微泰,，多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機(jī)制 STS304,、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸,、閘門密封 FKM(VITON),、開/關(guān)振動 無振動,、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、閘門壓差 ≤1.4 bar、分子流動電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar,、安裝位置：任意。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?閘閥多應(yīng)用于石油,、天然氣等輸送管線上，在半導(dǎo)體加工工程設(shè)備上也多用閘閥,。鋁閘閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸。1,，開放/關(guān)閉速度LCD顯示,；2，當(dāng)閥門或泵錯誤時,，燈點(diǎn)亮：3,，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號,；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進(jìn)行快速操作；6,，無噪音,，功耗低；7,，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8，UPS功能（1秒）,，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。超高真空閘閥TRANSFER VALVE微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，三重防護(hù)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設(shè)備,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。I型輸送閥,，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染，確保高耐用性-采用LM導(dǎo)軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結(jié)構(gòu)/小齒輪驅(qū)動方式,，使其具有簡單的運(yùn)動,、耐用性和高精度。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）,。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。

微泰主要產(chǎn)品有1、-手動鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門：全金屬配件構(gòu)成,，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成；3,、三位閥：半開功能的壓力控制閥,。氣動閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒；手動（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬次,；專門用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬次,，響應(yīng)時間：0.2秒客戶指定的法蘭，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時的高真空完整性,，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護(hù)套,、加熱器插入式閥門。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃,；蝶形閥,；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰鹃l閥通過閥座和閘板接觸進(jìn)行密封，通常密封面會堆焊金屬材料以增加耐磨性,。超大型真空閘閥三星半導(dǎo)體

為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒,，滑動閘門機(jī)構(gòu)的設(shè)計旨在避免閥殼處的摩擦。鋁閘閥

微泰,，大閘閥,、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥,。大閘閥、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?,、 法蘭型：ISO、JIS,、ASA ,、饋通：Viton O-Rin、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：可調(diào)節(jié)、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar 、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次,、開啟時壓差 ≤ 30 mba,、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec、閥體溫度≤ 150 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6~ 8 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?鋁閘閥