FSM膜厚儀簡單介紹：

FSM 128 厚度以及TSV和翹曲變形測試設備:

美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測量設備,，客戶遍布全世界, 主要產(chǎn)品包括:光學測量設備: 三維輪廓儀,、拉曼光譜、

薄膜應力測量設備,、 紅外干涉厚度測量設備,、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備,、金屬污染分析,、等效氧化層厚度分析 (EOT)。

請訪問我們的中文官網(wǎng)了解更多的信息,。 F20-EXR測厚范圍：15nm - 250μm,；波長：380-1700nm,。美國進口膜厚儀學校會用嗎

厚度測量產(chǎn)品：我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助,。

單點厚度測量：

一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng)。 測量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。

大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨,。

微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量當測量斑點只有1微米（μm）時,，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng)。 高精密儀器膜厚儀用途是什么可測量的層數(shù): 通常能夠測量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜,。 在某些情況下,，能夠測量到十幾層。

F50 和 F60 的晶圓平臺提供不同尺寸晶圓平臺,。

F50晶圓平臺- 100mm用于 2",、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺組件。

F50晶圓平臺- 200mm用于 4",、5",、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺組件。

F50晶圓平臺- 300mm用于 4",、5",、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺組件,。

F50晶圓平臺- 450mmF50 夾盤組件實用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片,。

F50晶圓平臺- 訂制預訂 F50 的晶圓平臺，通常在四星期內(nèi)交貨,。

F60晶圓平臺- 200mm用于 4",、5"、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺組件,。

F60晶圓平臺- 300mm用于 4",、5"、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺組件,。

FSM 413MOT 紅外干涉測量設備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關于FSM膜厚儀的技術(shù)問題,，請聯(lián)系我們岱美儀器。 F30-UV測厚范圍：3nm-40μm,；波長：190-1100nm,。

F54包含的內(nèi)容：

集成光譜儀/光源裝置

MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 

顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 

參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 

厚度標準 聚焦/厚度標準4", 6" and 200mm 

參考晶圓真空泵備用燈

型號厚度范圍*波長范圍

F54:20nm-40μm 380-850nm

F54-UV:4nm-30μm 190-1100nm

F54-NIR:40nm-100μm 950-1700nm

F54-EXR:20nm-100μm 380-1700nm

F54-UVX:4nm-100μm190-1700nm

*取決于材料與顯微鏡

額外的好處：每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 測量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應用。工藝薄膜膜厚儀美元價

只需按下一個按鈕,，您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率,。美國進口膜厚儀學校會用嗎

自動厚度測量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪。人工加載或機器人加載均可,。

在線厚度測量系統(tǒng)監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度,。高達100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到,。

附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應用需要,。

F20 系列世界上****的臺式薄膜厚度測量系統(tǒng)只需按下一個按鈕，您在不到一秒鐘的同時測量厚度和折射率,。設置同樣簡單, 只需插上設備到您運行Windows?系統(tǒng)計算機的USB端口, 并連接樣品平臺 , F20已在世界各地有成千上萬的應用被使用. 事實上,，我們每天從我們的客戶學習更多的應用.

選擇您的F20主要取決於您需要測量的薄膜的厚度（確定所需的波長范圍）

岱美儀器技術(shù)服務（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位。公司業(yè)務涵蓋磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等,，價格合理,，品質(zhì)有保證。公司注重以質(zhì)量為中心,，以服務為理念,，秉持誠信為本的理念，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務立足于全國市場,，依托強大的研發(fā)實力，融合前沿的技術(shù)理念,，飛快響應客戶的變化需求,。