微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的三重保護(hù)保護(hù)環(huán)機(jī)能：采用鋁質(zhì)材料，減輕重量的同時(shí)提高保護(hù)環(huán)內(nèi)部粗糙度,，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附,；通過(guò)提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì),，且保護(hù)環(huán)逐步收窄，進(jìn)一步提升流速,，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈，確保保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定,，可保證 30 萬(wàn)次驅(qū)動(dòng),。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，能夠替代 HVA 閘閥,、VAT 閘閥,。此閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。金屬閥體襯里高壓閥門主要有襯膠閥門,、襯氟閥門、襯鉛閥門,、襯塑閥門,、襯搪瓷閥門。加熱閘閥角控制閥

微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。一、控制系統(tǒng)閘閥,?？刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值，保持一致的真空壓力,。三,、多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個(gè)內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對(duì)泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。多位閘閥Global Foundries真空閘閥的設(shè)計(jì)具有獨(dú)特的特征。它們具有堅(jiān)固的結(jié)構(gòu),，通常使用不銹鋼或鋁等材料來(lái)抵抗真空條件,。

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder）,，延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)和使用壽命,。三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，有三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán),，長(zhǎng)久延長(zhǎng)GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料，考慮了復(fù)原力,，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說(shuō)明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動(dòng)性能。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，氣動(dòng)多位置閘閥,，氣動(dòng)多定位閘閥,，多定位插板閥，Pneumatic Multi Position 其特點(diǎn)是1,，全開和關(guān)閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動(dòng)電磁閥進(jìn)行控制,；2，所有位置控制都由控制器進(jìn)行操作,。1)控制類型-全開：高速閘門全開操作-全閉：高速閘門全閉操作-位置（POS.）控制：將閘門移動(dòng)到設(shè)定的位置值,；2)操作時(shí)間-完全打開?完全關(guān)閉：<2秒（取決于速度控制器設(shè)置)-位置（POS。）控制： 0%?100%工作,，<MAX18秒（偏差： < ±0.5%）,。微泰氣動(dòng)多位置閘閥，氣動(dòng)多定位閘閥,，多定位插板閥,，Pneumatic Multi Position，有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式,、內(nèi)螺紋式、法蘭,、焊接等,。按介質(zhì)的流向分，有直通式,、直流式和角式,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，控制系統(tǒng)閘閥,，控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動(dòng)方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,，通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。介質(zhì)可向兩側(cè)任意方向流動(dòng),，易于安裝。閘閥通道兩側(cè)是對(duì)稱的,?？刂崎l閥氣動(dòng)閥

真空閘閥對(duì)于隔離不同的真空室、控制工藝過(guò)程中的氣流以及在不影響真空環(huán)境的情況下促進(jìn)維護(hù)或維修很重要,。加熱閘閥角控制閥

微泰,，專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸,、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管,、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時(shí)間：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar ,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °,、CTemperature for Actuator≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化),、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、Micron,Global Foundries,、英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體業(yè)績(jī),。

加熱閘閥角控制閥