半導體主加工設備腔內精確壓力控制的解決方案，真空插板閥品牌—微泰,?？刂葡到y(tǒng)閥門是安裝在半導體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備中的主要閥門?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調節(jié)腔內壓力的作用,，通過控制系統(tǒng)自動調節(jié)閘板的開啟和關閉。精確控制腔內壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥,、多定位閘閥?？刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進電機操作,，而多定位閘閥、多位置閘閥使用氣動控制操作,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績。介質可向兩側任意方向流動,，易于安裝,。閘閥通道兩側是對稱的。VAT閘閥Global Foundries

微泰,，定制大型轉移閥,，定制大型輸送閥，?應用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅動方式：氣動、法蘭尺寸：（內徑）80×500,、（內徑）100×400,、（內徑）200×1800、（內徑）650×1050等法蘭類型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應時間：≤ 2 sec,、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar,、閘門上的壓差≤1000 mbar,、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、機構溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：材料：不銹鋼304,、A5083~A7075,、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。VAT閘閥Global Foundries為了避免在顆粒敏感應用中產(chǎn)生顆粒,，滑動閘門機構的設計旨在避免閥殼處的摩擦。

微泰,，三(多)位閘閥,、三位閘閥、多位閘閥應用于? 蒸發(fā)?濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? 涂層? 蝕刻? 擴散?CVD（化學氣相沉積）等設備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是*3個位置功能-閥門打開,閥門關閉,第3位置*設備可通過連接到閥門的9 Pin D-Sub來讀取閥門狀態(tài)*手動和氣動閥門組合*應用:需要壓力控制的任何其他過程*應用:需要壓力控制的地方,。三位閘閥,、多位閘閥規(guī)格如下：驅動方式：氣動、法蘭尺寸：2.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型ISO, JIS, ASA, CF,、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈,、響應時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、維護前可用次數(shù)：200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構溫度≤ 60 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉換閥、輸送閥,、轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。I型輸送閥，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染,，確保高耐用性-采用LM導軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結構/小齒輪驅動方式,，使其具有簡單的運動、耐用性和高精度,。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥,、轉換閥、輸送閥,、轉移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。高壓閘閥只許介質單向流動，安裝時有方向性,。它的結構長度大于閘閥,，同時流體阻力大,。

微泰轉移閥是安裝在半導體PVDCVD設備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當將位于工藝模塊中的晶圓轉移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關閉造成的真空壓力變化，使腔室內的真空壓力得以維持,。負責門控半導體晶圓轉移的轉移閥分為兩種類型:I型和L型,。一、I型轉移閥,。I型轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點是葉片在垂直方向上快速移動,，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導向系統(tǒng)和單連桿的內部機構，保證高耐用性和長壽命,。二,、L型轉移閥。L型轉移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點是設計緊湊,，易于維護。L型轉移閥的特點是閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動,，確保完美的腔室壓力維護,。它的內部機構，包括一個LM導向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營地結構,，保證了高耐用性和長壽命,，同時提供穩(wěn)定和精確的運動。I型和L型轉移閥在在閘門開啟和關閉過程中極大限度地減少了振動,，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命。此外,，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力。閘板有剛性閘板和彈性閘板,，根據(jù)閘板的不同,，閘閥分為剛性閘閥和彈性閘閥。超高真空閘閥氣動閥

非金屬材料高壓閘閥有陶瓷閥門,、玻璃閥門,、塑料閥門,。VAT閘閥Global Foundries

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸,。1,，開放/關閉速度LCD顯示；2,，當閥門或泵錯誤時,，燈點亮：3，自動關閉功能-防止泵跳閘中的逆流,；4,，有閥門開關位置的信號輸出信號；5,，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作,；6，無噪音,，功耗低,；7，歷史管理-打開/關閉/泵關閉等,；8,，UPS功能（1秒），微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,，有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥、VAT閘閥,。VAT閘閥Global Foundries