FSM膜厚儀簡(jiǎn)單介紹：

FSM 128 厚度以及TSV和翹曲變形測(cè)試設(shè)備:

美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,，總部位于圣何塞,，多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備，客戶遍布全世界, 主要產(chǎn)品包括:光學(xué)測(cè)量設(shè)備: 三維輪廓儀,、拉曼光譜,、

薄膜應(yīng)力測(cè)量設(shè)備、 紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備,、電學(xué)測(cè)量設(shè)備:高溫四探針測(cè)量設(shè)備,、非接觸式片電阻及 漏電流測(cè)量設(shè)備、金屬污染分析,、等效氧化層厚度分析 (EOT),。

請(qǐng)?jiān)L問我們的中文官網(wǎng)了解更多的信息。 F20-EXR測(cè)厚范圍：15nm - 250μm,；波長：380-1700nm,。美國進(jìn)口膜厚儀學(xué)校會(huì)用嗎

厚度測(cè)量產(chǎn)品：我們的膜厚測(cè)量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請(qǐng)瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對(duì)您的厚度測(cè)量需求提供立即協(xié)助,。

單點(diǎn)厚度測(cè)量：

一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)。 測(cè)量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。

大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨,。

微米(顯微)級(jí)別光斑尺寸厚度測(cè)量當(dāng)測(cè)量斑點(diǎn)只有1微米（μm）時(shí),，需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個(gè)系統(tǒng)。 高精密儀器膜厚儀用途是什么可測(cè)量的層數(shù): 通常能夠測(cè)量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜,。 在某些情況下,，能夠測(cè)量到十幾層。

F50 和 F60 的晶圓平臺(tái)提供不同尺寸晶圓平臺(tái),。

F50晶圓平臺(tái)- 100mm用于 2",、3" 和 4" 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。

F50晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4",、5",、 6" 和 200mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件,。

F50晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4"、5",、6",、200mm 和 300mm 晶圓的 F50 平臺(tái)組件。

F50晶圓平臺(tái)- 450mmF50 夾盤組件實(shí)用于 4", 5", 6", 200mm, 300mm, 以及450mm毫米晶片,。

F50晶圓平臺(tái)- 訂制預(yù)訂 F50 的晶圓平臺(tái),，通常在四星期內(nèi)交貨。

F60晶圓平臺(tái)- 200mm用于 4",、5",、6" 和 200mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件。

F60晶圓平臺(tái)- 300mm用于 4",、5",、6"、200mm 和 300mm 晶圓的 F60 平臺(tái)組件,。

FSM 413MOT 紅外干涉測(cè)量設(shè)備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍(lán)寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅、玻璃,、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測(cè)量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問題,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 F30-UV測(cè)厚范圍：3nm-40μm,；波長：190-1100nm,。

F54包含的內(nèi)容：

集成光譜儀/光源裝置

MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 

顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 

參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 

厚度標(biāo)準(zhǔn) 聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)4", 6" and 200mm 

參考晶圓真空泵備用燈

型號(hào)厚度范圍*波長范圍

F54:20nm-40μm 380-850nm

F54-UV:4nm-30μm 190-1100nm

F54-NIR:40nm-100μm 950-1700nm

F54-EXR:20nm-100μm 380-1700nm

F54-UVX:4nm-100μm190-1700nm

*取決于材料與顯微鏡

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃 測(cè)量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應(yīng)用。工藝薄膜膜厚儀美元價(jià)

只需按下一個(gè)按鈕,，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率,。美國進(jìn)口膜厚儀學(xué)校會(huì)用嗎

自動(dòng)厚度測(cè)量系統(tǒng)幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動(dòng)測(cè)繪。人工加載或機(jī)器人加載均可,。

在線厚度測(cè)量系統(tǒng)監(jiān)測(cè)控制生產(chǎn)過程中移動(dòng)薄膜厚度,。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個(gè)測(cè)量位置得到。

附件Filmetrics 提供各種附件以滿足您的應(yīng)用需要。

F20 系列世界上****的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)只需按下一個(gè)按鈕,，您在不到一秒鐘的同時(shí)測(cè)量厚度和折射率,。設(shè)置同樣簡(jiǎn)單, 只需插上設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的USB端口, 并連接樣品平臺(tái) , F20已在世界各地有成千上萬的應(yīng)用被使用. 事實(shí)上，我們每天從我們的客戶學(xué)習(xí)更多的應(yīng)用.

選擇您的F20主要取決於您需要測(cè)量的薄膜的厚度（確定所需的波長范圍）

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,。公司業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)等,，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證,。公司注重以質(zhì)量為中心,，以服務(wù)為理念，秉持誠信為本的理念,，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場(chǎng),，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,，融合前沿的技術(shù)理念，飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。