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介電材料膜厚儀有哪些應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2020-12-19

FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)

FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360

FSM拉曼的應(yīng)用

l  局部應(yīng)力;

l  局部化學(xué)成分

l  局部損傷

紫外光可測試的深度

***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應(yīng)力



可見光可測試的深度

良好的厚樣以及多層樣品的局部應(yīng)力

系統(tǒng)測試應(yīng)力的精度小于15mpa (0.03cm-1)

全自動的200mm和300mm硅片檢查

自動檢驗和聚焦的能力,。


以上的信息比較有限,,如果您有更加詳細(xì)的技術(shù)問題,請聯(lián)系我們的技術(shù)人員為您解答,?;蛘咴L問我們的官網(wǎng)了解更多信息。 紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量,。介電材料膜厚儀有哪些應(yīng)用

    其可測量薄膜厚度在1nm到1mm之間,,測量精度高達(dá)1埃,測量穩(wěn)定性高達(dá),,測量時間只需一到二秒,并有手動及自動機(jī)型可選,??蓱?yīng)用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(xué)(Biomedical),液晶顯示(Displays),硬涂層(Hardcoats),金屬膜(Metal),眼鏡涂層(Ophthalmic),聚對二甲笨(Parylene),電路板(PCBs&PWBs),多孔硅(PorousSilicon),光阻材料(ThickResist),半導(dǎo)體材料(Semiconductors),太陽光伏(Solarphotovoltaics),真空鍍層(VacuumCoatings),圈筒檢查(Webinspectionapplications)等。通過Filmetrics膜厚測量儀*新反射式光譜測量技術(shù),*多4層透明薄膜厚度,、n,、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得。其應(yīng)用***,,例如:半導(dǎo)體工業(yè):光阻,、氧化物、氮化物,。LCD工業(yè):間距(cellgaps),,ito電極、polyimide保護(hù)膜,。光電鍍膜應(yīng)用:硬化鍍膜,、抗反射鍍膜、過濾片,。極易操作,、快速、準(zhǔn)確,、機(jī)身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點,,F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:F20:這簡單入門型號有三種不同波長選擇(由220nm紫外線區(qū)至1700nm近紅外線區(qū))為任意攜帶型,可以實現(xiàn)反射,、膜厚,、n、k值測量,。F30:這型號可安裝在任何真空鍍膜機(jī)腔體外的窗口,。可實時監(jiān)控長晶速度,、實時提供膜厚,、n、k值,。并可切定某一波長或固定測量時間間距,。單層膜膜厚儀美元價FSM拉曼的應(yīng)用:局部應(yīng)力; 局部化學(xué)成分,;局部損傷,。

F54包含的內(nèi)容:

集成光譜儀/光源裝置

MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 

顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 

參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 

厚度標(biāo)準(zhǔn) 聚焦/厚度標(biāo)準(zhǔn)4", 6" and 200mm 

參考晶圓真空泵備用燈

型號厚度范圍*波長范圍

F54:20nm-40μm 380-850nm

F54-UV:4nm-30μm 190-1100nm

F54-NIR:40nm-100μm 950-1700nm

F54-EXR:20nm-100μm 380-1700nm

F54-UVX:4nm-100μm190-1700nm

*取決于材料與顯微鏡

額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應(yīng)用更超過數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃

F50 系列自動化薄膜測繪Filmetrics F50 系列的產(chǎn)品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度。一個電動R-Theta 平臺可接受標(biāo)準(zhǔn)和客制化夾盤,,樣品直徑可達(dá)450毫米,。(耐用的平臺在我們的量產(chǎn)系統(tǒng)能夠執(zhí)行數(shù)百萬次的量測!)

測繪圖案可以是極座標(biāo)、矩形或線性的,,您也可以創(chuàng)造自己的測繪方法,,并且不受測量點數(shù)量的限制,。內(nèi)建數(shù)十種預(yù)定義的測繪圖案。

不同的 F50 儀器是根據(jù)波長范圍來加以區(qū)分的,。 標(biāo)準(zhǔn)的 F50是很受歡迎的產(chǎn)品。 一般較短的波長 (例如,, F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜,,而較長的波長則可以用來測量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜,。 當(dāng)測量斑點只有1微米(μm)時,,需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng)。

厚度測量產(chǎn)品:我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應(yīng)用,。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應(yīng)用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助。


單點厚度測量:

一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng),。 測量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。

大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨。

F20全世界銷量**hao的薄膜測量系統(tǒng),。有各種不同附件和波長覆蓋范圍,。


微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量當(dāng)測量斑點只有1微米(μm)時,需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng),。 F40-EXR范圍:20nm-120μm,;波長:400-1700nm。膜厚儀要多少錢

基板材料: 如果薄膜位于粗糙基板 (大多數(shù)金屬) 上的話,,一般不能測量薄膜的折射率,。介電材料膜厚儀有哪些應(yīng)用

國統(tǒng)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示,2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個,,營收規(guī)模4002億元,,營收同比增長7.57%;收入總額為361億元,,同比增長2.87%,,比主營收入低4.70個百分點;隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展,,為磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的傳播提供了一個飛速的平臺,。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務(wù)為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變,促進(jìn)了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,,推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展,。中國儀器儀表行業(yè)目前正處于高速發(fā)展階段,,需要與之相適應(yīng)的磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】產(chǎn)品營銷模式相互配合。盡管在我國相關(guān)政策的引導(dǎo)和支持下,,我國儀器儀表行業(yè)得到了飛速發(fā)展,。但是從銷售整體上看,我國的儀器儀表行業(yè)還是落后于國際水平的,。重點技術(shù)缺乏,、高精尖產(chǎn)品嚴(yán)重依賴進(jìn)口、儀器儀表產(chǎn)品同質(zhì)化嚴(yán)重,、生產(chǎn)工藝落后,、研發(fā)能力弱、精度不高等問題的凸顯,,為儀器儀表行業(yè)的發(fā)展帶來了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn),。介電材料膜厚儀有哪些應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司致力于儀器儀表,是一家其他型公司,。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)等,,目前不斷進(jìn)行創(chuàng)新和服務(wù)改進(jìn),為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司注重以質(zhì)量為中心,,以服務(wù)為理念,,秉持誠信為本的理念,打造儀器儀表良好品牌,。在社會各界的鼎力支持下,,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務(wù)體驗,,為客戶成功提供堅實有力的支持,。