微泰半導體閘閥的特點：插板閥主滑閥的球機構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動無顆粒-已向中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備,，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認可,，已完成對半導體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證,，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球,，與金屬摩擦時不會損壞,，金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生Particle，半永久板簧（SUS鋼板）的應用確保閥門驅(qū)動同步性,，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽＝饘匍y體襯里高壓閥門主要有襯膠閥門,、襯氟閥門,、襯鉛閥門、襯塑閥門、襯搪瓷閥門,。定制閘閥蝶形控制閥

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸。1,，開放/關(guān)閉速度LCD顯示,；2，當閥門或泵錯誤時,，燈點亮：3,，自動關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流；4,，有閥門開關(guān)位置的信號輸出信號,；5，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進行快速操作,；6,，無噪音，功耗低,；7,，歷史管理-打開/關(guān)閉/泵關(guān)閉等；8,，UPS功能（1秒）,，微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。蝕刻閘閥三星半導體真空閘閥是真空系統(tǒng)中用于控制氣體進出真空室的機械裝置,。

微泰,，控制系統(tǒng)閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,?？商娲鶹AT閘閥。其特點是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進電機的集成壓力控制器? 應用：需要壓力控制和隔離的地方,。控制系統(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸、材料：閥體(STS304)/機構(gòu)STS304,、STS420,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通、執(zhí)行器：步進電機,、氦泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1.4 bar、閘門上的壓差≤1.4bar,、維護前可用次數(shù)：100,000次,、閥體溫度≤ 150 °、控制器≤35°C,、安裝位置：任意,、接口RS232、RS485,、Devicenet,、Profibus、EtherCat,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。

微泰的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用，就像一條溝槽,。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持。負責門控半導體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種,。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,，如 32 x 222,、46 x 236、50 x 336,、56 x 500 等,。維護前使用周期可達 100 萬次，響應時間為 2 秒,，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導體系統(tǒng)和隔離工藝室,。I 型的特點是葉片能在垂直方向上快速移動,，保證腔室壓力完美維持，它采用具有 LM 導向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機構(gòu),，確保高耐用性和長壽命,。L 型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品則設(shè)計緊湊，易于維護,。I 型和 L 型轉(zhuǎn)移閥在閘門開啟和關(guān)閉過程中能極大限度地減少振動,，且對溫度變化非常穩(wěn)定，能確保較長的使用壽命,。此外,，它們即使長時間使用，產(chǎn)生的顆粒也很少,，能避免晶圓缺陷和主器件污染,。微泰不斷創(chuàng)新，在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力,，專注于真空閘閥的研發(fā),。微泰，高壓閘閥能應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD,。

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，插板閥，氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸,，ISO,、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）。微泰氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥應用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門、合金鋼閥門,、不銹鋼閥門,、鑄鐵閥門、鈦合金閥門,、銅合金閥門等。蝕刻閘閥三星半導體

閘閥的結(jié)構(gòu)比較簡單,，一般由閥體,、閥座、閥桿,、閘板,、閥蓋、密封圈幾部分組成,。定制閘閥蝶形控制閥

微泰半導體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，晶圓輸送閥Transfer Valve，傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。I型輸送閥,，-閘門動作時無震動或沖擊-通過饋通波紋管Feedthrough bellows防止閥體污染，確保高耐用性-采用LM導軌和單鏈路（LM-guide&Single Link）結(jié)構(gòu)/小齒輪驅(qū)動方式,，使其具有簡單的運動,、耐用性和高精度。I型輸送閥有爪式（Jaw type）和夾式（Clamp type）,。微泰晶圓輸送閥Transfer Valve,，傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。定制閘閥蝶形控制閥