15.1.1潔凈廠房的微振控制設施的設計應分階段進行,，應包括設計,、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設計,、動力設備隔振設計和精密儀器設備隔振設計等,。15.1.2設計有微振控制要求的潔凈廠房時，應符合下列規(guī)定：1總平面布置時,，應核實相鄰廠房,、建筑物或構(gòu)筑物對精密設備、儀器的振動影響,；2設有精密設備,、儀器的潔凈廠房，其建筑基礎構(gòu)造,、結(jié)構(gòu)選型,、隔振縫的設置、潔凈室裝修等應按微振控制要求設計,；3對設有精密設備,、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設備及其管道，應采取主動隔振措施,；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設備,、儀器，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,，應采取被動隔振措施,。單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用，迅速把室內(nèi)污染排出,。安徽氣流潔凈室檢測認真負責

1管道連接應采用焊接,，熱鍍鋅鋼管應采用螺紋連接。2不銹鋼管應采用氬弧焊,，以對接焊或承接焊連接,；高純氣體管道宜采用內(nèi)壁***痕的對接焊,。8.3.2管道與設備的連接應符合設備的連接要求。當采用軟管連接時宜采用金屬軟管,。8.3.3管道與管道,、管道與閥門連接的密封材料應符合下列規(guī)定：1螺紋或法蘭連接處的密封材料應根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設計工況選擇,，宜采用聚四氟乙烯等,。2高純氣體管道與閥門連接的密封材料應按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套,。8.3.4潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度,、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應低于環(huán)境的**溫度,。保溫層外表面應采用不產(chǎn)生塵粒,、微生物的材料，并應平整,、光潔,，宜采用金屬外殼保護。浙江潔凈工作臺潔凈室檢測規(guī)范性強潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風量,。

6.3.4潔凈廠房技術(shù)夾層的墻壁和頂棚應滿足使用功能要求,，且表面應平整、光滑,。位于地下的技術(shù)層或技術(shù)夾層應采取防水或防潮,、防霉措施。6.3.5當潔凈廠房設置外窗時,，應采用雙層固定窗,，并應有良好的氣密性，同時應采取防結(jié)露措施,。6.3.6潔凈室（區(qū)）門窗,、墻壁、頂棚,、地面,、樓面的設計應符合下列要求：1應滿足使用功能的要求，構(gòu)造和施工縫隙應采取密閉措施,；2頂棚以上的技術(shù)層或技術(shù)夾層宜設檢修通道,，3潔凈室(區(qū))不宜設窗臺；4當?shù)孛娌捎没顒拥匕鍟r,，活動地板材質(zhì)和支撐方式應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。6.3.7用于電子產(chǎn)品生產(chǎn)的潔凈室(區(qū)）的墻板和頂棚,，宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造,。

5.5.2當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))時,，宜采取密封隔斷措施。5.5.3潔凈室（區(qū))內(nèi)的設備宜選用低噪聲產(chǎn)品,。當所選設備超過潔凈室噪聲容許值時,，應采取隔聲措施。5.5.4潔凈室(區(qū))應設置對電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程所使用的工器具進行凈化處理的設施,。5.5.5潔凈室（區(qū)）內(nèi),，電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中各種零、部件存放和傳送,，宜采用容器,。用于存放和傳送的**容器，應符合下列規(guī)定：1制作材料應光潔,、不吸濕,、不銹蝕、不散發(fā)污染物,、防靜電,，并在空氣中不應被氧化；2應密封性能好,；3當存放物有嚴格的潔凈度要求時,，宜充填高純度或干燥氮氣；4構(gòu)造,、外形應滿足生產(chǎn)工藝要求,，并應方便操作和運送。凈化空調(diào)系統(tǒng)的風機宜采取變頻措施,。

B.1自凈檢測是測定潔凈室設施***空氣懸浮粒子的能力,。潔凈室污染潔凈度的恢復性能是設施**重要的能力之一。自凈檢測*對非單向流系統(tǒng)重要并推薦采用,，因為自凈性能與受控區(qū)內(nèi)循環(huán)空氣比例（換氣次數(shù)),、送風與出風的幾何位置、熱條件和空氣分布特性因素相關(guān),，而單向流系統(tǒng)中,，污染被受控氣流置換，自凈時間只受位置和距離的影響,。自凈檢測應在設施處于空態(tài)或靜態(tài)時進行,。潔凈度ISO8級和ISO9級的潔凈室（區(qū)）不推薦自凈檢測。檢測若使用人工氣溶膠,，應防止氣溶膠對設施的殘留污染,。B.2自凈性能的評估方法有100：1自凈時間或潔凈度恢復率。100：1自凈時間的定義：粒子濃度降低到0.01倍初始濃度所需時間,。100：1自凈時間檢測是優(yōu)先方法,。潔凈恢復率的定義：粒子濃度隨時間的變化速率,。該方法可以使用粒子濃度衰減曲線進行描述(縱座標表示濃度，為對數(shù)刻度,；橫座標表示濃度,，為線性刻度)。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施,。安徽壓縮空氣檢測潔凈室檢測

工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫,。安徽氣流潔凈室檢測認真負責

8.2.1潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)應根據(jù)各種用途(包括工藝冷卻水)對水質(zhì)、水溫,、水壓,、水量的要求確定，宜按生產(chǎn),、生活,、消防分別設置的給水系統(tǒng)。8.2.2當設有危險化學品儲存和分配室時,，應根據(jù)化學品的物理化學性能和人身安全的要求,，設置緊急淋浴器和洗眼器，其給水管道應環(huán)形敷設布置,。8.2.3給水管道的管材及附件的選擇,，應符合下列要求：1給水系統(tǒng)的管材和附件的選用，應滿足生產(chǎn)工藝和系統(tǒng)工作參數(shù)的要求,；2埋地管道應耐腐蝕,，并應具有承受相應地面荷載的能力；3生產(chǎn)設備循環(huán)冷卻水給水和回水管道,，應按生產(chǎn)工藝和水質(zhì)要求,，采用不銹鋼管、鋼塑管,、塑料管等,，不宜采用焊接鋼管；4閥門及附件應采用與管材相同的材質(zhì),。安徽氣流潔凈室檢測認真負責