微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,，50 x 336 / 56 x 500 ,，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ,，轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，確保完美的腔室壓力維持。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，保證高耐用性和長(zhǎng)壽命,。二、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù),。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動(dòng),，并且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定，確保了較長(zhǎng)的使用壽命,。此外,，即使長(zhǎng)時(shí)間使用柵極，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新，在開發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。真空閘閥通過使用滑動(dòng)閘門機(jī)構(gòu)來控制氣體的通過,。超大型真空閘閥Micron

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,，閥體材料：鋁,、氣動(dòng)、緊湊設(shè)計(jì),、重量輕,。閘門，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次,，易于維護(hù),，低顆粒（陶瓷球機(jī)構(gòu)）。- Body Material : Aluminum  - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Maintenance - Low Particle (Ceramic Ball Mechanism),，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。濺射閘閥楔式閘閥真空閘閥屬于真空隔離閥類別,。但是,，它也有可用于控制氣流。

微泰,，鋁閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。期特點(diǎn)是*不論什么工藝的設(shè)備都可以使用*由半永久性陶瓷球和彈簧組成*應(yīng)用:隔離泵,。鋁閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 10英寸、閥體：AL6061 (Anodizing),、機(jī)械裝置：AL6061 (Anodizing),、閥門：O型圈(VITON)、真空密封：O型圈(VITON),、響應(yīng)時(shí)間≤ 3 sec,、驅(qū)動(dòng)器：氣缸、操作泄漏率< 1×10-10 mbar ?/sec,、壓力范圍：< 1×10-10 mbar ?/sec,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、初次維護(hù)前可用次數(shù)100,000次,、閥體溫度≤ 120 °執(zhí)行機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C,、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)?？商娲鶹AT閥門,。

微泰，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是*使用加熱套或內(nèi)部加熱器加熱*加熱控制器*應(yīng)用:去除粉末/氣體設(shè)備,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng),、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸、法蘭類型：ISO,、JIS,、ASA、CF,、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。微泰,，高壓閘閥能應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD,。

微泰，三(多)位閘閥,、三位閘閥,、多位閘閥應(yīng)用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴(kuò)散?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。其特點(diǎn)是*3個(gè)位置功能-閥門打開,閥門關(guān)閉,第3位置*設(shè)備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動(dòng)和氣動(dòng)閥門組合*應(yīng)用:需要壓力控制的任何其他過程*應(yīng)用:需要壓力控制的地方。三位閘閥、多位閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)高壓閘閥只許介質(zhì)單向流動(dòng),，安裝時(shí)有方向性,。它的結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度大于閘閥,，同時(shí)流體阻力大。Diffusion閘閥蝶形控制閥

閘閥高度大,，啟閉時(shí)間長(zhǎng),。閘板的啟閉行程較大,，升降是通過螺桿進(jìn)行的。超大型真空閘閥Micron

微泰,，傳輸閥 (I-MOTION),、I型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導(dǎo)體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 使用維修配件工具包易于維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (I-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (I-MOTION)、右動(dòng)轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、開啟時(shí)壓差： ≤ 1200 mbar r,、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒、維護(hù)前可用次數(shù)： ≥1,000,000次,、閥體溫度≤ 200 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽３笮驼婵臻l閥Micron