微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動,、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO、JIS,、ASA,、CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。閘閥體內(nèi)設(shè)一個與介質(zhì)流向成垂直方向的平面閘板,，靠這一閘板的升降來開啟或關(guān)閉介質(zhì)的通路。轉(zhuǎn)移閘閥閘板閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護套,、加熱器插入式閥門。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃,；蝶形閥,；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒,；有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰倦妱娱l閥TRANSFER VALVE真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時的高真空完整性，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力,。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點：首先,，它已向中國臺灣的 Micron、UMC,、AKT 等,，新加坡的 Micron、Global Foundries,，馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,，日本的 Micron、三星半導(dǎo)體等眾多設(shè)備廠批量供貨,，且品質(zhì)得到認(rèn)可,，同時完成了對半導(dǎo)體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。其次,，該閘閥采用陶瓷球機構(gòu),，具有良好的抗沖擊和震動性能，保證可使用 25 萬次,，且檢修方便,，維護成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生,，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生,。此外，它還具有屏蔽保護功能,，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm,，能有效防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性,。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特,，Protecrion Ring 通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點，首先介紹一下起三重保護的保護環(huán)機能,，采用鋁質(zhì)材料減少重量,，并提高保護環(huán)的內(nèi)部粗糙度，防止工程副產(chǎn)物堆積黏附,。提升保護環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計,，保護環(huán)逐步收窄，提升流速,，防止粉塵黏附,。采用三元系O型圈，保證保護環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定（保證30萬次驅(qū)動）,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶫VA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。金屬閥體襯里高壓閥門主要有襯膠閥門、襯氟閥門,、襯鉛閥門,、襯塑閥門、襯搪瓷閥門,。

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥，定制大型輸送閥，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：材料：不銹鋼304、A5083~A7075,、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽７墙饘俨牧细邏洪l閥有陶瓷閥門,、玻璃閥門,、塑料閥門。屏蔽閘閥蝶閥

真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個行業(yè),，包括半導(dǎo)體制造,、研發(fā)、分析類儀器和真空鍍膜。轉(zhuǎn)移閘閥閘板閥

微泰,，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。微泰蝶閥其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過程的壓力控制。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40,、DN50,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通、閥門密封：FKM（VITON）,、執(zhí)行器：步進電機,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar 、開啟壓差：≤ 30 mbar,、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤ 35 °C、材料：閥體STS304/機制STS304,、安裝位置：任意,、接口：RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。轉(zhuǎn)移閘閥閘板閥