因此晶圓1010須旋轉(zhuǎn)以在整個(gè)晶圓1010上接收均勻的聲波能量,。雖然在圖1a及圖1b中*示意了一個(gè)聲波裝置1003,，但是在其他實(shí)施例中,，也可以同時(shí)或間歇使用兩個(gè)或多個(gè)聲波裝置。同理,，也可以使用兩個(gè)或多個(gè)噴頭1012以更均勻的輸送清洗液1032,。參考圖2a至圖2g所示的不同形狀的超聲波或兆聲波換能器。圖2a示意了三角形或餅形的傳感器,；圖2b示意了矩形的傳感器,；圖2c示意了八邊形的傳感器；圖2d示意了橢圓形的傳感器,；圖2e示意了半圓形的傳感器,；圖2f示意了1/4圓形的傳感器；圖2g示意了圓形的傳感器,。這些形狀中的每一個(gè)聲波換能器可以用于代替圖1所示的聲波裝置1003中的壓電式傳感器1004,。參考圖3揭示了在晶圓清洗過(guò)程中的氣泡內(nèi)爆。當(dāng)聲能作用于氣泡3012上時(shí),，氣泡3012的形狀逐漸從球形a壓縮至蘋(píng)果形g,。**終氣泡3012到達(dá)內(nèi)爆狀態(tài)i并形成微噴射。如圖4a至圖4b所示,，微噴射很猛烈(可達(dá)到上千個(gè)大氣壓和上千攝氏度),，會(huì)損傷晶圓4010上的精細(xì)圖案結(jié)構(gòu)4034，尤其是當(dāng)特征尺寸t縮小到70nm或更小時(shí),。圖4a至圖4b揭示了在晶圓清洗過(guò)程中不穩(wěn)定的氣穴振蕩損傷晶圓上的圖案結(jié)構(gòu),。參考圖4a所示，由于聲波空化在半導(dǎo)體晶圓4010的圖案結(jié)構(gòu)4034上方形成氣泡4040,4042，4044,。半導(dǎo)體晶圓推薦廠家..廣州半導(dǎo)體晶圓銷(xiāo)售廠家

    該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度相同,。進(jìn)一步的，為了讓基板結(jié)構(gòu)所承載的半導(dǎo)體組件的設(shè)計(jì)更加簡(jiǎn)化,，其中該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、該第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度相同,。進(jìn)一步的,，為了讓基板結(jié)構(gòu)適應(yīng)所承載的半導(dǎo)體組件的不同設(shè)計(jì)，其中該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域依序包含***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域，該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度不同,。進(jìn)一步的,，為了讓基板結(jié)構(gòu)適應(yīng)所承載的半導(dǎo)體組件的具有更大的設(shè)計(jì)彈性,，其中該***邊結(jié)構(gòu)區(qū)域,、該第二邊結(jié)構(gòu)區(qū)域、該第三邊結(jié)構(gòu)區(qū)域與該第四邊結(jié)構(gòu)區(qū)域的寬度均不相同,。進(jìn)一步的,，為了配合大多數(shù)矩形芯片的形狀，其中該中心凹陷區(qū)域是矩形,。進(jìn)一步的,，為了配合大多數(shù)方形芯片的形狀，其中該中心凹陷區(qū)域是方形,。進(jìn)一步的,，為了讓基板區(qū)域的電阻值降低，其中該晶圓層包含與該第二表面相對(duì)應(yīng)的一***表面,，在進(jìn)行該蝕刻步驟之后,，在該邊框結(jié)構(gòu)區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離，大于或等于在該中心凹陷區(qū)域的該***表面至該第二表面的距離的兩倍,。進(jìn)一步的,，為了讓基板區(qū)域的電阻值降低，其中在該蝕刻步驟進(jìn)行一部份后,，再將該屏蔽層覆蓋到該***內(nèi)框結(jié)構(gòu)區(qū)域,。丹東半導(dǎo)體晶圓誠(chéng)信為本半導(dǎo)體晶圓的市場(chǎng)價(jià)格？

