微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve,，加熱插板閥,，加熱閘閥，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過控制器設(shè)置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達(dá)到200度時(shí),，斷電后溫度下降后重新啟動(dòng)）,，應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備,。微泰，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：ISO,、JIS,、ASA、CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、,、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。閘閥通過閥座和閘板接觸進(jìn)行密封,，通常密封面會(huì)堆焊金屬材料以增加耐磨性。電動(dòng)閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理,，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder）,，延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)和使用壽命。三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán),，長(zhǎng)久延長(zhǎng)GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料，考慮了復(fù)原力,，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動(dòng)性能。半導(dǎo)體閘閥Global Foundries控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。

微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備，如蒸發(fā),、濺射,、金剛石生長(zhǎng)、PECV,、PVD集群,、卷對(duì)卷、涂層,、蝕刻,、擴(kuò)散和CVD等。它具有陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護(hù)等特點(diǎn),，可替代VAT閘閥,。該閥門的規(guī)格包括手動(dòng)或氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封、≤2秒響應(yīng)時(shí)間、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar,、≤30 mbar的開始時(shí)壓差、≤1400 mbar的6?以下閘門差動(dòng)壓力和≤1200 mbar的8?至14?閘門差動(dòng)壓力,、<1×10 -10 Mbar/秒的泄漏率,、250,000次維護(hù)前可用次數(shù)、閥體溫度≤200°,、機(jī)構(gòu)溫度≤80°C,、烤爐溫度≤150°C、閥體不銹鋼304或316L和驅(qū)動(dòng)器鋁6061陽(yáng)極氧化,、任意安裝位置和4至7 bar的N2操作壓力,。此外，微泰高壓閘閥已在中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其他設(shè)備上得到應(yīng)用,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰高壓閘閥的信息,，請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。

微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型,。一,、I型轉(zhuǎn)移閥。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng)，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，保證高耐用性和長(zhǎng)壽命。二,、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的特點(diǎn)是閘門在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng),，確保完美的腔室壓力維護(hù)。它的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，包括一個(gè)LM導(dǎo)向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營(yíng)地結(jié)構(gòu),，保證了高耐用性和長(zhǎng)壽命，同時(shí)提供穩(wěn)定和精確的運(yùn)動(dòng),。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動(dòng),，并且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長(zhǎng)的使用壽命,。此外，即使長(zhǎng)時(shí)間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。金屬閥體襯里高壓閥門主要有襯膠閥門、襯氟閥門,、襯鉛閥門,、襯塑閥門、襯搪瓷閥門,。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：插板閥主滑閥的球機(jī)構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗(yàn)證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)無顆粒-已向中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生大量顆粒,。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生Particle,，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動(dòng)同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半?dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽ｉl閥的結(jié)構(gòu)緊湊,，閥門剛性好,，通道流暢，流阻數(shù)小,，密封面采用不銹鋼和硬質(zhì)合金,，使用壽命長(zhǎng)?？刂崎l閥三星半導(dǎo)體

閘閥的結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度(系殼體兩連接端面之間的距離)較小,。電動(dòng)閘閥BUTTERFLY VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：已向中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認(rèn)可,，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證。1,，采用陶瓷球機(jī)構(gòu),，抗沖擊和震動(dòng)，保證使用25萬(wàn)次,，檢修方便,，較低維護(hù)成本。2,，無Particle（顆粒）產(chǎn)生,，采用陶瓷球無腐蝕和顆粒產(chǎn)。3,，屏蔽保護(hù)：屏蔽式保護(hù)功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于1mm，可防止粉末侵入閥內(nèi),，壽命為半永久性,。4,，保護(hù)環(huán)：Protecrion Ring通過流速上升設(shè)計(jì)防止粉末凝固，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶫VA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。電動(dòng)閘閥BUTTERFLY VALVE