超聲影像芯片的全集成MEMS設(shè)計(jì)與性能突破：針對(duì)超聲PZT換能器及CMUT/PMUT新型傳感器的收發(fā)需求，公司開發(fā)了**SoC超聲收發(fā)芯片,，采用0.18mm高壓SOI工藝實(shí)現(xiàn)發(fā)射與開關(guān)復(fù)用,，大幅節(jié)省芯片面積的同時(shí)提升性能,。在發(fā)射端，通過MEMS高壓驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì),，實(shí)現(xiàn)±100V峰值輸出電壓與1A持續(xù)輸出電流,，較TI同類產(chǎn)品提升30%，滿足深部組織成像的能量需求,；接收端集成12位ADC,，采樣率可達(dá)100Msps，信噪比（SNR）達(dá)73.5dB,，有效提升弱信號(hào)檢測(cè)能力,。芯片采用多層金屬布線與硅通孔（TSV）技術(shù)，實(shí)現(xiàn)3D堆疊集成,，封裝尺寸較傳統(tǒng)方案縮小40%,。在二次諧波抑制方面，通過優(yōu)化版圖布局與寄生參數(shù)補(bǔ)償,，將5MHz信號(hào)的二次諧波降至-40dBc,，優(yōu)于行業(yè)基準(zhǔn)-45dBc，***提升圖像分辨率,。目前TX芯片已完成流片,，與掌上超聲企業(yè)合作開發(fā)便攜式超聲設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)腹部,、心血管等部位的實(shí)時(shí)成像,，探頭尺寸*30mm×20mm，重量＜50g,，推動(dòng)超聲診斷設(shè)備向小型化,、智能化邁進(jìn)，助力基層醫(yī)療場(chǎng)景普及,。MEMS傳感器基本構(gòu)成是什么,？福建MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)

PDMS金屬流道芯片的復(fù)合加工工藝：PDMS金屬流道芯片通過在柔性PDMS流道內(nèi)集成金屬鍍層，實(shí)現(xiàn)流體控制與電信號(hào)檢測(cè)的一體化設(shè)計(jì),。加工流程包括：首先利用軟光刻技術(shù)在硅模上制備50-200μm寬度的流道結(jié)構(gòu)，澆筑PDMS預(yù)聚體并固化成型,；然后通過氧等離子體處理流道表面,，使其親水化以促進(jìn)金屬前驅(qū)體吸附；采用磁控濺射技術(shù)沉積50-200nm厚度的金/鉑金屬層,，經(jīng)化學(xué)鍍?cè)龊裰?-5μm,，形成連續(xù)導(dǎo)電流道；***與PET基板通過等離子體鍵合密封,，確保流體無泄漏,。金屬流道的表面粗糙度＜50nm,，電阻＜10Ω/cm，適用于電化學(xué)檢測(cè),、電滲泵驅(qū)動(dòng)等場(chǎng)景,。典型應(yīng)用如微流控電化學(xué)傳感器，在10μL/min流速下,，對(duì)葡萄糖的檢測(cè)靈敏度達(dá)50μA?mM?1?cm?2,，線性范圍0.1-20mM，檢測(cè)下限＜50μM,。公司開發(fā)的自動(dòng)化生產(chǎn)線可實(shí)現(xiàn)流道尺寸的精細(xì)控制（誤差＜±2%）,，并支持金屬層圖案化設(shè)計(jì)，如叉指電極,、螺旋流道等,，滿足不同傳感器的定制需求，為生物檢測(cè)與環(huán)境監(jiān)測(cè)領(lǐng)域提供了柔性化,、集成化的解決方案,。西藏MEMS微納米加工共同合作超聲芯片封裝采用三維堆疊技術(shù)，縮小尺寸 40% 并提升信噪比至 73.5dB,，優(yōu)化成像質(zhì)量,。

MEA柔性電極的MEMS制造工藝：公司開發(fā)的腦機(jī)接口用MEA（微電極陣列）柔性電極，采用聚酰亞胺或PDMS作為柔性基底,，通過光刻,、金屬蒸鍍與電化學(xué)沉積工藝，構(gòu)建高密度“觸凸”式電極陣列,。電極點(diǎn)直徑可縮至20微米,，間距50微米，表面修飾PEDOT:PSS導(dǎo)電聚合物,，電荷注入容量（CIC）達(dá)2mC/cm2,，信噪比（SNR）提升至25dB以上。制造過程中,，通過激光切割與等離子體鍵合技術(shù),，實(shí)現(xiàn)電極與柔性電路的可靠封裝。該工藝支持定制化設(shè)計(jì),，例如針對(duì)癲癇監(jiān)測(cè)的16通道電極,，植入后機(jī)械應(yīng)力降低70%，使用壽命延長(zhǎng)至3年,。此外,，電極陣列可集成于類***培養(yǎng)芯片，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)神經(jīng)元放電頻率與網(wǎng)絡(luò)同步性,，為神經(jīng)退行性疾病研究提供動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)支持,。

