FSM 413MOT 紅外干涉測量設(shè)備：

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃,、石  英、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

如果您想了解更多關(guān)于FSM膜厚儀的技術(shù)問題，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 可見光可測試的深度,，良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力,。Thin film analyzer膜厚儀高性價(jià)比選擇

F40 系列

包含的內(nèi)容：集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標(biāo)準(zhǔn) 聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)BG-Microscope (作為背景基準(zhǔn))

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計(jì)劃

如果需要了解更多的信息，請?jiān)L問我們官網(wǎng)或者聯(lián)系我們,。 Filmetrics F3-CS膜厚儀推薦廠家成功測量光刻膠要面對一些獨(dú)特的挑戰(zhàn),， 而 Filmetrics 自動(dòng)測量系統(tǒng)成功地解決這些問題。

備用光源：

LAMP-TH1-5PAK：F10,、F20,、F30、F40,、F50,、和 F60 系統(tǒng)的非紫外光源。 5個(gè)/盒,。1200 小時(shí)平均無故障,。

LAMP-TH：F42F42 系統(tǒng)的光源。 1000 小時(shí)平均無故障,。

LAMP-THF60：F60 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時(shí)平均無故障。

LAMP-THF80：F80 系統(tǒng)的光源,。 1000 小時(shí)平均無故障,。

LAMP-D2-L10290：L10290 氘光源。 2007年到2014年F20-UV的使用者,。

LAMP-TH-L10290：L10290 鎢鹵素光源,。 2007年到2014年F20-UV的使用者。

LAMP-D2-***T2：***T2光源需更換氘燈, 而鹵素?zé)艄庠葱韪鼡Q使用LAMP-TH1-5PAK.

F3-CS：

快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層（包括C,，N和HT型聚對二甲苯）的光學(xué)常數(shù)(n和k）,厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺的測量結(jié)果顯示對于進(jìn)階使用者,，可以進(jìn)一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運(yùn)行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行, USB電纜則提供電源和通信功能.

包含的內(nèi)容：USB供電之光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件內(nèi)置樣品平臺(tái)BK7 參考材料四萬小時(shí)光源壽命

額外的好處：應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng)) 紫外光可測試的深度：***的薄膜（SOI 或 Si-SiGe）或者厚樣的近表面局部應(yīng)力。

顯微鏡轉(zhuǎn)接器F40 系列轉(zhuǎn)接器,。

Adapter-BX-Cmount該轉(zhuǎn)接器將 F40 接到 OlympusBX 或 MX 上而不必使用 Olympus 價(jià)格較貴的 c-mount 轉(zhuǎn)接器,。MA-Cmount-F20KIT該轉(zhuǎn)接器將F20連接到顯微鏡上 (模仿 F40，光敏度低 5 倍),，包括集成攝像機(jī),、光纖、TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標(biāo)準(zhǔn),、F40 軟件,，和 F40 手冊。

軟件升級：

UPG-RT-to-Thickness升級的厚度求解軟件,，需要UPG-Spec-to-RT,。UPG-Thickness-to-n&k升級的折射率求解軟件，需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-HC為 F10-AR 升級的FFT 硬涂層厚度測量軟件,。 包括 TS-Hardcoat-4um 厚度標(biāo)準(zhǔn),。 厚度測量范圍 0.25um-15um。UPG-RT-to-Color&Regions升級的色彩與光譜區(qū)域分析軟件,，需要UPG-Spec-to-RT,。 厚度變化 (TTV) ；溝槽深度,；過孔尺寸、深度,、側(cè)壁角度,。導(dǎo)電膜膜厚儀售后服務(wù)

F40-EXR范圍：20nm-120μm；波長：400-1700nm,。Thin film analyzer膜厚儀高性價(jià)比選擇

接觸探頭測量彎曲和難測的表面

CP-1-1.3測量平面或球形樣品,，結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈。

CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,，對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%,。 鋼制單線圈外加PVC涂層，比較大可測厚度 15um,。

CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,，直徑 17.5mm。

CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。

CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,，總長度 350mm 的接觸探頭,。 用于難以到達(dá)的區(qū)域，但不會(huì)自動(dòng)對準(zhǔn)表面,。

CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭,。

CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭，配備微型直角反射鏡,，用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁,，不能自動(dòng)對準(zhǔn)表面。

CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,，可以在相隔 10mm 的兩個(gè)平坦表面之間進(jìn)行測量,。 Thin film analyzer膜厚儀高性價(jià)比選擇

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn),，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司注重以質(zhì)量為中心,，以服務(wù)為理念,，秉持誠信為本的理念，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先,、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營理念,，全力打造公司的重點(diǎn)競爭力。