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三維輪廓儀干涉測量應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2020-12-24

一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。

二,、提高效率:

智能化檢測,,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),,即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,,精確度低的缺點(diǎn),,**提高加工效率。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,。三維輪廓儀干涉測量應(yīng)用

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?

答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),,Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm,,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小(以10X鏡頭為例,,在1mm左右),,因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,,檢測效率會比較低,,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個面的粗糙度參數(shù),;

4.測量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,,或者能夠測到更小的尺寸?


如果需要了解更多,,請?jiān)L問官網(wǎng),。 3D形貌輪廓儀出廠價光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度: ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術(shù):快速靈活,、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響


以下來自網(wǎng)絡(luò):

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,,并給出其數(shù)值的儀器,,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器,,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。


輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才


15年ADE,,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā),、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)


SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,,太陽能在線檢測設(shè)備

唐壽鴻博士,國家千人****


25年 ADE,,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)


KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),,***圖像處理、算法**

許衡博士,,軟件系統(tǒng)研發(fā)


10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical

Instrument)

光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)


岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難,。 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),,Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm。

輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān),。例如在光學(xué)玻璃,、集成電路、汽車零部件,、機(jī)器人**器件,、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,,都需要對加工的成品進(jìn)行檢測,,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù),,作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 表面三維評定參數(shù)由于能更***,,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征,。ADE輪廓儀代理商

配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息,。三維輪廓儀干涉測量應(yīng)用

    比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì),,半導(dǎo)體,和金屬薄膜的厚度和折射率,。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光,。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本,復(fù)雜度,,和測量能力上的不同,。由于橢偏儀的光從一個角度入射,,所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度,使得橢偏儀對超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測量能力,。然而,,偏振分析意味著需要昂貴的精密移動光學(xué)儀器。光譜反射儀測量的是垂直光,,它忽略偏振效應(yīng)(絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對稱),。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿釉O(shè)備,光譜反射儀成為簡單低成本的儀器,。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析,。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優(yōu)先,而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚,。在10nm到10um厚度之間,,兩種技術(shù)都可用。而且具有快速,,簡便,,成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>,。三維輪廓儀干涉測量應(yīng)用

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