微納結(jié)構(gòu)的多圖拼接測(cè)量技術(shù)：針對(duì)大尺寸微納結(jié)構(gòu)的完整表征,，公司開發(fā)了多圖拼接測(cè)量技術(shù)，結(jié)合SEM與圖像算法實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)精度的全景成像,。首先通過自動(dòng)平移臺(tái)對(duì)樣品進(jìn)行網(wǎng)格掃描,，獲取多幅局部SEM圖像（分辨率5nm，視野范圍10-100μm）,；然后利用特征點(diǎn)匹配算法（如SIFT/SURF）進(jìn)行圖像配準(zhǔn),，誤差＜±2nm/100μm；通過融合算法生成完整的拼接圖像,，可覆蓋10mm×10mm區(qū)域,。該技術(shù)應(yīng)用于微流控芯片的流道檢測(cè)時(shí)，可快速識(shí)別全長(zhǎng)10cm流道內(nèi)的微小缺陷（如5μm以下的毛刺或堵塞）,，檢測(cè)效率較單圖測(cè)量提升10倍,。在納米壓印模具檢測(cè)中，多圖拼接可精確分析100μm×100μm范圍內(nèi)的結(jié)構(gòu)一致性,，特征尺寸偏差＜±1%,。公司自主開發(fā)的拼接軟件支持實(shí)時(shí)預(yù)覽與缺陷標(biāo)記，輸出包含尺寸標(biāo)注,、粗糙度分析的檢測(cè)報(bào)告,，為微納加工的質(zhì)量控制提供了高效工具，尤其適用于復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)與大面積陣列的計(jì)量需求,。MEMS制作工藝-太赫茲脈沖輻射探測(cè),。

MEMS制作工藝柔性電子出現(xiàn)的意義：

柔性電子技術(shù)有可能帶來一場(chǎng)電子技術(shù)進(jìn)步，引起全世界的很多的關(guān)注并得到了迅速發(fā)展,。美國(guó)《科學(xué)》雜志將有機(jī)電子技術(shù)進(jìn)展列為2000年世界幾大科技成果之一,，與人類基因組草圖、生物克隆技術(shù)等重大發(fā)現(xiàn)并列,。美國(guó)科學(xué)家艾倫黑格,、艾倫·馬克迪爾米德和日本科學(xué)家白川英樹由于他們?cè)趯?dǎo)電聚合物領(lǐng)域的開創(chuàng)性工作獲得2000年諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)。

柔性電子技術(shù)是行業(yè)新興領(lǐng)域,，它的出現(xiàn)不但整合電子電路,、電子組件、材料,、平面顯示,、納米技術(shù)等領(lǐng)域技術(shù)外，同時(shí)橫跨半導(dǎo)體,、封測(cè)、材料,、化工,、印刷電路板,、顯示面板等產(chǎn)業(yè)，可協(xié)助傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè),，如塑料,、印刷、化工,、金屬材料等產(chǎn)業(yè)的轉(zhuǎn)型,。其在信息、能源,、醫(yī)療,、制造等各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用重要性日益凸顯，已成為世界多國(guó)和跨國(guó)企業(yè)競(jìng)相發(fā)展的前沿技術(shù),。美國(guó),、歐盟、英國(guó),、日本等相繼制定了柔性電子發(fā)展戰(zhàn)略并投入大量科研經(jīng)費(fèi),，旨在未來的柔性電子研究和產(chǎn)業(yè)發(fā)展中搶占先機(jī)。 MEMS是一種現(xiàn)代化的制造技術(shù),。西藏MEMS微納米加工共同合作

MEMS 微納米加工的成本效益隨著技術(shù)的成熟逐漸提高,，為其大規(guī)模商業(yè)化應(yīng)用奠定了基礎(chǔ)。福建MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)

熱敏柔性電極的PI三明治結(jié)構(gòu)加工技術(shù)：熱敏柔性電極采用PI（聚酰亞胺）三明治結(jié)構(gòu),，底層PI作為柔性基板,，中間層為金屬電極，上層PI實(shí)現(xiàn)絕緣保護(hù),，開窗漏出Pad引線位置,，兼具柔韌性與電學(xué)性能。加工過程中,，首先在25μm厚度的PI基板上通過濺射沉積5μm厚度的銅/金電極層,，利用光刻膠作為掩膜進(jìn)行濕法刻蝕，形成10-50μm寬度的電極圖案,，線條邊緣粗糙度＜1μm,；然后涂覆10μm厚度的PI絕緣層，通過激光切割開設(shè)引線窗口,，窗口定位精度±5μm,；***經(jīng)300℃高溫亞胺化處理，提升層間結(jié)合力（剝離強(qiáng)度＞10N/cm）,。該電極的彎曲半徑可達(dá)5mm,，耐彎折次數(shù)＞10萬次，表面電阻＜5Ω/□，適用于可穿戴體溫監(jiān)測(cè),、心率傳感器等設(shè)備,。在醫(yī)療領(lǐng)域，用于術(shù)后傷口熱敷的柔性加熱電極,，可通過調(diào)節(jié)輸入電壓實(shí)現(xiàn)37-42℃精細(xì)控溫,，溫度均勻性誤差＜±0.5℃，避免局部過熱損傷組織,。公司支持電極圖案的個(gè)性化設(shè)計(jì),，可集成熱電偶、NTC熱敏電阻等傳感器,，實(shí)現(xiàn)“感知-驅(qū)動(dòng)”一體化,，推動(dòng)柔性電子技術(shù)在醫(yī)療健康與智能設(shè)備中的廣泛應(yīng)用。福建MEMS微納米加工結(jié)構(gòu)