(zhì)量怎么樣

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀,?

一、準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦,、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。

3.擦凈工件被測表面,。

二、測量

1.將測針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測表面上。

2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。

4.開始測量,。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢,,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,,標(biāo)出結(jié)果,并保存,、打印,。


碳化硅輪廓儀可以試用嗎LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光,。

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,,儀器傳感器相對(duì)被測工件表而作勻速滑行,,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),,該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),,或放大的實(shí)際輪廓曲線,,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出,。(來自網(wǎng)絡(luò))



輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:

封**ump測量  

視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,,Rz,,…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,,**地縮

短了激光槽工藝在線檢測的時(shí)間,避免人工操作帶來的一致性,,可靠性問題


輪廓的角度處理:  

角度處理:兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離,、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度,、凸度、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線 ,。



白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

對(duì)各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,,粗糙度,,波溫度,面型輪廓,,表面缺 陷,,磨損情況,,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺(tái)階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。  


白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x.

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)*后,,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,,表面形貌和臺(tái)階高度的測量軟件,。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,也包括軟件功能用于形貌分析,,如形狀去除和波長過濾,,都包含在基film3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能,,F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù),,這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,?每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達(dá)%準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本,。儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。臺(tái)式輪廓儀參數(shù)

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um,。臺(tái)積電輪廓儀質(zhì)量怎么樣

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),, 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,,更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)  

個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 

更好用戶體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),,個(gè)性化應(yīng)用軟件支持


1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好,、承載大,、**磨損等優(yōu)點(diǎn),,達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,,準(zhǔn)確度高,,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) 臺(tái)積電輪廓儀質(zhì)量怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,,是一家專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司的主營品牌,,是專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】公司,,擁有自己**的技術(shù)體系,。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】,同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系,,為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),堅(jiān)持“質(zhì)量保證,、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴,。