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作為半導(dǎo)體激光技術(shù)發(fā)展的里程碑,,量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL)使中遠(yuǎn)紅外波段高可靠,、高功率和高特征溫度半導(dǎo)體激光器的實(shí)現(xiàn)成為可能,為氣體分析等中紅外應(yīng)用提供了新型光源,,因此QCL日益受到關(guān)注,。尤其是近10年,越來(lái)越多的科研人員開(kāi)始研究QCL在氣體檢測(cè)方面的應(yīng)用,,使得它的優(yōu)勢(shì)和潛力被更多的認(rèn)識(shí)和挖掘,。中遠(yuǎn)紅外量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL)眾所周知,QCL屬于新一代半導(dǎo)體激光器,,它的特性不同于傳統(tǒng)半導(dǎo)體激光器,。用中科院半導(dǎo)體所劉峰奇研究員的“兩層含義”解釋,應(yīng)該更加形象,。首先是量子含義,,是指激光器由納米級(jí)厚度的半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)超薄層構(gòu)成,,利用量子限制效應(yīng),通過(guò)調(diào)節(jié)每層材料的厚度和子帶間距,,從而調(diào)節(jié)波長(zhǎng),;其次是級(jí)聯(lián)含義,它的有源區(qū)由多級(jí)耦合量子阱串接組成,,可實(shí)現(xiàn)單電子注入的倍增光子輸出,,可望獲得大功率,而普通的半導(dǎo)體激光器是利用電子空穴對(duì)的復(fù)合發(fā)射光子,,這是普通激光器不具備的一個(gè)性能,。 TDLAS技術(shù)采用的半導(dǎo)體激光光源的光譜,寬度遠(yuǎn)小于氣體吸收譜線的展寬,,得到單線吸收光譜,。云南水QCL激光器
QCL激光器的基本結(jié)構(gòu)包括FP-QCL、DFB-QCL和ECqcL,。增益介質(zhì)顯示為灰色,,波長(zhǎng)選擇機(jī)制為藍(lán)色,鍍膜面為橙色,,輸出光束為紅色,。1.簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)是F-P腔激光器(FP-QCL)。在F-P結(jié)構(gòu)中,,切割面為激光提供反饋,,有時(shí)也使用介質(zhì)膜以優(yōu)化輸出。2.第二種結(jié)構(gòu)是在QC芯片上直接刻分布反饋光柵,。這種結(jié)構(gòu)(DFB-QCL)可以輸出較窄的光譜,,但是輸出功率卻比FP-QCL結(jié)構(gòu)低很多。通過(guò)大范圍的溫度調(diào)諧,,DFB-QCL還可以提供有限的波長(zhǎng)調(diào)諧(通過(guò)緩慢的溫度調(diào)諧獲得10~20cm-1的調(diào)諧范圍,,或者通過(guò)快速注進(jìn)電流加熱調(diào)諧獲得2~3cm-1的范圍)。3.第三種結(jié)構(gòu)是將QC芯片和外腔結(jié)合起來(lái),,形成ECqcL,。這種結(jié)構(gòu)既可以提供窄光譜輸出,又可以在QC芯片整個(gè)增益帶寬上(數(shù)百cm-1)提供快調(diào)諧(速度超過(guò)10ms),。由于ECqcL結(jié)構(gòu)使用低損耗元件,因此它可在便攜式電池供電的條件下高效運(yùn)作,。 廣東標(biāo)準(zhǔn)QCL激光器工廠基于光譜學(xué)原理的氣體檢測(cè),,有非接觸、快響應(yīng),、高靈敏,、大范圍監(jiān)測(cè)等優(yōu)點(diǎn),,是溫室氣體監(jiān)測(cè)技術(shù)的主流方向。
帶間級(jí)聯(lián)激光器(ICL)是實(shí)現(xiàn)3~5μm波段中紅外激光器的重要前沿,,其在半導(dǎo)體光電器件技術(shù),、氣體檢測(cè)、醫(yī)學(xué)醫(yī)療以及自由空間光通信等領(lǐng)域具有重要科學(xué)意義和應(yīng)用價(jià)值,。近年來(lái),,半導(dǎo)體帶間級(jí)聯(lián)激光器的量子阱能帶理論設(shè)計(jì)方法和激光器制備**技術(shù)得到迅速提升。帶間級(jí)聯(lián)激光器是一種以?族體系為主,,通過(guò)量子工程的能帶設(shè)計(jì)及其材料外延,、工藝制作而成的可以工作于中紅外波段的激光器。由于結(jié)合了傳統(tǒng)的量子阱激光器較長(zhǎng)的上能級(jí)載流子復(fù)合壽命,,以及量子級(jí)聯(lián)激光器(QCL)通過(guò)級(jí)聯(lián)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)較高內(nèi)量子效率的優(yōu)點(diǎn),,在中紅外波段具有較大的優(yōu)勢(shì)。研究背景中紅外波段包含了許多氣體分子的吸收峰,,對(duì)于氣體分子而言,,在中紅外波段的中心吸收截面一般比其在近紅外區(qū)的中心吸收截面高幾個(gè)數(shù)量級(jí)。因此,,為了獲得更高的靈敏度和更低的檢測(cè)限,,利用中紅外的可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器吸收光譜技術(shù)(TDLAS)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)特殊或有毒氣體的檢測(cè)。常見(jiàn)的位于中紅外波段的氣體分子如圖1所示,,諸如礦井氣體甲烷(CH4)分子吸收峰位于3260nm,,一氧化碳(CO)分子吸收峰位于4610nm,二氧化碳(CO2)分子吸收峰位于4230nm,,氯化氫(HCl)分子吸收峰位于3395nm,,溴化氫(HBr)分子吸收峰位于4020nm。
