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來源: 發(fā)布時間:2022-02-09

AlN陶瓷金屬化的方法主要有:厚膜金屬化法是在陶瓷基板上通過絲網(wǎng)印刷形成封接用金屬層,、導(dǎo)體(電路布線)及電阻等,通過燒結(jié)形成釬焊金屬層,、電路及引線接點(diǎn)等,。厚膜金屬化的步驟一般包括:圖案設(shè)計,原圖,、漿料的制備,,絲網(wǎng)印刷,干燥與燒結(jié),。厚膜法的優(yōu)點(diǎn)是導(dǎo)電性能好,,工藝簡單,適用于自動化和多品種小批量生產(chǎn),,但結(jié)合強(qiáng)度不高,,且受溫度影響大,高溫時結(jié)合強(qiáng)度很低,。直接覆銅法利用高溫熔融擴(kuò)散工藝將陶瓷基板與高純無氧銅覆接到一起,,所形成的金屬層具有導(dǎo)熱性好、附著強(qiáng)度高,、機(jī)械性能優(yōu)良,、便于刻蝕、絕緣性及熱循環(huán)能力高的優(yōu)點(diǎn),,但是后續(xù)也需要圖形化工藝,,同時對AlN進(jìn)行表面熱處理時形成的氧化物層會降低AlN基板的熱導(dǎo)率。氮化鋁硬度高,,超過傳統(tǒng)氧化鋁,,是新型的耐磨陶瓷材料,。杭州納米氮化鋁粉體哪家好

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由于氮化鋁具有與鋁、鈣等金屬不潤濕等特性,,所以可以用其作坩堝,、保護(hù)管、澆注模具等,。將氮化鋁陶瓷作為金屬熔池可以用在浸入式熱電偶保護(hù)管中,,由于它不粘附熔融金屬,在800~1000度的熔池中可以連續(xù)使用大約3000個小時以上并且不會被侵蝕破壞,。此外,,由于氮化鋁材料對熔鹽砷化鎵等材料性能穩(wěn)定,那么將氮化鋁坩堝替代玻璃進(jìn)行砷化鎵半導(dǎo)體的合成,,能夠完全消除硅的污染而得到高純度的砷化鎵,。氮化鋁陶瓷擁有高硬度和高溫強(qiáng)度性能,可制作切割工具,、砂輪,、拉絲模以及制造工具材料、金屬陶瓷材料的原料,。杭州絕緣氮化鋁氮化鋁陶瓷片川于大功率半導(dǎo)體集成電路和大功率的厚模電路,。

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活性金屬釬焊法是在普通釬料中加入一些化學(xué)性質(zhì)較為活潑的過渡元素如:Ti、Zr,、Al,、Nb、V等,。一定溫度下,,這些活潑元素會與陶瓷基板在界面處發(fā)生化學(xué)反應(yīng),形成反應(yīng)過渡層,,如圖7所示,。反應(yīng)過渡層的主要產(chǎn)物是一些金屬間化合物,并具有與金屬相同的結(jié)構(gòu),,因此可以被熔化的金屬潤濕,。共燒法是通過絲網(wǎng)印刷工藝在AlN陶瓷生片表面涂刷一層難熔金屬(Mo、W等)的厚膜漿料,,一起脫脂燒成,,使導(dǎo)電金屬與AlN陶瓷燒成為一體結(jié)構(gòu)。共燒法根據(jù)燒結(jié)溫度的高低可分為低溫共燒(LTCC)和高溫共燒(HTCC)兩種方式,,低溫共燒基板的燒結(jié)溫度一般為800-900℃,,而高溫共燒基板的燒結(jié)溫度為1600-1900℃。燒結(jié)后,為了便于芯片引線鍵合及焊接,,還需在金屬陶瓷復(fù)合體的金屬位置鍍上一層Sn或Ni等熔點(diǎn)較低的金屬,。

