F60 系列生產(chǎn)環(huán)境的自動(dòng)測(cè)繪Filmetrics F60-t 系列就像我們的 F50產(chǎn)品一樣測(cè)繪薄膜厚度和折射率,但它增加了許多用于生產(chǎn)環(huán)境的功能,。 這些功能包括凹槽自動(dòng)檢測(cè),、自動(dòng)基準(zhǔn)確定、全封閉測(cè)量平臺(tái),、預(yù)裝軟件的工業(yè)計(jì)算機(jī),,以及升級(jí)到全自動(dòng)化晶圓傳輸?shù)臋C(jī)型。
不同的 F60-t 儀器根據(jù)波長(zhǎng)范圍加以區(qū)分,。 較短的波長(zhǎng) (例如,, F60-t-UV) 一般用于測(cè)量較薄的薄膜,而較長(zhǎng)的波長(zhǎng)則可以用來測(cè)量更厚,、更不平整以及更不透明的薄膜,。
包含的內(nèi)容:集成平臺(tái)/光譜儀/光源裝置(不含平臺(tái))4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)真空泵備用燈 F20-UV測(cè)厚范圍:1nm - 40μm;波長(zhǎng):190-1100nm,。Filmetrics F10-ARc膜厚儀推薦型號(hào)
F10-HC輕而易舉而且經(jīng)濟(jì)有效地分析單層和多層硬涂層F10-HC 以 Filmetrics F20 平臺(tái)為基礎(chǔ),,根據(jù)光譜反射數(shù)據(jù)分析快速提供薄膜測(cè)量結(jié)果。 F10-HC 先進(jìn)的模擬算法是為測(cè)量聚碳酸酯和其它單層和多層硬涂層(例如,,底涂/硬涂層)專門設(shè)計(jì)的,。
全世界共有數(shù)百臺(tái) F10-HC 儀器在工作,幾乎所有主要汽車硬涂層公司都在使用它們,。
像我們所有的臺(tái)式儀器一樣,,F(xiàn)10-HC 可以連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)定。
包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)CP-1-1.3 探頭BK7 參考材料TS-Hardcoat-4um 厚度標(biāo)準(zhǔn)備用燈
額外的好處:應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃 山東膜厚儀代理價(jià)格F3-sX 系列測(cè)厚范圍:10μm - 3mm,;波長(zhǎng):960-1580nm,。
更可加裝至三個(gè)探頭,,同時(shí)測(cè)量三個(gè)樣品,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長(zhǎng)可供選擇,。F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,,可提供*小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來測(cè)量微小樣品。F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),,由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過快速掃瞄功能,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping),。F70:*通過在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭,,使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測(cè)量法(CTM),把設(shè)備的測(cè)量范圍極大的拓展至,。F10-RT:在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測(cè)量,,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測(cè)量。PARTS:在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,,特別適用于超薄膜層厚度和n,、k值測(cè)量。**膜厚測(cè)量?jī)x系統(tǒng)F20使用F20**分光計(jì)系統(tǒng)可以簡(jiǎn)便快速的測(cè)量厚度和光學(xué)參數(shù)(n和k),。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度,、折射率和消光系數(shù)。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來,。F20包括所有測(cè)量需要的部件:分光計(jì),、光源、光纖導(dǎo)線,、鏡頭**和Windows下運(yùn)行的軟件,。您需要的只是接上您的電腦。膜層實(shí)例幾乎任何光滑,、半透明,、低吸收的膜都能測(cè)。包括:sio2(二氧化硅)sinx(氮化硅)dlc(類金剛石碳)photoresist,。
厚度標(biāo)準(zhǔn):
所有 Filmetrics 厚度標(biāo)準(zhǔn)都是得到驗(yàn)證可追溯的 NIST 標(biāo)準(zhǔn),。
S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準(zhǔn)。
TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si :厚度標(biāo)準(zhǔn),,外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),,厚度大約 3100A,4" 晶圓,。
TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si :厚度標(biāo)準(zhǔn),,外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),厚度大約 10000A,,4" 晶圓,。
TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 4um,直徑 2",。
TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,,可用于透射測(cè)量。
TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對(duì)二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 4um ,直徑2",。
TS-Parylene-8um:硅基上的聚對(duì)二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 8um,23mm x 23mm,。
TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 7200A,4" 晶圓,。
TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn),。
TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標(biāo)準(zhǔn): 125埃米,250埃米,,500埃米,,1000埃米,5000埃米,,和 10000埃米 (+/-10%誤差),,6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn)片,厚度大約為 8000A,。 F30-UV測(cè)厚范圍:3nm-40μm,;波長(zhǎng):190-1100nm。
F3-CS:
快速厚度測(cè)量可選配FILMeasure厚度測(cè)量軟件使厚度測(cè)量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層(包括C,,N和HT型聚對(duì)二甲苯)的光學(xué)常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺的測(cè)量結(jié)果顯示對(duì)于進(jìn)階使用者,,可以進(jìn)一步以F3-CS測(cè)量折射率, F3-CS可在任何運(yùn)行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行, USB電纜則提供電源和通信功能.
包含的內(nèi)容:USB供電之光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件內(nèi)置樣品平臺(tái)BK7 參考材料四萬小時(shí)光源壽命
額外的好處:應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng)) 測(cè)量厚度: 15 — 780 μm (單探頭) ; 3 mm (雙探頭總厚度測(cè)量),。ITO導(dǎo)電膜膜厚儀半導(dǎo)體行業(yè)
測(cè)量方式: 紅外干涉(非接觸式),。Filmetrics F10-ARc膜厚儀推薦型號(hào)
F40 系列
包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度標(biāo)準(zhǔn) 聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)BG-Microscope (作為背景基準(zhǔn))
額外的好處:每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫(kù), 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃
如果需要了解更多的信息,請(qǐng)?jiān)L問我們官網(wǎng)或者聯(lián)系我們,。 Filmetrics F10-ARc膜厚儀推薦型號(hào)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,,是一家其他型公司。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)等,,目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn),,為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司注重以質(zhì)量為中心,以服務(wù)為理念,,秉持誠(chéng)信為本的理念,,打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,,全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,。