輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度,、表面輪廓,、臺階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

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1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能,、特點,、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識,。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,，安排有關(guān)人員在進行培訓。

1.4. 培訓形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理,、功能,、操作及維修保養(yǎng)要點；

    向受訓學員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握,；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng),；

    對學員提出的問題進行詳細解答,；

浙江晶片輪廓儀輪廓儀可用于：微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷，表面粗糙度,。

1.5. 系統(tǒng)培訓的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊,；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口、連接計算器,、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置,；

    實際演示一一講解；

    如何做好備份和恢復備份資料,；

    當場演示各種報表的操作并進行操作解說,；

    數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時作備份，大變動時更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失,；

    在系統(tǒng)培訓過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓結(jié)束后及時刪除這些資料,。

    備注：系統(tǒng)培訓完成后應(yīng)請顧客詳細閱讀軟件操作手冊，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片,，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。

三、涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標準,，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù),。

四、穩(wěn)定性強,，高重復性：

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復性,，將測量誤差降低到亞納米級別。

 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時,，依然能夠保持高重復性，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。 通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）,。浙江晶片輪廓儀

擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，**提高加工效率,。浙江晶片輪廓儀

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