燒結(jié)是指陶瓷粉體經(jīng)壓力壓制后形成的素坯在高溫下的致密化過程,在燒結(jié)溫度下陶瓷粉末顆粒相互鍵聯(lián),晶粒長大,,晶界和坯體內(nèi)空隙逐漸減少,,坯體體積收縮,致密度增大,,直至形成具有一定強(qiáng)度的多晶燒結(jié)體,。氮化鋁作為共價鍵化合物,難以進(jìn)行固相燒結(jié),。通常采用液相燒結(jié)機(jī)制,,即向氮化鋁原料粉末中加入能夠生成液相的燒結(jié)助劑,并通過溶解產(chǎn)生液相,,促進(jìn)燒結(jié),。AlN燒結(jié)動力:粉末的比表面能、晶格缺陷,、固液相之間的毛細(xì)力等。要制備高熱導(dǎo)率的AlN陶瓷,,在燒結(jié)工藝中必須解決兩個問題:是要提高材料的致密度,,第二是在高溫?zé)Y(jié)時,要盡量避免氧原子溶入的晶格中,。利用AIN陶瓷耐熱耐熔體光學(xué)性能可作紅外線窗口,。

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目前,AlN陶瓷燒結(jié)氣氛有3種:中性氣氛,、還原型氣氛和弱還原型氣氛,。中性氣氛采用常用的N2、還原性氣氛采用CO,,弱還原性氣氛則使用H2,。在還原氣氛中,AlN陶瓷的燒結(jié)時間及保溫時間不宜過長,,且其燒結(jié)溫度不能過高,,以免AlN被還原。而在中性氣氛中不會出現(xiàn)上述情況,,因此一般選擇在氮?dú)庵袩Y(jié),,以此獲得性能更高的AlN陶瓷。在氮化鋁陶瓷基板燒結(jié)過程中,,除了工藝和氣氛影響著產(chǎn)品的性能外,,燒結(jié)助劑的選擇也尤為重要。AlN燒結(jié)助劑一般是堿金屬氧化物和堿土金屬氧化物,燒結(jié)助劑主要有兩方面的作用:一方面形成低熔點(diǎn)物相,,實(shí)現(xiàn)液相燒結(jié),,降低燒結(jié)溫度,促進(jìn)坯體致密化,;另一方面,,高熱導(dǎo)率是AlN基板的重要性能,而實(shí)現(xiàn)AlN基板中由于存在氧雜質(zhì)等各種缺陷,,熱導(dǎo)率低于及理論值,,加入燒結(jié)助劑可以與氧反應(yīng),使晶格完整化,,進(jìn)而提高熱導(dǎo)率,。選擇多元復(fù)合燒結(jié)助劑,往往能獲得比單一燒結(jié)助劑更好的燒結(jié)效果找到合適的低溫?zé)Y(jié)助劑,,實(shí)現(xiàn)AlN低溫?zé)Y(jié),,就可以減少能耗、降低成本,,便于進(jìn)行連續(xù)生產(chǎn),。 氮化鋁的電阻率較高,熱膨脹系數(shù)低,硬度高,,化學(xué)穩(wěn)定性好但與一般絕緣體不同,。衢州耐溫氮化鋁價格

氮化鋁還具有良好的耐磨損和耐腐蝕性能,可用作防護(hù)膜,。杭州納米氮化鋁粉體哪家好

氮化鋁粉體的制備工藝主要有直接氮化法和碳熱還原法,,此外還有自蔓延合成法、高能球磨法,、原位自反應(yīng)合成法,、等離子化學(xué)合成法及化學(xué)氣相沉淀法等。直接氮化法:直接氮化法就是在高溫的氮?dú)鈿夥罩?,鋁粉直接與氮?dú)饣仙傻X粉體,,其化學(xué)反應(yīng)式為2Al(s)+N2(g)→2AlN(s),反應(yīng)溫度在800℃-1200℃,。其優(yōu)點(diǎn)是工藝簡單,,成本較低,適合工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn),。其缺點(diǎn)是鋁粉表面有氮化物產(chǎn)生,,導(dǎo)致氮?dú)獠荒軡B透,轉(zhuǎn)化率低,;反應(yīng)速度快,,反應(yīng)過程難以控制;反應(yīng)釋放出的熱量會導(dǎo)致粉體產(chǎn)生自燒結(jié)而形成團(tuán)聚,從而使得粉體顆粒粗化,,后期需要球磨粉碎,,會摻入雜質(zhì)。杭州納米氮化鋁粉體哪家好

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