微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù)。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門(mén)在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維護(hù),。這兩種類(lèi)型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn)，并且在閘門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中極大限度地減少了振動(dòng),，對(duì)溫度變化也非常穩(wěn)定,，以確保較長(zhǎng)的使用壽命。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥的信息,，請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽,？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作。手動(dòng)閘閥AKT

微泰,，高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸：1.5英寸~ 14英寸,、法蘭類(lèi)型：CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門(mén)的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽０雽?dǎo)體閘閥三星半導(dǎo)體微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén),?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。

微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動(dòng)鎖定閥：操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門(mén)切斷現(xiàn)象的源頭：2,、特殊閥門(mén)：全金屬配件構(gòu)成，由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,；3,、三位閥：半開(kāi)功能的壓力控制閥,。氣動(dòng)閘閥：?產(chǎn)品范圍：1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒；手動(dòng)（鎖定）閘閥?產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次,；專(zhuān)門(mén)用閘閥：產(chǎn)品范圍：1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：25萬(wàn)次,，響應(yīng)時(shí)間：0.2秒客戶(hù)指定的法蘭，可安裝角閥,；三位閘閥：產(chǎn)品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒,；有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：閥門(mén)驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理,，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder），延長(zhǎng)閥門(mén)驅(qū)動(dòng)和使用壽命,。三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，長(zhǎng)久延長(zhǎng)GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復(fù)原力，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說(shuō)明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動(dòng)性能,。關(guān)閉真空閥涉及將閘門(mén)移動(dòng)穿過(guò)流路以形成密封。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門(mén)控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1，開(kāi)放/關(guān)閉速度LCD顯示,；2,，當(dāng)閥門(mén)或泵錯(cuò)誤時(shí)，燈點(diǎn)亮：3，自動(dòng)關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4,，有閥門(mén)開(kāi)關(guān)位置的信號(hào)輸出信號(hào)；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進(jìn)行快速操作,；6，無(wú)噪音,，功耗低；7,，歷史管理-打開(kāi)/關(guān)閉/泵關(guān)閉等,；8，UPS功能（1秒）,，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。真空閘閥通過(guò)使用滑動(dòng)閘門(mén)機(jī)構(gòu)來(lái)控制氣體的通過(guò)。蝕刻閘閥SHIELD GATE VALVE

金屬閥體襯里高壓閥門(mén)主要有襯膠閥門(mén),、襯氟閥門(mén),、襯鉛閥門(mén)、襯塑閥門(mén),、襯搪瓷閥門(mén),。手動(dòng)閘閥AKT

微泰，屏蔽閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating（涂層）? Etch? Diffusion?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點(diǎn)是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體（粉末）進(jìn)入閥體內(nèi)部*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,，氣流中的高水平工藝,。屏蔽閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸：2.5英寸~ 10英寸,、法蘭類(lèi)型：ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門(mén)的差動(dòng)壓力：2.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)手動(dòng)閘閥AKT