HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng),。

EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,，具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)

HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案，適用于比較大200 mm的晶圓,，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員,。HERCULES

NIL基于模塊化平臺,，將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔，抗蝕劑涂層和烘烤預處理步驟相結(jié)合,。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務(wù)”,，將裸露的晶圓裝載到工具中，然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回,。 EVG?770可用于連續(xù)重復的納米壓印光刻技術(shù),，可進行有效的母版制作。步進重復納米壓印技術(shù)服務(wù)

    NIL系統(tǒng)肖特增強現(xiàn)實負責人RuedigerSprengard博士表示：“將高折射率玻璃晶圓的制造擴展到300-mm,，對于實現(xiàn)我們客戶滿足當今和未來**AR/MR設(shè)備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟產(chǎn)量來說至關(guān)重要,。通過攜手合作，EVG和肖特彰顯了當今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應鏈的就緒性,?！痹诖酥埃褂霉饪?納米壓印技術(shù)對具有光子學應用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進行圖案成形***于200-mm基板,。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費和工業(yè)市場邁出的重要一步,。不過，在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的,，需要先進的自動化和工藝控制能力,。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實驗,，旨在滿足納米圖案成形的需求,，經(jīng)過了現(xiàn)場驗證，能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴展到大面積基板,。去年六月,，EVG推出了HERCULES?NIL300mm，將SmartNIL引入300-mm制造,，滿足各種設(shè)備和應用的生產(chǎn)需求,，其中包括AR,、MR和虛擬現(xiàn)實（VR）頭戴顯示設(shè)備的光學器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備,、納米光子學和等離子電子學,。集成到SmartNIL?UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG?HERCULES?。UV納米壓印保修期多久 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,，因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù),。

    據(jù)外媒報道，美國威斯康星大學麥迪遜分校（UWMadison）的研究人員們,，已經(jīng)同合作伙伴聯(lián)手實現(xiàn)了一種突破性的方法,。不僅**簡化了低成本高性能、無線靈活的金屬氧化物半導體場效應晶體管（MOSFET）的制造工藝,，還克服了許多使用標準技術(shù)制造設(shè)備時所遇到的操作上的問題,。該技術(shù)可用于制造大卷的柔性塑料印刷線路板，并在可穿戴電子設(shè)備和彎曲傳感器等領(lǐng)域派上大用場,。研究人員稱,，這項突破性的納米壓印平板印刷制造工藝，可以在普通的塑料片上打造出整卷非常高性能的晶體管,。由于出色的低電流需求和更好的高頻性能,，MOSFET已經(jīng)迅速取代了電子電路中常見的雙極晶體管。為了滿足不斷縮小的集成電路需求,，MOSFET尺寸也在不斷變小,，然而這也引發(fā)了一些問題。

       EVG公司技術(shù)開發(fā)和IP總監(jiān)Markus Wimplinger補充說：“我們開發(fā)新技術(shù)和工藝以應對*復雜的挑戰(zhàn),，幫助我們的客戶成功地將其新產(chǎn)品創(chuàng)意商業(yè)化,。技術(shù)，我們創(chuàng)建了我們的NILPhotonics能力中心,?！霸诰哂斜Ｗo客戶IP的強大政策的框架內(nèi)，我們?yōu)榭蛻籼峁┝藦目尚行缘缴a(chǎn)階段的產(chǎn)品開發(fā)和商業(yè)化支持,。這正是我們***與AR領(lǐng)域的**者WaveOptics合作所要做的,，以為*終客戶提供真正可擴展的解決方案?！?

      EVG的NILPhotonics®能力中心框架內(nèi)的協(xié)作開發(fā)工作旨在支持WaveOptics的承諾,，即在工業(yè)，企業(yè)和消費者等所有主要市場領(lǐng)域釋放AR在大眾市場的應用,，并遵循公司模塊計劃的推出,。 納米壓印設(shè)備哪個好？預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。

EVG ® 720特征：

體積驗證的壓印技術(shù),，具有出色的復制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

集成式壓印，UV固化脫模和工作印模制造

盒帶到盒帶自動處理以及半自動研發(fā)模式

可選的頂部對準

可選的迷你環(huán)境

適用于所有市售壓印材料的開放平臺

從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴展性

系統(tǒng)外殼,，可實現(xiàn)比較好過程穩(wěn)定性和可靠性技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑（基板尺寸）

75至150毫米

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：SmartNIL ®

曝光源：大功率LED（i線）> 400 mW /cm2

對準：可選的頂部對準

自動分離：支持的

迷你環(huán)境和氣候控制：可選的

工作印章制作：支持的

SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量。陜西納米壓印有哪些品牌

**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對于實現(xiàn)衍射光學元件（DOE）至關(guān)重要,。步進重復納米壓印技術(shù)服務(wù)

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù)。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復制精度，可用于**小50 nm的特征尺寸,。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中,。

NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)

NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器。

歡迎各位客戶來樣制作,，驗證EVG的納米壓印設(shè)備的性能。

步進重復納米壓印技術(shù)服務(wù)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等，目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù),。公司注重以質(zhì)量為中心，以服務(wù)為理念,，秉持誠信為本的理念,，打造儀器儀表良好品牌。在社會各界的鼎力支持下,，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務(wù)體驗，為客戶成功提供堅實有力的支持,。