C.1.1檢測目的檢測的目的是確認過濾系統(tǒng)安裝正確,，使用過程中無滲漏發(fā)生,，不要將已裝過濾器系統(tǒng)的檢漏與過濾器出廠時的效率檢測混為一談，過濾器出廠前應經(jīng)過檢漏雨測試,。此項檢測用于驗證過濾系統(tǒng)不存在影響設施潔凈狀況的滲漏,；確認過濾系統(tǒng)下風向空氣中懸浮粒子的濃度足夠滿足潔凈室設計潔凈度。C.1.2檢測過程檢測中,，在過濾器的上風向注入氣溶膠,，在下風向緊靠過濾器的安裝框架的地方掃描，或在風管中的過濾器下風向采樣,。檢漏包括濾材,、過濾器邊框,、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng),。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏只在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進行，且該項檢測是在新建潔凈室調(diào)試時,，或現(xiàn)有設施需要再檢測時,，或更換了末端過濾器之后進行。潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差,，并應按工藝要求決定維持正壓差或負壓差,。實驗室潔凈室檢測服務

空氣過濾器的處理風量應小于或等于額定風量；3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設置在空調(diào)箱的正壓段,；4高效(亞高效)空氣過濾器宜設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端,；超高效空氣過濾器應設置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端；5同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效,、超高效）空氣過濾器的阻力,、效率應相近；6同一凈化空調(diào)系統(tǒng)內(nèi)末端安裝的高效（亞高效,、超高效）空氣過濾器的使用風量與額定風量之比值宜相近,；7對化學污染物有控制要求的潔凈室(區(qū))，在凈化空調(diào)系統(tǒng)中應根據(jù)環(huán)境條件設置化學過濾器或其他去除裝置,；8高效(亞高效,、超高效)空氣過濾器應采用不燃或難燃材料制作。7.4.2風機過濾器機組的設置應符合下列要求：1應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用,；2應按潔凈室（區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置,，3終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；4送風量應能調(diào)節(jié),；5應便于安裝,、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時,，外殼強度應滿足檢修要求,。浙江風速潔凈室檢測公司減少渦流,，避免把工作區(qū)以外的污染物帶入工作區(qū)。

12.4.1潔凈廠房的自動控制系統(tǒng)宜采用集散式網(wǎng)絡結(jié)構(gòu),，并應具有穩(wěn)定,、可靠、節(jié)能,、開放和可擴展性,。12.4.2潔凈廠房應對凈化空調(diào)、供熱,、供冷,、純水和氣體供應等系統(tǒng)進行自動監(jiān)控。12.4.3潔凈室（區(qū)）內(nèi)外的壓差監(jiān)測,，宜采用壓差變送器通過控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)潔凈室（區(qū))的送風量或回風量,。12.4.4凈化空調(diào)系統(tǒng)采用電加熱器時，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制,，并應設置無風,、超溫斷電保護；當采用電加濕器時,，應設置無水,、無風斷電保護。12.4.5在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下,，宜對風機,、水泵等動力設備采取變頻調(diào)速等節(jié)能控制措施。

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū),、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型,、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān)，所以本規(guī)范規(guī)定：在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴格的工序(設備)應遠離出人口和可能干擾氣流的場所設置,，并宜布置在上風側(cè),；空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室（區(qū)）內(nèi)布置的基本要求。另外,，由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,，電子工廠在實際生產(chǎn)中，在線維修及調(diào)試,、邊生產(chǎn)邊增加設備擴大生產(chǎn)能力的情況很多,，因此在做工藝布局時，應根據(jù)具體情況,，考慮這些因素,，留出相應的運作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應技術(shù)措施,，如人的聯(lián)系應采用氣閘室或空氣吹淋室,；大物件的運送也可以采用氣閘室，一般物件的運送可采用傳遞窗,；穿越隔墻的管線應采用可靠氣密措施等,。在生產(chǎn)工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起。

8.1.1潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設應符合下列規(guī)定：1潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應穿越無關(guān)的房間,。2干管應敷設在上,、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。3易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道應明敷。4當易燃,、易爆,、有毒物質(zhì)管道敷設在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時，必須采取可靠的濃度檢測報警,、通風措施,。8.1.2潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設計應符合現(xiàn)行國家標準《工業(yè)金屬管道設計規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定,。8.1.3工業(yè)管道設計應符合下列規(guī)定：1應按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì),，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。2在滿足生產(chǎn)工藝的條件下,，管道系統(tǒng)應盡量短,。3應避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位,。4管道系統(tǒng)應設必需的吹除口,、放凈口和取樣口。8.1.4工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫,。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施,。8.1.5可燃氣體管道、氧氣管道的末端或比較高點均應設置放散管,。放散管引至室外應高出屋脊1m,，并應有防雨、防雜物侵入的措施,。潔凈室可以是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,，以在局部區(qū)域（單向流部分）實現(xiàn)高級別的潔凈室。上海實驗室環(huán)境潔凈室檢測分析

設置在同一潔凈室內(nèi)的高效（亞高效,、超高效)空氣過濾器的阻力,、效率應相近。實驗室潔凈室檢測服務

1近年來,，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房,、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設計中，基本上采用多層的布置方式,，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風靜壓箱,，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風，實際上,，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板，在活動地板等以下是作為回風靜壓箱的下技術(shù)夾層,，在下技術(shù)夾層常常還設置一些公用動力設備,、輔助生產(chǎn)設備和公用動力管線等，潔凈生產(chǎn)層的回風通過活動地板,、多孔板回至下技術(shù)夾層,，實際上，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層。實驗室潔凈室檢測服務