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所述拉桿45向上延伸部分伸出外界,且其頂面固設(shè)有手握球46,,所述限制塊39頂面與所述滑動(dòng)腔43的頂壁之間固定安裝有彈簧44,,當(dāng)所述橫條33帶動(dòng)所述第二齒牙34向上移動(dòng)時(shí),所述第二齒牙34可抵接所述限制塊39,并使所述限制塊39向上移動(dòng),,進(jìn)而可使所述限制塊39離開(kāi)所述限制腔42,,則可使所述滑塊47能夠正常向左移動(dòng),當(dāng)所述滑塊47需要向右移動(dòng)時(shí),,手動(dòng)向上拉動(dòng)所述手握球46,,使所述限制塊39向上移動(dòng),并手動(dòng)向右拉動(dòng)所述手拉塊40,,則所述橫板41可帶動(dòng)所述滑塊47向右移動(dòng),。另外,在一個(gè)實(shí)施例中,,所述升降塊15的內(nèi)壁里固嵌有第二電機(jī)16,,所述第二電機(jī)16的右側(cè)面動(dòng)力連接設(shè)有切割軸51,所述切割片50固設(shè)在所述切割軸51的右側(cè)面上,,所述切割腔27靠下位置向前開(kāi)口設(shè)置,,所述切割腔27的底面上前后滑動(dòng)設(shè)有接收箱28,,所述接收箱28內(nèi)設(shè)有開(kāi)口向上的接收腔29,,所述接收腔29與所述切割腔27連通,所述接收腔29內(nèi)存有清水,,所述接收箱28的前側(cè)面固設(shè)有手拉桿67,,通過(guò)所述第二電機(jī)16的運(yùn)轉(zhuǎn),可使所述切割軸51帶動(dòng)所述切割片50轉(zhuǎn)動(dòng),,則可達(dá)到切割效果,,通過(guò)所述接收腔29內(nèi)的清水,可使切割掉落的產(chǎn)品能夠受到緩沖作用,,通過(guò)手動(dòng)向前拉動(dòng)所述手拉桿67,,可使所述接收箱28向前滑動(dòng)。洛陽(yáng)怎么樣半導(dǎo)體晶圓?浙江半導(dǎo)體晶圓片
并且不同規(guī)格的花籃無(wú)法同時(shí)進(jìn)行作業(yè),,**降低了生產(chǎn)的效率,。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于克服現(xiàn)有技術(shù)不足,提供一種半導(dǎo)體晶圓濕法清洗治具,,可適用于不同尺寸不同形狀晶圓,,且可實(shí)現(xiàn)多層同時(shí)清洗。本實(shí)用新型具體采用以下技術(shù)方案解決上述技術(shù)問(wèn)題:一種半導(dǎo)體晶圓濕法清洗治具,,該治具包括提把和一組平放花籃,;所述提把沿豎直方向均勻設(shè)置有一組連接端口;所述平放花籃由圓形底盤(pán)和設(shè)置在圓形底盤(pán)邊緣的一圈鏤空側(cè)壁組成,,圓形底盤(pán)上設(shè)置有一組通孔,,在所述鏤空側(cè)壁的外緣設(shè)置有至少一個(gè)連接端子,所述連接端子與提把上的任一連接端口相配合可使得平放花籃可拆卸地固定于提把上對(duì)應(yīng)于該連接端口的位置。推薦地,,圓形底盤(pán)上的所述通孔均勻分布,。推薦地,該治具還包括一組豎直擋板,;所述平放花籃的鏤空側(cè)壁內(nèi)緣及相應(yīng)位置的圓形底盤(pán)上設(shè)置有一系列用于固定所述豎直擋板的卡槽,,豎直擋板與相應(yīng)的卡槽配合可將平放花籃內(nèi)的空間劃分為不同角度的扇形空間。進(jìn)一步推薦地,,所述豎直擋板上設(shè)置有一組通孔,。推薦地,所述一組平放花籃中包括多個(gè)具有不同半徑圓形底盤(pán)的平放花籃,。推薦地,,所述提把的上端帶有掛鉤。相比現(xiàn)有技術(shù),。安徽半導(dǎo)體晶圓制作流程國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠(chǎng)家哪家好,?
