微泰,，專(zhuān)門(mén)用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開(kāi)關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方,。專(zhuān)門(mén)用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸,、法蘭類(lèi)型：ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門(mén)的差動(dòng)壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體業(yè)績(jī)。

微泰,，高壓閘閥能應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD,。HVA閘閥L型轉(zhuǎn)移閥

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案，真空插板閥品牌—微泰,?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門(mén),?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥,、多位置閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。HVA閘閥L型轉(zhuǎn)移閥真空閘閥屬于真空隔離閥類(lèi)別,。但是,，它也有可用于控制氣流。

微泰,，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 帶步進(jìn)電機(jī)的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方?？刂葡到y(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機(jī)構(gòu)STS304、STS420,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、執(zhí)行器：步進(jìn)電機(jī)、氦泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1.4 bar,、閘門(mén)上的壓差≤1.4bar、維護(hù)前可用次數(shù)：100,000次,、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤35°C、安裝位置：任意,、接口RS232,、RS485、Devicenet,、Profibus,、EtherCat。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?/p>

微泰控制系統(tǒng)閥門(mén)是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門(mén),?？刂葡到y(tǒng)閥門(mén)起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門(mén)分為三類(lèi)：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作。一,、控制系統(tǒng)閘閥,。控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作,，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二,、蝶閥。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力。三,、多定位閘閥,。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門(mén)。它在閥門(mén)的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作,。它還具有緊急關(guān)閉功能，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。微泰高壓閘閥的特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:隔離泵,。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：插板閥主滑閥的球機(jī)構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗(yàn)證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)無(wú)顆粒-已向中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨,，已得到品質(zhì)認(rèn)可，已完成對(duì)半導(dǎo)體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗(yàn)證,，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動(dòng)產(chǎn)生大量顆粒,。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦?xí)r不會(huì)損壞，金屬與陶瓷球之間不會(huì)產(chǎn)生Particle,，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門(mén)驅(qū)動(dòng)同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾伞Ｎ⑻┌雽?dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。閘閥不易產(chǎn)生水錘現(xiàn)象。原因是關(guān)閉時(shí)間長(zhǎng),。HVA閘閥L型轉(zhuǎn)移閥

真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時(shí)的高真空完整性,，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力。HVA閘閥L型轉(zhuǎn)移閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。采用L型輸送閥L-motion防止產(chǎn)生微粒（Particle),，無(wú)需從設(shè)備上拆卸閥門(mén),，即可更換閘門(mén)和O形圈。大量采用缸套運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌Liner (motion guide),，實(shí)現(xiàn)高精度,、高耐用性.微泰晶圓輸送閥L型輸送閥L-motion,Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。HVA閘閥L型轉(zhuǎn)移閥