電介質(zhì)成千上萬的電解質(zhì)薄膜被用于光學(xué),,半導(dǎo)體,,以及其它數(shù)十個(gè)行業(yè), 而Filmetrics的儀器幾乎可以測量所有的薄膜,。常見的電介質(zhì)有:二氧化硅 – **簡單的材料之一, 主要是因?yàn)樗诖蟛糠止庾V上的無吸收性 (k=0),, 而且非常接近化學(xué)計(jì)量 (就是說,,硅:氧非常接近 1:2),。 受熱生長的二氧化硅對光譜反應(yīng)規(guī)范,,通常被用來做厚度和折射率標(biāo)準(zhǔn),。 Filmetrics能測量3nm到1mm的二氧化硅厚度,。氮化硅 – 對此薄膜的測量比很多電介質(zhì)困難,,因?yàn)楣瑁旱嚷释ǔ2皇?:4, 而且折射率一般要與薄膜厚度同時(shí)測量。 更麻煩的是,,氧常常滲入薄膜,,生成一定程度的氮氧化硅,增大測量難度,。 但是幸運(yùn)的是,,我們的系統(tǒng)能在幾秒鐘內(nèi) “一鍵” 測量氮化硅薄膜完整特征!可見光可測試的深度,良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力,。ITO導(dǎo)電膜膜厚儀實(shí)惠價(jià)格
Filmetrics 的技術(shù)Filmetrics 提供了范圍***的測量生物醫(yī)療涂層的方案:支架: 支架上很小的涂層區(qū)域通常需要顯微鏡類的儀器,。 我們的 F40 在幾十個(gè)實(shí)驗(yàn)室內(nèi)得到使用,測量鈍化和/或藥 物輸送涂層,。我們有獨(dú)特的測量系統(tǒng)對整個(gè)支架表面的自動厚度測繪,,只需在測量時(shí)旋轉(zhuǎn)支架。植入件: 在測量植入器件的涂層時(shí),不規(guī)則的表面形狀通常是***挑戰(zhàn),。 Filmetrics 提供這一用途的全系列探頭,。導(dǎo)絲和導(dǎo)引針: 和支架一樣,這些器械常??梢杂孟?F40 這樣的顯微鏡儀器,。導(dǎo)液管和血管成型球囊的厚度:大于 100 微米的厚度和可見光譜不透明性決定了 F20-NIR 是這一用途方面全世界眾多實(shí)驗(yàn)室內(nèi)很受歡迎的儀器。ITO膜厚儀保修期多久應(yīng)用:襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響),平整度,。
厚度標(biāo)準(zhǔn):
所有 Filmetrics 厚度標(biāo)準(zhǔn)都是得到驗(yàn)證可追溯的 NIST 標(biāo)準(zhǔn),。
S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準(zhǔn)。
TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si :厚度標(biāo)準(zhǔn),,外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),,厚度大約 3100A,4" 晶圓,。
TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si :厚度標(biāo)準(zhǔn),,外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),厚度大約 10000A,,4" 晶圓,。
TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標(biāo)準(zhǔn),厚度大約 4um,,直徑 2",。
TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,可用于透射測量,。
TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 4um ,直徑2",。
TS-Parylene-8um:硅基上的聚對二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 8um,23mm x 23mm,。
TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn),,厚度大約 7200A,4" 晶圓,。
TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn),。
TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標(biāo)準(zhǔn): 125埃米,250埃米,,500埃米,,1000埃米,,5000埃米,和 10000埃米 (+/-10%誤差),,6英寸晶圓,。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺設(shè)計(jì)之二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn)片,厚度大約為 8000A。
F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個(gè)點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度,。一個(gè)電動R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤,,樣品直徑可達(dá)450毫米。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)
測繪圖案可以是極座標(biāo),、矩形或線性的,,您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,并且不受測量點(diǎn)數(shù)量的限制,。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案,。
不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是很受歡迎的產(chǎn)品,。 一般較短的波長 (例如,, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以用來測量更厚,、更不平整以及更不透明的薄膜,。 FSM拉曼的應(yīng)用:局部應(yīng)力; 局部化學(xué)成分,;局部損傷,。
厚度測量產(chǎn)品:我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助,。
單點(diǎn)厚度測量:
一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng)。 測量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。
大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨。
F20全世界銷量**hao的薄膜測量系統(tǒng),。有各種不同附件和波長覆蓋范圍,。
微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量當(dāng)測量斑點(diǎn)只有1微米(μm)時(shí),需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個(gè)系統(tǒng),。 測量SU-8 其它厚光刻膠的厚度有特別重要的應(yīng)用,。研究所膜厚儀質(zhì)保期多久
成功測量光刻膠要面對一些獨(dú)特的挑戰(zhàn), 而 Filmetrics 自動測量系統(tǒng)成功地解決這些問題,。ITO導(dǎo)電膜膜厚儀實(shí)惠價(jià)格
集成電路故障分析故障分析 (FA) 技術(shù)用來尋找并確定集成電路內(nèi)的故障原因,。
故障分析中需要進(jìn)行薄膜厚度測量的兩種主要類型是正面去層(用于傳統(tǒng)的面朝上的電路封裝) 和背面薄化(用于較新的覆晶技術(shù)正面朝下的電路封裝)。正面去層正面去層的工藝需要了解電介質(zhì)薄化后剩余電介質(zhì)的厚度,。背面故障分析背面故障分析需要在電路系統(tǒng)成像前移除大部分硅晶粒的厚度,,并了解在每個(gè)薄化步驟后剩余的硅厚度是相當(dāng)關(guān)鍵的,。 Filmetrics F3-sX是為了測量在不同的背面薄化過程的硅層厚度而專門設(shè)計(jì)的系統(tǒng)。 厚度從5微米到1000微米能夠很容易的測量,,另外可選配模組來延伸**小測量厚度至0.1微米,,同時(shí)具有單點(diǎn)和多點(diǎn)測繪的版本可供選擇。
測量范例現(xiàn)在我們使用我們的 F3-s1550 系統(tǒng)測量在不同的背面薄化過程的硅層厚度.具備特殊光學(xué)設(shè)計(jì)之 F3-S1550利用比直徑更小於10μm的光斑尺寸得以測量拋光以及粗糙或不均勻表面的硅層厚度 ITO導(dǎo)電膜膜厚儀實(shí)惠價(jià)格
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,,擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場口碑,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),一切以用戶需求為中心,,深受廣大客戶的歡迎,。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,在儀器儀表深耕多年,,以技術(shù)為先導(dǎo),,以自主產(chǎn)品為重點(diǎn),發(fā)揮人才優(yōu)勢,,打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場,依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,,融合前沿的技術(shù)理念,,飛快響應(yīng)客戶的變化需求。