該***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域完全包圍該第二環(huán)狀凹陷區(qū)域,該第二環(huán)狀凹陷區(qū)域完全包圍該第二內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域,。進(jìn)一步的,,為了保護(hù)該金屬層,并且降低物理應(yīng)力與熱應(yīng)力的影響,,該基板結(jié)構(gòu)更包含:一樹(shù)酯層,,具有相對(duì)應(yīng)的一第五表面與一第六表面,其中該第五表面的形狀相應(yīng)于該第四表面,。進(jìn)一步的,,為了讓基板結(jié)構(gòu)所承載的半導(dǎo)體組件的設(shè)計(jì)簡(jiǎn)化,其中該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域依序包含***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度相同,。進(jìn)一步的,,為了讓基板結(jié)構(gòu)所承載的半導(dǎo)體組件的設(shè)計(jì)更加簡(jiǎn)化,其中該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、該第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度相同。進(jìn)一步的,,為了讓基板結(jié)構(gòu)適應(yīng)所承載的半導(dǎo)體組件的不同設(shè)計(jì),,其中該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域依序包含***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,,該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度不同,。進(jìn)一步的,為了讓基板結(jié)構(gòu)適應(yīng)所承載的半導(dǎo)體組件的具有更大的設(shè)計(jì)彈性,,其中該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、該第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度均不相同,。進(jìn)一步的,,為了配合大多數(shù)矩形芯片的形狀。
目的是使得氣泡內(nèi)氣體和/或蒸汽的溫度降至接近室溫t0,。圖12a-12b揭示了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝,。本實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝與圖10a-10c所示的實(shí)施例的差異*在步驟10050。在本實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝中,,在時(shí)間段τ2內(nèi),,電源的頻率增至f2,功率水平p2基本上等于功率水平p1,。圖13a-13b揭示了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝,。本實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝與圖10a-10c所示的實(shí)施例的差異*在步驟10050。在本實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝中,,在時(shí)間段τ2內(nèi),,電源的頻率增至f2,功率水平從p1降至p2,。圖14a-14b揭示了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝,。本實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝與圖10a-10c所示的實(shí)施例的差異*在步驟10050。在本實(shí)施例的聲波晶圓清洗工藝中,,在時(shí)間段τ2內(nèi),電源的頻率從f1增至f2,,功率水平從p1增至p2,。由于頻率f2高于頻率f1,因此,,聲波能量對(duì)氣泡的加熱不那么強(qiáng)烈,,功率水平p2可略高于功率水平p1,但是不能太高,,以確保在時(shí)間段τ2內(nèi),,氣泡內(nèi)氣體和/或蒸汽的溫度降低,如圖14b所示,。圖15a至圖15c揭示了在聲波清洗晶圓的過(guò)程中,,穩(wěn)定的氣穴振蕩損傷晶圓上的圖案結(jié)構(gòu)。參考圖15a所示,。半導(dǎo)體晶圓用的精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái),,國(guó)內(nèi)有廠(chǎng)家做嗎,?
