微泰,，傳輸閥 (L-MOTION),、L型轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥應(yīng)用于晶圓加工，半導體加工,，可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 使用維修配件工具包易于維護? 應(yīng)用：半導體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離，傳輸閥 (L-MOTION),、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥規(guī)格如下：閘門密封類型：傳輸閥 (L-MOTION)、左動轉(zhuǎn)換閥,、驅(qū)動方式：氣動,、法蘭尺寸（內(nèi)徑） 32×222/46×236/50×336/56×500 、連接方式：焊接波紋管,、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、工作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1200 mbar,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、開啟時壓差： ≤ 1200 mbar r,、泄漏率不銹鋼：< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁：< 1×10 -5  mbar ?/秒,、維護前可用次數(shù)： ≥1,000,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?微泰高壓閘閥的特點是*陶瓷球機構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護*應(yīng)用:隔離泵,。Diffusion閘閥三星半導體

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥Heating gate valve,，加熱插板閥，加熱閘閥,，加熱器的加熱溫度為180-200度（可通過控制器設(shè)置溫度）-規(guī)格：適用雙金屬（達到200度時,，斷電后溫度下降后重新啟動）,，應(yīng)用于去除粉末/氣體設(shè)備。微泰,，加熱閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。加熱閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：ISO,、JIS,、ASA,、CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 12 ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、維護前可用次數(shù)：200,000次,、,、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。蒸發(fā)閘閥蝶閥為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒，滑動閘門機構(gòu)的設(shè)計旨在避免閥殼處的摩擦,。

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。這節(jié)介紹加熱閘閥,、加熱式閘閥護套、加熱器插入式閥門,。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃,；蝶形閥,；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒,；有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?/p>

微泰，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方,。控制系統(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS304,、STS420、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、執(zhí)行器：步進電機,、氦泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1.4 bar,、閘門上的壓差≤1.4bar,、維護前可用次數(shù)：100,000次、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤35°C,、安裝位置：任意、接口RS232,、RS485,、Devicenet、Profibus,、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。I型輸送閥,，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染,，確保高耐用性-采用LM導軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結(jié)構(gòu)/小齒輪驅(qū)動方式，使其具有簡單的運動,、耐用性和高精度,。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。為特定的真空系統(tǒng)和工藝選擇適當尺寸和類型的真空閘閥對于確保高效運行和可靠的真空完整性至關(guān)重要。Etch閘閥氣動閥

閘板有剛性閘板和彈性閘板,，根據(jù)閘板的不同,，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。Diffusion閘閥三星半導體

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，一,、控制系統(tǒng)閘閥,。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力。三,、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮氣控制閘閥位置的閥門。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點之一是能夠遠程檢查閥門狀態(tài),，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作,，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉,，以調(diào)節(jié)壓力。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。Diffusion閘閥三星半導體