對于壓印工藝,，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm。納米技術應用的配置除了可編程的高和低接觸力外,，還可以包括用于印章的釋放機構,。EV Group專有的卡盤設計可提供均勻的接觸力，以實現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,，該卡盤支持軟性和硬性印模,。

EVG610特征：

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術

**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求

分步流程指導

遠程技術支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序，可分配的訪問權限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

附加功能：

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。微透鏡納米壓印推薦型號

曲面基底上的納米結構在許多領域都有著重要應用，例如仿生學,、柔性電子學和光學器件等,。傳統(tǒng)的納米壓印技術通常采用剛性模板，可以實現(xiàn)亞10nm的分辨率,，但是模板不能彎折,，無法在曲面基底上壓印制備納米結構。而采用彈性模板的軟壓印技術可以在無外界提供壓力下與曲面保形接觸,，實現(xiàn)結構在非平面基底上的壓印復制,，但是由于彈性模板的楊氏模量較低，所以壓印結構的分辨率和精度都受到限制,?；谀壳凹{米壓印的發(fā)展現(xiàn)狀，結合傳統(tǒng)的納米壓印技術和軟壓印技術,，中國科學院光電技術研究所團隊發(fā)展了一種基于紫外光固化巰基-烯材料的亞100nm分辨率的復合軟壓印模板的制備方法,，該模板包含剛性結構層和彈性基底層,。（來自網(wǎng)絡，侵權請聯(lián)系我們進行刪除,，謝謝?。?江蘇三星納米壓印SmartNIL技術可提供功能強大的下一代光刻技術，幾乎具有無限的結構尺寸和幾何形狀功能,。

納米壓印應用一：鏡片成型

晶圓級光學（WLO）的制造得到EVG高達300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設備的支持,。使用從晶片尺寸的主印模復制來的工作印模，通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉移到光學聚合物材料中,。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,，可以輕松地適應各種材料組合，以用于工作印模和微透鏡材料,。EVG系統(tǒng)是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制的優(yōu)先,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識,。我們愿意與您共同進步。

EVG ® 770特征：

微透鏡用于晶片級光學器件的高 效率制造主下降到納米結構為SmartNIL ®

簡單實施不同種類的大師

可變抗蝕劑分配模式

分配,，壓印和脫模過程中的實時圖像

用于壓印和脫模的原位力控制

可選的光學楔形誤差補償

可選的自動盒帶間處理

EVG ® 770技術數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：100至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：大功率LED（i線）> 100 mW /cm2

對準：頂側顯微鏡,，用于實時重疊校準≤±500 nm和精細校準≤±300 nm

較早印刷模具到模具的放置精度：≤1微米

有效印記區(qū)域：長達50 x 50毫米

自動分離：支持的

前處理：涂層：液滴分配（可選）

EV Group 提供完整的UV 紫外光納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線。

EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),，從碎片到比較大150毫米,。

該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準,。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉換時間*為幾分鐘,。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。

EVG高達300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設備支持晶圓級光學（WLO）的制造,。湖北納米壓印代理價格

IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。微透鏡納米壓印推薦型號

      **的衍射波導設計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group（EVG）進行合作，EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設備的**供應商,，以帶來高性能增強現(xiàn)實（ AR）波導以當今業(yè)界*低的成本進入大眾市場,。波導是可穿戴AR的關鍵光學組件,。

      WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評論：“這一合作伙伴關系標志著增強現(xiàn)實行業(yè)的轉折點，是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強現(xiàn)實解決方案的關鍵步驟,，這是迄今為止尚無法實現(xiàn)的能力,。” EVG的專業(yè)知識與我們可擴展的通用技術的結合將使到明年年底,，AR終端用戶產(chǎn)品的市場價格將低于600美元,。“這項合作是釋放AR可穿戴設備發(fā)展的關鍵,；我們共同處于有利位置,，可以在AR中引入大眾市場創(chuàng)新，以比以往更低的成本開辟了可擴展性的新途徑,?！?微透鏡納米壓印推薦型號

岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家其他型類企業(yè)，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。是一家有限責任公司企業(yè),，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究，在原有產(chǎn)品的基礎上經(jīng)過不斷改進,，追求新型,，在強化內(nèi)部管理，完善結構調(diào)整的同時,，良好的質(zhì)量,、合理的價格、完善的服務,，在業(yè)界受到寬泛好評,。公司擁有專業(yè)的技術團隊，具有磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等多項業(yè)務,。岱美儀器技術服務以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務的理念,，打造高指標的服務，引導行業(yè)的發(fā)展,。