所述傳動(dòng)腔的上側(cè)開(kāi)設(shè)有皮帶腔,所述皮帶腔的底壁上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)有豎軸,,所述第二螺桿向上延伸部分伸入所述皮帶腔內(nèi),,所述第二螺桿與所述豎軸之間傳動(dòng)連接設(shè)有皮帶傳動(dòng)裝置,所述豎軸向下延伸部分伸入所述動(dòng)力腔內(nèi),,且其底面固設(shè)有***齒輪,,位于所述動(dòng)力腔內(nèi)的所述***螺桿外周上固設(shè)有第二齒輪,所述第二齒輪與所述***齒輪嚙合,。進(jìn)一步的技術(shù)方案,,所述夾塊分為上下兩部分,位于上側(cè)所述夾塊固設(shè)有兩個(gè)前后對(duì)稱(chēng)的卡扣,,所述切割腔的前側(cè)固設(shè)有玻璃窗,。本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明可有效降低半導(dǎo)體制作原料晶圓在切割時(shí)所產(chǎn)生的發(fā)熱變形問(wèn)題,并且也能降低硅錠在移動(dòng)送料切割過(guò)程中,,由于長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作導(dǎo)致主軸位置偏移導(dǎo)致切割不準(zhǔn)的問(wèn)題,,其中,步進(jìn)機(jī)構(gòu)能夠通過(guò)旋轉(zhuǎn)聯(lián)動(dòng)水平步進(jìn)移動(dòng)的傳動(dòng)方式,,使硅錠在連續(xù)切割時(shí)能夠穩(wěn)定送料,,避免了使用螺桿傳動(dòng)移動(dòng)送料的偏移缺陷,穩(wěn)定機(jī)構(gòu)能夠在切割狀態(tài)時(shí)限制硅錠左右晃動(dòng),,讓切割晶圓的厚度更加準(zhǔn)確,,動(dòng)力機(jī)構(gòu)和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠聯(lián)動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn),且能使切割片在向下切割完成并向上移動(dòng)時(shí),,能夠得到海綿相互擠壓的冷卻效果,,降低切割片表面溫度,進(jìn)而可降低晶圓在切割時(shí)產(chǎn)生的熱變形,。附圖說(shuō)明圖1是本發(fā)明的內(nèi)部整體結(jié)構(gòu)示意圖,。半導(dǎo)體晶圓的運(yùn)用場(chǎng)景。重慶半導(dǎo)體晶圓商家
半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工過(guò)程主要包括晶圓制造和封裝測(cè)試,。浙江半導(dǎo)體晶圓片
半導(dǎo)體制造領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以理解到,,本申請(qǐng)并不限定是哪一種環(huán)氧樹(shù)酯。該樹(shù)酯層440可以用于保護(hù)該結(jié)構(gòu)400的金屬層310,,并且降低物理應(yīng)力與熱應(yīng)力的影響,,進(jìn)而保護(hù)器件。該樹(shù)酯層440包含彼此相對(duì)的一第五表面445與一第六表面446,,該第五表面445與該金屬層310的第四表面314彼此相接或相貼,。因此,該第五表面445與該第四表面314的形狀彼此相應(yīng),。在一實(shí)施例當(dāng)中,,該樹(shù)酯層440的該第五表面445與該第六表面446的距離可以介于50~200um之間,。在圖3與圖4的實(shí)施例當(dāng)中,在芯片中間的金屬層310比較厚,。由于金屬層310的金屬價(jià)格比樹(shù)酯層440的樹(shù)酯還要貴,,制作較厚金屬層310的步驟也比制作樹(shù)酯層440的步驟更貴。如果在設(shè)計(jì)規(guī)格允許的情況下,,可以制作較薄的金屬層310,,以便減少成本。請(qǐng)參考圖5a所示,,其為根據(jù)本申請(qǐng)一實(shí)施例的半導(dǎo)體基板的結(jié)構(gòu)500的剖面示意圖,。和圖4所示的結(jié)構(gòu)400相比,該結(jié)構(gòu)500依序包含了半導(dǎo)體組件層130,、晶圓層320,、金屬層510、和樹(shù)酯層540,。圖5a所示的結(jié)構(gòu)500所包含的各組件,,如果符號(hào)與圖4所示的結(jié)構(gòu)400所包含的組件相同者,則可以適用圖4所示實(shí)施例的敘述,。和圖4所示的結(jié)構(gòu)400相比,。浙江半導(dǎo)體晶圓片
昆山創(chuàng)米半導(dǎo)體科技有限公司致力于能源,是一家貿(mào)易型公司,。公司業(yè)務(wù)涵蓋晶圓,,wafer,半導(dǎo)體輔助材料,,晶圓盒等,,價(jià)格合理,品質(zhì)有保證,。公司將不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,,努力學(xué)習(xí)行業(yè)知識(shí),遵守行業(yè)規(guī)范,,植根于能源行業(yè)的發(fā)展。創(chuàng)米半導(dǎo)體秉承“客戶(hù)為尊,、服務(wù)為榮,、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念,,全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,。