用作壓阻式傳感器的基片（或稱(chēng)膜片）材料主要為硅片和鍺片,，硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來(lái)越受到人們的重視,，尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用**為普遍。熱電阻傳感器（圖6）熱電阻測(cè)溫是基于金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來(lái)進(jìn)行溫度測(cè)量的,。熱電阻大都由純金屬材料制成,，應(yīng)用**多的是鉑和銅，此外,，已開(kāi)始采用鎳,、錳和銠等材料制造熱電阻。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來(lái)測(cè)量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù),。在溫度檢測(cè)精度要求比較高的場(chǎng)合,，這種傳感器比較適用。較為***的熱電阻材料為鉑,、銅,、鎳等，它們具有電阻溫度系數(shù)大,、線(xiàn)性好,、性能穩(wěn)定、使用溫度范圍寬,、加工容易等特點(diǎn),。用于測(cè)量-200℃～+500℃范圍內(nèi)的溫度。因此可以說(shuō),，沒(méi)有眾多的優(yōu)良的傳感器,，現(xiàn)代化生產(chǎn)也就失去了基礎(chǔ)。黃浦區(qū)出口傳感器設(shè)計(jì)

國(guó)內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,，如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開(kāi)發(fā)的諧振式微加速度傳感器,。后者采用電阻熱激勵(lì)、壓阻電橋檢測(cè)的方式,，其敏感結(jié)構(gòu)為高度對(duì)稱(chēng)的4角支撐質(zhì)量塊形式,，在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個(gè)諧振梁用于信號(hào)檢測(cè)。3,、微機(jī)械陀螺角速度一般是用陀螺儀來(lái)進(jìn)行測(cè)量的,。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動(dòng)的物體具有保持其角動(dòng)量的特性來(lái)測(cè)量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,，但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,，使用壽命短，成本高,，一般*用于導(dǎo)航方面,，而難以在一般的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中應(yīng)用,。實(shí)際上，如果不是受成本限制,，角速度傳感器可在諸如汽車(chē)牽引控制系統(tǒng),、攝象機(jī)的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器,、***儀器,、運(yùn)動(dòng)機(jī)械,、計(jì)算機(jī)慣性鼠標(biāo),、***等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見(jiàn)的微機(jī)械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),，懸臂梁結(jié)構(gòu),、音叉結(jié)構(gòu)、振動(dòng)環(huán)結(jié)構(gòu)等,。但是,，實(shí)現(xiàn)的微機(jī)械陀螺的精度還不到10°/h，離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠(yuǎn),。上海標(biāo)準(zhǔn)傳感器檢測(cè)該類(lèi)傳感器為正溫度系數(shù)傳感器,，即傳感器阻值隨溫度的升高而增大。

4,、復(fù)合敏感功能——觀察周?chē)淖匀滑F(xiàn)象,，常見(jiàn)的信號(hào)有聲、光,、電,、熱、力,、化學(xué)等,。敏感元件測(cè)量一般通過(guò)兩種方式：直接和間接的測(cè)量。而智能傳感器具有復(fù)合功能,，能夠同時(shí)測(cè)量多種物理量和化學(xué)量,，給出能夠較***反映物質(zhì)運(yùn)動(dòng)規(guī)律的信息。光敏光敏傳感器是最常見(jiàn)的傳感器之一,，它的種類(lèi)繁多,，主要有：光電管、光電倍增管,、光敏電阻,、光敏三極管、太陽(yáng)能電池,、紅外線(xiàn)傳感器,、紫外線(xiàn)傳感器、光纖式光電傳感器、色彩傳感器,、CCD和CMOS圖像傳感器等,。它的敏感波長(zhǎng)在可見(jiàn)光波長(zhǎng)附近，包括紅外線(xiàn)波長(zhǎng)和紫外線(xiàn)波長(zhǎng)

圖1 傳感器的組成敏感元件直接感受被測(cè)量,，并輸出與被測(cè)量有確定關(guān)系的物理量信號(hào),；轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)；變換電路負(fù)責(zé)對(duì)轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號(hào)進(jìn)行放大調(diào)制,；轉(zhuǎn)換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電,。常將傳感器的功能與人類(lèi)5大感覺(jué)***相比擬：光敏傳感器——視覺(jué)聲敏傳感器——聽(tīng)覺(jué)氣敏傳感器——嗅覺(jué)化學(xué)傳感器——味覺(jué)傳感器（圖1）壓敏、溫敏,、流體傳感器——觸覺(jué)敏感元件的分類(lèi)：物理類(lèi),，基于力、熱,、光,、電、磁和聲等物理效應(yīng),?；瘜W(xué)類(lèi)，基于化學(xué)反應(yīng)的原理,。生物類(lèi),，基于酶、抗體,、和***等分子識(shí)別功能,。霍爾效應(yīng)是研究半導(dǎo)體材料性能的基本方法,。

通常據(jù)其基本感知功能可分為熱敏元件,、光敏元件、氣敏元件,、力敏元件,、磁敏元件、濕敏元件,、聲敏元件,、放射線(xiàn)敏感元件、色敏元件和味敏元件等**類(lèi)（還有人曾將敏感元件分46類(lèi)）,。人們?yōu)榱藦耐饨绔@取信息,，必須借助于感覺(jué)***。而單靠人們自身的感覺(jué)***,，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了,。為適應(yīng)這種情況,，就需要傳感器。因此可以說(shuō),，傳感器是人類(lèi)五官的延長(zhǎng),，又稱(chēng)之為電五官。新技術(shù)**的到來(lái),，世界開(kāi)始進(jìn)入信息時(shí)代,。在利用信息的過(guò)程中，首先要解決的就是要獲取準(zhǔn)確可靠的信息,，而傳感器是獲取自然和生產(chǎn)領(lǐng)域中信息的主要途徑與手段,。部分散射光返回到傳感器接收器，被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二極管上,。黃浦區(qū)出口傳感器設(shè)計(jì)

生物類(lèi),，基于酶,、抗體,、等分子識(shí)別功能。黃浦區(qū)出口傳感器設(shè)計(jì)

2.應(yīng)用在汽車(chē)電子應(yīng)用在汽車(chē)中的MEMS傳感器MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測(cè)量氣囊壓力,、燃油壓力,、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力,。這種傳感器用單晶硅作材料,，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,，再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路,，來(lái)獲得高靈敏度。車(chē)用MEMS壓力傳感器有電容式,、壓阻式,、差動(dòng)變壓器式、聲表面波式等幾種常見(jiàn)的形式,。而MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律,，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測(cè)質(zhì)量組成，通過(guò)微硅質(zhì)量塊的偏移實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的檢測(cè),，主要用于汽車(chē)安全氣囊系統(tǒng),、防滑系統(tǒng)、汽車(chē)導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等,，除了有電容式,、壓阻式以外，MEMS加速度計(jì)還有壓電式,、隧道電流型,、諧振式和熱電偶式等形式,。黃浦區(qū)出口傳感器設(shè)計(jì)

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