MEMS傳感器是MEMS器件的一個(gè)重要分支,，作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分，MEMS傳感器是實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)感知和信號處理的功能器件,。這種傳感器采用MEMS制造技術(shù),，即微電子制造技術(shù)和微機(jī)械加工制造技術(shù)，其材料,、工作原理,、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當(dāng)大的區(qū)別,。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應(yīng)工作的,，它的制作工藝結(jié)合當(dāng)今先進(jìn)的IC微電子加工工藝和MEMS微機(jī)械加工制造工藝來實(shí)現(xiàn),，通過對材料的微機(jī)械加工，制造出可感受壓力,、溫度、磁場,、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)器件(如梁,、膜、叉指等單一或復(fù)合的結(jié)構(gòu)),，從而實(shí)現(xiàn)對各種相關(guān)參數(shù)的感知,、測試和轉(zhuǎn)換轉(zhuǎn)換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電。奉賢區(qū)智能傳感器特點(diǎn)

3.應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)追蹤系統(tǒng)在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中,，MEMS傳感器可以用來進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測量,，對每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄,，教練們對結(jié)果分析，反復(fù)比較,，以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績,。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，MEMS傳感器的價(jià)格也會(huì)隨著降低,，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用,。在滑雪方面，3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器,、加速度傳感器,、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力，除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外,，還可以記錄使用者的位置和距離,。在沖浪方面也是如此，安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤,，可以記錄海浪高度,、速度、沖浪時(shí)間,、漿板距離,、水溫以及消耗的熱量等信息。徐匯區(qū)標(biāo)準(zhǔn)傳感器性能相信不久的將來,，傳感器技術(shù)將會(huì)出現(xiàn)一個(gè)飛躍,，達(dá)到與其重要地位相稱的新水平。

例如,，基于半導(dǎo)體硅材料壓阻效應(yīng)的壓力傳感器,、基于石英材料壓電效應(yīng)的微加速度傳感器、基于磁致伸縮材料伸縮效應(yīng)的微位移傳感器等,。1.應(yīng)用于醫(yī)療MEMS傳感器應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測，檢測胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作,，由于胎兒心率很快,，在每分鐘l20～160次之間，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,，用人工計(jì)數(shù)很難測量準(zhǔn)確,。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀,，價(jià)格昂貴,，*為少數(shù)大醫(yī)院使用，在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及,。此外，超聲振動(dòng)波作用于胎兒,，會(huì)對胎兒產(chǎn)生很大的不利作用,。盡管檢測劑量很低，也屬于有損探測范疇,，不適于經(jīng)常性,、重復(fù)性的檢查及家庭使用。

2.應(yīng)用在汽車電子應(yīng)用在汽車中的MEMS傳感器MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測量氣囊壓力,、燃油壓力,、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力,。這種傳感器用單晶硅作材料,，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片，然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,，再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路,，來獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式,、壓阻式,、差動(dòng)變壓器式,、聲表面波式等幾種常見的形式,。而MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成,，通過微硅質(zhì)量塊的偏移實(shí)現(xiàn)對加速度的檢測,，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng),、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等,，除了有電容式、壓阻式以外,，MEMS加速度計(jì)還有壓電式,、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式,。傳感器的存在和發(fā)展,，讓物體有了觸覺、味覺和嗅覺等感官,，讓物體變得活了起來,，傳感器是人類五官的延長。

圖1 傳感器的組成敏感元件直接感受被測量，并輸出與被測量有確定關(guān)系的物理量信號,；轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉(zhuǎn)換為電信號,；變換電路負(fù)責(zé)對轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號進(jìn)行放大調(diào)制；轉(zhuǎn)換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電,。常將傳感器的功能與人類5大感覺***相比擬：光敏傳感器——視覺聲敏傳感器——聽覺氣敏傳感器——嗅覺化學(xué)傳感器——味覺傳感器（圖1）壓敏,、溫敏、流體傳感器——觸覺敏感元件的分類：物理類,，基于力,、熱、光,、電,、磁和聲等物理效應(yīng)?；瘜W(xué)類,，基于化學(xué)反應(yīng)的原理。生物類,，基于酶,、抗體、和***等分子識別功能,。轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號轉(zhuǎn)換為電信號,；普陀區(qū)常見傳感器性能

而單靠人們自身的感覺，在研究自然現(xiàn)象和規(guī)律以及生產(chǎn)活動(dòng)中它們的功能就遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠了,。奉賢區(qū)智能傳感器特點(diǎn)

應(yīng)用領(lǐng)域：視覺傳感器的低成本和易用性已吸引機(jī)器設(shè)計(jì)師和工藝工程師將其集成入各類曾經(jīng)依賴人工,、多個(gè)光電傳感器，或根本不檢驗(yàn)的應(yīng)用,。視覺傳感器的工業(yè)應(yīng)用包括檢驗(yàn),、計(jì)量、測量,、定向,、瑕疵檢測和分撿。以下只是一些應(yīng)用范例：在汽車組裝廠,，檢驗(yàn)由機(jī)器人涂抹到車門邊框的膠珠是否連續(xù),，是否有正確的寬度；在瓶裝廠,，校驗(yàn)瓶蓋是否正確密封,、裝灌液位是否正確，以及在封蓋之前沒有異物掉入瓶中,；在包裝生產(chǎn)線,，確保在正確的位置粘貼正確的包裝標(biāo)簽,；奉賢區(qū)智能傳感器特點(diǎn)

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