15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計(jì)應(yīng)分階段進(jìn)行，應(yīng)包括設(shè)計(jì)、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動(dòng)測(cè)試,、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計(jì),、動(dòng)力設(shè)備隔振設(shè)計(jì)和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計(jì)等,。15.1.2設(shè)計(jì)有微振控制要求的潔凈廠房時(shí),，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時(shí)，應(yīng)核實(shí)相鄰廠房,、建筑物或構(gòu)筑物對(duì)精密設(shè)備,、儀器的振動(dòng)影響；2設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈廠房,，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造、結(jié)構(gòu)選型,、隔振縫的設(shè)置,、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)；3對(duì)設(shè)有精密設(shè)備,、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動(dòng)影響的動(dòng)力設(shè)備及其管道,，應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備,、儀器,，經(jīng)測(cè)試確認(rèn)受到周圍振動(dòng)影響時(shí)，應(yīng)采取被動(dòng)隔振措施,?？諝膺^(guò)濾器安裝方式應(yīng)嚴(yán)密、簡(jiǎn)便,、可靠,，易于檢漏和更換。上?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)

5.3.5潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合下列要求：1在潔凈室(區(qū))的入口處宜設(shè)空氣吹淋室,。當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí),，應(yīng)設(shè)氣閘室；2吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位,；3單人空氣吹淋室,，應(yīng)按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈室(區(qū))工作人員超過(guò)5人時(shí),，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門,；4空氣吹淋室的進(jìn)、出門不得同時(shí)開(kāi)啟，應(yīng)采取連鎖控制措施,；5空氣潔凈度等級(jí)為5級(jí)或嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室（區(qū)),，宜設(shè)氣閘室。5.3.6人員凈化用室和生活用室的空氣潔凈度等級(jí),，宜由外至內(nèi)逐步潔凈,，室內(nèi)可送入經(jīng)過(guò)高效空氣過(guò)濾的潔凈空氣。潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈室(區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí),；當(dāng)設(shè)有潔凈工作服洗滌室時(shí),，洗滌室的空氣潔凈度等級(jí)宜為8級(jí)。北京實(shí)驗(yàn)室潔凈室檢測(cè)方法工業(yè)管道穿過(guò)潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫,。

近年來(lái)，國(guó)內(nèi)外一些潔凈廠房中一級(jí)用電負(fù)荷因雷擊及電源瞬時(shí)變動(dòng)而引起停電事故頻繁發(fā)生,，造成了較大的經(jīng)濟(jì)損失,，其原因不是主電源斷電，而是控制電源失電造成保護(hù)系統(tǒng)失靈而造成事故,。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計(jì)中也很重要,。從工藝性質(zhì)來(lái)看，潔凈廠房?jī)?nèi)一般從事精密視覺(jué)工作,，需要高照度高質(zhì)量照明,。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件，除了解決好照明形式,、光源,、照度等一系列問(wèn)題外，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性,。........

5.5.2當(dāng)設(shè)備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))時(shí),，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設(shè)備宜選用低噪聲產(chǎn)品,。當(dāng)所選設(shè)備超過(guò)潔凈室噪聲容許值時(shí),，應(yīng)采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應(yīng)設(shè)置對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程所使用的工器具進(jìn)行凈化處理的設(shè)施,。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi),，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中各種零、部件存放和傳送,，宜采用容器,。用于存放和傳送的**容器，應(yīng)符合下列規(guī)定：1制作材料應(yīng)光潔,、不吸濕,、不銹蝕、不散發(fā)污染物、防靜電,，并在空氣中不應(yīng)被氧化,；2應(yīng)密封性能好；3當(dāng)存放物有嚴(yán)格的潔凈度要求時(shí),，宜充填高純度或干燥氮?dú)猓?構(gòu)造,、外形應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)方便操作和運(yùn)送,。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施,。

C.3已裝過(guò)濾系統(tǒng)氣溶膠光度計(jì)掃描檢漏規(guī)程C.3.1進(jìn)行已裝過(guò)濾系統(tǒng)掃描檢漏前,，應(yīng)已完成風(fēng)速合格性檢測(cè)。C.3.2過(guò)濾器上風(fēng)向氣溶膠適當(dāng)粒徑范圍[質(zhì)量中值粒徑（MMD）一般為0.5μm~0.7μm,，幾何標(biāo)準(zhǔn)差可高達(dá)1.7],；濃度為10mg/m~100mg/m。濃度低于20mg/m時(shí)檢漏的靈敏度欠佳,；高于80mg/m,，長(zhǎng)時(shí)間檢測(cè)會(huì)過(guò)度污染過(guò)濾器。注入氣溶膠與送風(fēng)應(yīng)均勻混合,，上風(fēng)向氣溶膠濃度隨時(shí)間的變化不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的士15%,。C.3.3按規(guī)定的掃描速度，移動(dòng)采樣探頭往復(fù)掃描,。采樣頭往復(fù)掃描速度為15/Wp,，cm/s(Wp為垂直于掃描方向的采樣口寬度。掃描速度為5cm/s,。注：當(dāng)使用3cm×3cm正方形采樣頭掃描時(shí),，掃描的覆蓋面之間略有重疊。C.3.4采樣口的風(fēng)速接近過(guò)濾器出風(fēng)面的風(fēng)速(接近“等動(dòng)力采樣”),。采樣探頭距過(guò)濾器出風(fēng)面和框架結(jié)構(gòu)約3cm,。C.3.5掃描應(yīng)遍及過(guò)濾器的整個(gè)出風(fēng)面、過(guò)濾器的周邊,、過(guò)濾器邊框與安裝構(gòu)架之間的密封處及安裝構(gòu)架的結(jié)合點(diǎn),。C.3.6驗(yàn)收限值：當(dāng)讀數(shù)大于上風(fēng)向氣溶膠濃度的0.01%時(shí)，就認(rèn)為存在滲漏,。供需雙方也可商定其他驗(yàn)收限值,。掃描時(shí)任何顯示大于或等于滲漏限值處，采樣頭應(yīng)停留持續(xù)測(cè)量一段時(shí)間,，光度計(jì)獲得比較大讀數(shù)時(shí)采樣頭的位置應(yīng)判定為滲漏位置,。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。上海口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)

單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,，以單一方向流動(dòng),。上海口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)

D.3.2靜壓差測(cè)試,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行,。2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì)，儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa,。3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室（區(qū))時(shí),，應(yīng)從極里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始，并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè),。D.3.3已安裝的空氣過(guò)濾器泄漏測(cè)試,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1儀器應(yīng)使用采樣量大于11/mn的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,，粒子濃度應(yīng)大于3.5×10'P/m3的大氣塵或其他氣溶膠,；在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20～30mm處，并應(yīng)以5～20mm/s速度移動(dòng),。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊,、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。上?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)