    本實(shí)用新型涉及一種半導(dǎo)體晶圓濕法清洗治具,。背景技術(shù)：濕法清洗是半導(dǎo)體生產(chǎn)中被***接受和使用,，作為半導(dǎo)體制造過(guò)程中，由于其成本低,，可靠性高等優(yōu)點(diǎn)被***使用,。通常的濕法清洗過(guò)程是將需要清洗的晶圓放置到特定的花籃中,，然后將承載晶圓的花籃放置于相應(yīng)的清洗燒杯中，清洗燒杯中盛放可以清洗晶圓的溶液,，根據(jù)不同的清洗要求,，清洗燒杯會(huì)放置在帶有加熱或者超聲功能的清洗槽內(nèi)。傳統(tǒng)的晶圓清洗花籃通常將晶圓豎直放置,，通過(guò)卡槽固定,，此種方式存在如下缺陷：由于標(biāo)準(zhǔn)晶圓清洗花籃的卡槽通常設(shè)計(jì)的較窄，人為操作取,、放片時(shí)手易抖動(dòng),、位置把握不準(zhǔn)等因素，晶圓容易和卡槽周邊發(fā)生碰撞,、擠壓,，造成晶圓破碎。如果在設(shè)計(jì)時(shí)增大花籃卡槽寬度的話,，運(yùn)輸和清洗操作過(guò)程中晶圓在卡槽內(nèi)容易大幅度晃動(dòng),，產(chǎn)生較大的沖擊力，同樣會(huì)造成晶圓破碎,。為了解決這一問(wèn)題,，出現(xiàn)了一些水平放置清洗花籃，晶圓在花籃中水平放置,，可以避免豎直放置型花籃容易導(dǎo)致晶圓破損的問(wèn)題?，F(xiàn)有水平放置清洗花籃通常被設(shè)計(jì)為特定尺寸的圓形花籃，但是隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,，在產(chǎn)品流線中一般會(huì)有多種尺寸,、多種不同形狀的晶圓同時(shí)流片，傳統(tǒng)方法只能定制不同尺寸的花籃進(jìn)行使用,，這增加了設(shè)備的持有成本,。

    在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式中，排氣口包含多個(gè)穿孔,。本發(fā)明的另一實(shí)施方式提供一種半導(dǎo)體晶圓干燥方法,。半導(dǎo)體晶圓干燥方法包含：將半導(dǎo)體晶圓設(shè)置于腔室內(nèi)；對(duì)半導(dǎo)體晶圓發(fā)射微波,，以將半導(dǎo)體晶圓上的水加熱并轉(zhuǎn)換成水蒸氣,；以及將水蒸氣排出腔室。在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式中,，半導(dǎo)體晶圓干燥方法進(jìn)一步包含：旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體晶圓,。在本發(fā)明的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式中，半導(dǎo)體晶圓的轉(zhuǎn)速實(shí)質(zhì)上為10rpm。相較于公知技術(shù),，本發(fā)明的上述實(shí)施方式至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：(1)運(yùn)用微波移除先前的工藝殘留于半導(dǎo)體晶圓表面上的水,，使得干燥過(guò)程變得簡(jiǎn)單，從而能有效降低干燥半導(dǎo)體晶圓的作業(yè)成本,。(2)由于微波產(chǎn)生器平均地環(huán)繞腔室分布,，微波可均勻地進(jìn)入腔室內(nèi)，并均勻地到達(dá)位于腔室內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓,，從而促進(jìn)干燥過(guò)程,。(3)由于半導(dǎo)體晶圓以約10rpm(revolutionsperminute，每分鐘回轉(zhuǎn)數(shù))的低轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn),，半導(dǎo)體晶圓可均勻地暴露于發(fā)射自微波產(chǎn)生器的微波,，藉此可促進(jìn)干燥過(guò)程。附圖說(shuō)明參照以下附圖閱讀下文中詳述的實(shí)施方式,，可更透徹地理解本發(fā)明,。圖1為依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施方式的半導(dǎo)體晶圓干燥設(shè)備的剖視圖。圖2為依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的半導(dǎo)體晶圓干燥設(shè)備的剖視圖,。開(kāi)封怎么樣半導(dǎo)體晶圓?

    并均勻地到達(dá)位于腔室c內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓200,。在實(shí)際應(yīng)用中，半導(dǎo)體晶圓干燥設(shè)備100包含多個(gè)微波產(chǎn)生器130,。一般而言,，微波產(chǎn)生器130平均地環(huán)繞腔室c分布，如此一來(lái),，微波w可均勻地進(jìn)入腔室c內(nèi)，并均勻地到達(dá)位于腔室c內(nèi)的半導(dǎo)體晶圓200,，從而促進(jìn)半導(dǎo)體晶圓200的干燥過(guò)程,。舉例而言，如圖1所示,，至少兩個(gè)微波產(chǎn)生器130平均地分布于殼體120外側(cè),，使其平均地環(huán)繞腔室c分布。另外,，應(yīng)當(dāng)理解的是,，本發(fā)明的殼體120基本上可設(shè)置于產(chǎn)業(yè)中現(xiàn)有的單晶圓濕處理設(shè)備(圖未示)上。一般而言,，單晶圓濕處理設(shè)備具有旋轉(zhuǎn)基座,，其用以承載單一片半導(dǎo)體晶圓，以于單晶圓濕處理設(shè)備內(nèi)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行各種處理,。經(jīng)單晶圓濕處理設(shè)備處理后,，半導(dǎo)體晶圓可被留在旋轉(zhuǎn)基座上，并且可將本發(fā)明的殼體120以及設(shè)置于其上的微波產(chǎn)生器130設(shè)置于單晶圓濕處理設(shè)備的旋轉(zhuǎn)基座上，從而能執(zhí)行前文所述的半導(dǎo)體晶圓干燥過(guò)程,。請(qǐng)參照?qǐng)D2,，其為依據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施方式的半導(dǎo)體晶圓干燥設(shè)備100的剖視圖。在本實(shí)施方式中,，如圖2所示,，半導(dǎo)體晶圓干燥設(shè)備100進(jìn)一步包含旋轉(zhuǎn)器140。旋轉(zhuǎn)器140連接基座110,，并且被配置成旋轉(zhuǎn)基座110,。于半導(dǎo)體晶圓干燥設(shè)備100對(duì)半導(dǎo)體晶圓200執(zhí)行干燥處理的期間。半導(dǎo)體晶圓信息匯總,。河北半導(dǎo)體晶圓銷(xiāo)售電話

