HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

®的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。

EVG的HERCULES ® NIL產(chǎn)品系列

HERCULES ® NIL完全集成SmartNIL

® UV-NIL系統(tǒng)達(dá)200毫米

對于大批量制造的完全集成的納米壓印光刻解決方案,，具有EVG's專有SmartNIL ®印跡技術(shù)

HERCULES NIL是完全集成的UV納米壓印光刻跟 蹤解決方案，適用于比較大200 mm的晶圓,，是EVG的NIL產(chǎn)品組合的***成員,。HERCULES

NIL基于模塊化平臺，將EVG專有的SmartNIL壓印技術(shù)與清潔,，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟相結(jié)合。這將HERCULES NIL變成了“一站式服務(wù)”,，將裸露的晶圓裝載到工具中,，然后將經(jīng)過完全處理的納米結(jié)構(gòu)晶圓退回。 IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng),，是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統(tǒng),。重慶納米壓印技術(shù)支持

    它為晶圓級光學(xué)元件開發(fā)、原型設(shè)計和制造提供了一種獨特的方法,，可以方便地接觸***研發(fā)技術(shù)與材料,。晶圓級納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動晶圓級光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場中推廣晶圓級生產(chǎn)，先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用,。開發(fā)先進(jìn)的光學(xué)材料,，需要充分地研究化學(xué)、機(jī)械與光學(xué)特性,，以及已被證實的大規(guī)模生產(chǎn)（HVM）的可擴(kuò)展性,。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性，以及自動化模制和脫模的專業(yè)知識,，才能在已驗證的大規(guī)模生產(chǎn)中,，以**小的形狀因子達(dá)到晶圓級光學(xué)元件的比較好性能。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作,，促成了工藝流程的研發(fā)與改善,，確保晶圓級光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品,，并增強(qiáng)雙方的專業(yè)技能,，從而適應(yīng)當(dāng)前與未來市場的要求,。雙方的合作提供了成熟的材料與專業(yè)的工藝技術(shù)，并將加快新產(chǎn)品設(shè)計與原型制造的速度,，為雙方的客戶保駕護(hù)航,。“NILPhotonics解決方案支援中心的獨特之處是：它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時間研發(fā)產(chǎn)品的需求,，同時保障比較高的保密性,。晶圓片納米壓印推薦產(chǎn)品HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案，可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn),。

    ”EV集團(tuán)的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說,，“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作，例如DELO,，我們能夠進(jìn)一步提高效率,，作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學(xué)儀器與NIL設(shè)備與光學(xué)材料的技術(shù)與市場**企業(yè),。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道?！巴ㄟ^合作,，我們將提供自己獨特的技術(shù)，將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學(xué)器件和光電器件制造中,，EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴,。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù)。"晶圓級光學(xué)元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學(xué)器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學(xué)傳感設(shè)備,。主要的例子是：3D感應(yīng),，飛行時間，結(jié)構(gòu)光,，生物特征身份認(rèn)證,，面部識別,虹膜掃描，光學(xué)指紋,，頻譜檢測,，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,，光地毯,，平視顯示器，車內(nèi)感應(yīng),，激光雷達(dá),，內(nèi)窺鏡照相機(jī)醫(yī)學(xué)成像，眼科設(shè)備與手術(shù)機(jī)器人,。EVG的晶圓級光學(xué)儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持,。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機(jī)上找到,。

EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準(zhǔn)系統(tǒng)，從碎片到比較大150毫米,。

該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空，軟,，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準(zhǔn)。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，以改變用戶需求,，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘。其先進(jìn)的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇,。

EVG系統(tǒng)是客戶進(jìn)行大批量晶圓級鏡頭復(fù)制（制造）的***選擇。

EVG ® 510 HE熱壓印系統(tǒng)

應(yīng)用：高度靈活的熱壓印系統(tǒng),，用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

EVG510 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印,。該設(shè)備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能，并管理適用于熱壓印的全部聚合物,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,，提供了許多用于高質(zhì)量納米圖案轉(zhuǎn)印的工藝,。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站 EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟(jì)高 效且靈活的制造技術(shù)，具有非常高的復(fù)制精度,，可用于**小50 nm的特征尺寸,。研究所納米壓印推薦廠家

SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量,。重慶納米壓印技術(shù)支持

納米壓印應(yīng)用三：連續(xù)性UV納米壓印

EVG770是用于步進(jìn)重復(fù)納米壓印光刻的通用平臺,，可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化。這種方法允許從比較大50 mm x 50 mm的小模具到比較大300 mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板,。與鉆石車削或直接寫入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于高 效地制造晶圓級光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進(jìn)步,。

重慶納米壓印技術(shù)支持

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家其他型類企業(yè),，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進(jìn),，追求新型,，在強(qiáng)化內(nèi)部管理，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,，良好的質(zhì)量,、合理的價格、完善的服務(wù),，在業(yè)界受到寬泛好評,。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊，具有磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等多項業(yè)務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念,，打造高指標(biāo)的服務(wù)，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展,。