7.4.2風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)和送風(fēng)量選用,;2應(yīng)按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對(duì)氣流流型的要求布置,,3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,;4送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié),;5應(yīng)便于安裝,、維修及過(guò)濾器更換,。滿(mǎn)布或布置率較高時(shí),,外殼強(qiáng)度應(yīng)滿(mǎn)足檢修要求,。7.4.3層流罩的設(shè)置應(yīng)符合下列要求:1潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴(yán)于5級(jí)的局部?jī)艋瘏^(qū)域宜采用層流罩,;2層流罩的形式和進(jìn)風(fēng)方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝或設(shè)備需要選用;3終阻力時(shí)的疊加噪聲及振動(dòng)應(yīng)滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定,;4安裝方式不應(yīng)影響生產(chǎn)操作,。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa。安徽潔凈傳遞窗潔凈室檢測(cè)技術(shù)好
5.3.9空氣潔凈度等級(jí)要求較高的潔凈室,,其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造,。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的,整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,,還靠上下馬槽和板之間的嚴(yán)密結(jié)合,,使?jié)崈羰倚纬梢粋€(gè)完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,,它的作用是防止灰塵在停機(jī)時(shí)從此進(jìn)人室內(nèi),,同時(shí)使?jié)崈羰以谡9ぷ鲿r(shí)易于保持正壓,減少能量的損耗,。此外,,潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過(guò)濾器之間或高效過(guò)濾器與其安裝骨架之間的縫隙,一定要***密封,。目前國(guó)內(nèi)使用的密封方法很多,,如液槽密封、機(jī)械壓墊密封等,,但必須做到涂抹或填嵌方便,,操作簡(jiǎn)單,而且還要考慮更換高效過(guò)濾器時(shí)方便拆裝??傊?,沒(méi)有經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器過(guò)濾的空氣***不允許直接進(jìn)入潔凈室內(nèi)。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力,,以便施工,、運(yùn)行時(shí)人員行走。安徽潔凈傳遞窗潔凈室檢測(cè)技術(shù)好工業(yè)潔凈室--以無(wú)生命的微粒作為控制對(duì)象,。
1)單層潔凈室,,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部、下部設(shè)有上下技術(shù)夾層,,上技術(shù)夾層內(nèi)設(shè)置空氣過(guò)濾裝置,、風(fēng)管和公用動(dòng)力管線(xiàn);下技術(shù)夾層為回風(fēng)道,。這種形式適用于規(guī)模較小的潔凈室,。2)多層潔凈室,在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)吊頂格柵以上設(shè)有送風(fēng)靜壓箱或循環(huán)空氣處理設(shè)備或空氣過(guò)濾單元機(jī)組等的上技術(shù)層,;在單向流潔凈生產(chǎn)區(qū)的活動(dòng)地板以下設(shè)有回風(fēng)靜壓箱或輔助生產(chǎn)設(shè)備或公用動(dòng)力設(shè)備,、管線(xiàn)等的下技術(shù)層。有的電子工業(yè)潔凈廠房的下技術(shù)層根據(jù)需要可為一層或二層,。
1近年來(lái),,在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序)用潔凈廠房、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設(shè)計(jì)中,,基本上采用多層的布置方式,在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,,潔凈空氣通過(guò)FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),,實(shí)際上,潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,;而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動(dòng)地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,,在活動(dòng)地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層,在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動(dòng)力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動(dòng)力管線(xiàn)等,,潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過(guò)活動(dòng)地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,,實(shí)際上,,下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的,所以可以認(rèn)為:電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動(dòng)地板以下的下技術(shù)夾層,,潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施,。
1凈鞋的目的在于保護(hù)人員凈化用室入口處不致受到嚴(yán)重污染。國(guó)內(nèi)多數(shù)潔凈廠房人員入口處設(shè)有擦鞋,、水洗凈鞋,、粘鞋墊、換鞋,、套鞋等凈鞋措施,。為了保護(hù)人員凈化用室的清潔,**徹底的辦法是在更衣前將外出鞋脫去,,換上清潔鞋或鞋**有潔凈廠房工作人員都執(zhí)行更衣前換鞋的制度,其中不少潔凈廠房對(duì)換鞋方式作了周密考慮,,換鞋設(shè)施的布置考慮了外出鞋與清潔鞋接觸的地面要有明確的區(qū)分,,避免了清潔鞋被外出鞋污染,如跨越鞋柜式換鞋,,清潔平臺(tái)上換鞋等都有很好的效果,。定期檢測(cè)潔凈度,確??諝赓|(zhì)量的穩(wěn)定,。口罩生產(chǎn)車(chē)間環(huán)境潔凈室檢測(cè)方法
非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室,,可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),。安徽潔凈傳遞窗潔凈室檢測(cè)技術(shù)好
7.2.1潔凈廠房?jī)?nèi)的生產(chǎn)工藝一般為超精細(xì)加工或要求無(wú)菌無(wú)塵,對(duì)給水系統(tǒng)要求較為嚴(yán)格,,如大規(guī)模集成電路的超純水,、醫(yī)藥工業(yè)的無(wú)菌水等。而且有的水系統(tǒng)的造價(jià)高,、管理要求嚴(yán)格,,因此應(yīng)根據(jù)不同的要求設(shè)置系統(tǒng)(如純水的不同水質(zhì)要求,冷卻水的不同水溫,、水質(zhì)要求等),,以便重點(diǎn)保證要求嚴(yán)格的系統(tǒng),也利于管理和節(jié)省運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用,。目前設(shè)在潔凈廠房中的生產(chǎn)工藝大多為技術(shù)發(fā)展迅速的工業(yè),,如大規(guī)模集成電路、生物制藥等,。這些生產(chǎn)部門(mén)產(chǎn)品升級(jí)換代快,,生產(chǎn)工藝變化多。因此,,在管道設(shè)計(jì)中應(yīng)留有充分的余量,。安徽潔凈傳遞窗潔凈室檢測(cè)技術(shù)好