中紅外溫室氣體激光器在環(huán)境監(jiān)測(cè)和氣候變化研究中正發(fā)揮著越來(lái)越關(guān)鍵的作用,,隨著全球?qū)厥覛怏w減排的日益重視,,市場(chǎng)對(duì)高效、精確的氣體檢測(cè)設(shè)備的需求也在不斷攀升,。中紅外溫室氣體激光器憑借其的性能和技術(shù)優(yōu)勢(shì),,已經(jīng)成為這一領(lǐng)域不可或缺的重要工具。首先,,這種激光器能夠精確檢測(cè)諸如二氧化碳,、甲烷等主要溫室氣體,其高靈敏度和選擇性使其在環(huán)境監(jiān)測(cè),、工業(yè)排放評(píng)估以及城市空氣質(zhì)量檢測(cè)等方面發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,。各國(guó)和企業(yè)逐步加強(qiáng)對(duì)溫室氣體排放的監(jiān)管,推動(dòng)了中紅外溫室氣體激光器的廣泛應(yīng)用,比如在城市的空氣質(zhì)量監(jiān)測(cè)中,,這些激光器可以實(shí)時(shí)提供數(shù)據(jù),,使得相關(guān)部門能夠及時(shí)采取措施,改善空氣質(zhì)量,,保護(hù)民眾的健康,。其次,技術(shù)的不斷進(jìn)步為中紅外溫室氣體激光器的性能提升提供了新的可能,。近年來(lái),,激光技術(shù)的創(chuàng)新使得這些設(shè)備在體積、功耗和成本方面得到了改善,。例如,,采用新型材料和工藝,使得激光器的體積更加小巧,,便于攜帶和部署,,同時(shí)降低了生產(chǎn)和維護(hù)成本。這一趨勢(shì)不僅降低了使用門檻,,也使得中紅外溫室氣體激光器能夠在更多的應(yīng)用場(chǎng)景中發(fā)揮作用,,滿足市場(chǎng)對(duì)靈活性和便攜性的需求,甚至可以應(yīng)用于野外勘測(cè)和移動(dòng)監(jiān)測(cè)等場(chǎng)合,。 量子級(jí)聯(lián)激光器是一種新型半導(dǎo)體激光器,,體積小、壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),,其工作原理卻和傳統(tǒng)半導(dǎo)體激光器截然不同,。
1994年4月,貝爾實(shí)驗(yàn)室在《科學(xué)》上報(bào)道了***個(gè)子帶間量子級(jí)聯(lián)激光器,。帶間級(jí)聯(lián)和量子級(jí)聯(lián)激光器的研究都源于早期對(duì)于半導(dǎo)體超晶格的研究以及通過(guò)子帶間躍遷實(shí)現(xiàn)激光器的探索,。在帶間級(jí)聯(lián)激光器提出的2~3年內(nèi),空穴注入?yún)^(qū)就已經(jīng)提出并加入到了帶間級(jí)聯(lián)激光器的結(jié)構(gòu)中,。同時(shí),,W型二類量子阱的概念也被提出,并取代了原先的單邊型的二類量子阱,??昭ㄗ⑷?yún)^(qū)和W型有源區(qū)的設(shè)計(jì)直到***也一直被采用。1997年,,由休斯頓大學(xué)和桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室合作完成的***臺(tái)可達(dá)170K低溫工作的帶間級(jí)聯(lián)激光器被報(bào)道出來(lái),,此后,對(duì)于二類量子阱的研究也取得了一定進(jìn)展,,而帶間級(jí)聯(lián)激光器也在1998~2000年工作溫度逐漸提升至250~286K,,微分量子效率超過(guò)了傳統(tǒng)極限的100%,,從而證實(shí)了級(jí)聯(lián)過(guò)程。里程碑式的突破是在2002年,,研究人員Yang等實(shí)現(xiàn)了***臺(tái)室溫脈沖激射的帶間級(jí)聯(lián)激光器,由18個(gè)周期構(gòu)成,。 紅外氣體傳感器是通過(guò)測(cè)量被測(cè)氣體在特定的紅外波段吸收了多少光的能量來(lái)計(jì)算濃度的,。江西半導(dǎo)體QCL激光器價(jià)格
QCL則將范圍拓展到了中遠(yuǎn)紅外波段,使其在氣體檢測(cè),、空間通訊等方面得到了越來(lái)越多的應(yīng)用,。云南水QCL激光器
在現(xiàn)代民用領(lǐng)域,QCL激光器(量子級(jí)聯(lián)激光器)作為紅外對(duì)抗系統(tǒng)的重要組成部分,,正逐漸顯示出其不可或缺的地位,。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步,以及對(duì)安全和效率的日益重視,,QCL激光器在紅外對(duì)抗中的應(yīng)用案例層出不窮,,展現(xiàn)出其的性能和的適用性。以某國(guó)家的防空系統(tǒng)為例,,該系統(tǒng)在面對(duì)敵方導(dǎo)彈威脅時(shí),,采用了QCL激光器紅外對(duì)抗技術(shù)。這一技術(shù)通過(guò)精確發(fā)射特定波長(zhǎng)的激光,,成功地干擾了敵方導(dǎo)彈的紅外尋的系統(tǒng),,顯著提高了防空能力。通過(guò)這種方式,,防空系統(tǒng)不僅能夠有效保護(hù)關(guān)鍵設(shè)施的安全,,還能夠降低潛在的經(jīng)濟(jì)損失。這一成功應(yīng)用案例展示了QCL激光器在實(shí)際戰(zhàn)斗環(huán)境中的高效性和實(shí)用性,,同時(shí)也反映了現(xiàn)代中科技應(yīng)用的重要性,。 云南水QCL激光器