成都8寸半導(dǎo)體晶圓厚度多少,？廣州半導(dǎo)體晶圓銷(xiāo)售廠家

    通過(guò)通信電纜25088發(fā)送比較結(jié)果到主機(jī)25080。如果聲波發(fā)生器25082的輸出值與主機(jī)25080發(fā)送的參數(shù)設(shè)定值不同,，則檢測(cè)電路25086將發(fā)送報(bào)警信號(hào)到主機(jī)25080,。主機(jī)25080接收到報(bào)警信號(hào)后關(guān)閉聲波發(fā)生器25082來(lái)阻止對(duì)晶圓1010上的圖案結(jié)構(gòu)的損傷。圖26揭示了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的圖25所示的檢測(cè)電路25086的框圖,。該檢測(cè)電路25086示范性包括電壓衰減電路26090,、整形電路26092、主控制器26094,、通信電路26096及電源電路26098,。主控制器26094可以用fpga實(shí)現(xiàn)。通信電路26096作為主機(jī)25080的接口,。通信電路26096與主機(jī)25080實(shí)現(xiàn)rs232/rs485串行通信來(lái)從主機(jī)25080讀取參數(shù)設(shè)置,，并將比較結(jié)果返回主機(jī)25080。電源電路26098將直流15v轉(zhuǎn)換成直流,、直流,。圖27揭示了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的檢測(cè)電路25086的框圖。該檢測(cè)電路25086示范性包括電壓衰減電路26090,、振幅檢測(cè)電路27092,、主控制器26094、通信電路26096及電源電路26098,。圖28a至圖28c揭示了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的電壓衰減電路的示例,。當(dāng)聲波發(fā)生器25082輸出的聲波信號(hào)***被讀取時(shí)，該聲波信號(hào)具有相對(duì)較高的振幅值,，如圖28b所示,。電壓衰減電路26090被設(shè)計(jì)成使用兩個(gè)運(yùn)算放大器28102和28104來(lái)減小波形的振幅值。廣州半導(dǎo)體晶圓銷(xiāo)售廠家

昆山創(chuàng)米半導(dǎo)體科技有限公司坐落在玉山鎮(zhèn)寶益路89號(hào)2號(hào)房,，是一家專(zhuān)業(yè)的半導(dǎo)體科技領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)開(kāi)發(fā),、技術(shù)咨詢(xún),、技術(shù)轉(zhuǎn)讓?zhuān)话雽?dǎo)體設(shè)備、半導(dǎo)體材料,、電子設(shè)備,、機(jī)械設(shè)備及配件、機(jī)電設(shè)備,、太陽(yáng)能光伏設(shè)備,、太陽(yáng)能電池及組件、電子產(chǎn)品,、電子材料,、針紡織品、玻璃制品,、五金制品,、日用百貨、勞保用品,、化工產(chǎn)品及原料（不含危險(xiǎn)化學(xué)品及易制毒化學(xué)品）的銷(xiāo)售,；貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)） 許可項(xiàng)目：廢棄電器電子產(chǎn)品處理（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)，具體經(jīng)營(yíng)項(xiàng)目以審批結(jié)果為準(zhǔn)） 一般項(xiàng)目：固體廢物治理,；非金屬?gòu)U料和碎屑加工處理,；再生資源回收（除生產(chǎn)性廢舊金屬）；電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備銷(xiāo)售,；電力電子元器件銷(xiāo)售,；電子設(shè)備銷(xiāo)售（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營(yíng)業(yè)執(zhí)照依法自主開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)）公司,。公司目前擁有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)員工,，為員工提供廣闊的發(fā)展平臺(tái)與成長(zhǎng)空間，為客戶(hù)提供高質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù),，深受員工與客戶(hù)好評(píng)。誠(chéng)實(shí),、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,，也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的晶圓,，wafer,，半導(dǎo)體輔助材料，晶圓盒,。一直以來(lái)公司堅(jiān)持以客戶(hù)為中心,、晶圓,，wafer，半導(dǎo)體輔助材料,，晶圓盒市場(chǎng)為導(dǎo)向,，重信譽(yù)，保質(zhì)量,，想客戶(hù)之所想,，急用戶(hù)之所急，全力以赴滿足客戶(hù)的一切需要,。