15.1.1潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計應(yīng)分階段進行,，應(yīng)包括設(shè)計,、施工和投產(chǎn)等各階段的微振動測試,、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計,、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器設(shè)備隔振設(shè)計等,。15.1.2設(shè)計有微振控制要求的潔凈廠房時,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1總平面布置時,，應(yīng)核實相鄰廠房,、建筑物或構(gòu)筑物對精密設(shè)備,、儀器的振動影響；2設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈廠房,，其建筑基礎(chǔ)構(gòu)造,、結(jié)構(gòu)選型、隔振縫的設(shè)置,、潔凈室裝修等應(yīng)按微振控制要求設(shè)計,；3對設(shè)有精密設(shè)備、儀器的潔凈室（區(qū)）有振動影響的動力設(shè)備及其管道,，應(yīng)采取主動隔振措施,；4潔凈室(區(qū))內(nèi)精密設(shè)備、儀器,，經(jīng)測試確認受到周圍振動影響時,，應(yīng)采取被動隔振措施。根據(jù)潔凈室特點,，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定,。口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測流程

D.3.10自凈時間檢測,，應(yīng)符合下列規(guī)定：1自凈時間的檢測,，宜用于非單向流潔凈室。2自凈時間的檢測,，宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),，并宜以粒子計數(shù)器進行檢測，同時應(yīng)符合下列要求.1）以大氣塵為基準(zhǔn)時,，則必須將潔凈室停止運行相當(dāng)時間,，在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N,。),。然后開機，定時讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),，直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來的穩(wěn)定狀態(tài),，記錄下所需的時間（t）。2)以人工塵源為基準(zhǔn)時,，應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,，發(fā)煙1～2min后停止，等待1min,，測出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度（N,。）。然后開機,，方法同上,。3由初始濃度(No),、室內(nèi)達到穩(wěn)定的濃度（N）、實際換氣次數(shù)(n),，可得到計算自凈時間(to）,，與實測自凈時間(t)進行對比，如果t≤12to,為合格,。4自凈時間檢測方法除上述方法外,，還有微粒濃度變化率評估法等。自凈時間檢測方法應(yīng)洽商確定,。純化水檢測潔凈室檢測哪家好為了達到規(guī)定的潔凈度級別，有效地控制微粒的污染,。

（1）潔凈廠房是現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物,。隨著科學(xué)技術(shù)的日新月異，新技術(shù),、新工藝,、新產(chǎn)品不斷出現(xiàn)，產(chǎn)品精密度的日益提高,，對無塵提出了越來越高的要求,。目前，潔凈廠房已廣泛應(yīng)用于電子,、生物制藥,、宇航、精密儀器制造等重要部門,。(2）潔凈廠房的空氣潔凈度對有凈化要求的產(chǎn)品質(zhì)量有很大影響,。因此，必須保持凈化空調(diào)系統(tǒng)的正常運行,。據(jù)了解,，在規(guī)定的空氣潔凈度下生產(chǎn)的產(chǎn)品合格率可提高約10%~30%。一旦停電,，室內(nèi)空氣會很快污染,，影響產(chǎn)品質(zhì)量。（3）潔凈廠房是個相對的密閉體,，由于停電造成送風(fēng)中斷,，室內(nèi)的新鮮空氣得不到補充，有害氣體不能排出,，對工作人員的健康是不利的,。

1近年來，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)(前工序）用潔凈廠房,、TFT-LCD生產(chǎn)用潔凈廠房的建造,、設(shè)計中,，基本上采用多層的布置方式，在潔凈生產(chǎn)層吊頂格柵以上的上技術(shù)夾層常常作為送風(fēng)靜壓箱,，潔凈空氣通過FFU向潔凈生產(chǎn)層送風(fēng),，實際上，潔凈生產(chǎn)層與上技術(shù)夾層是相通的,；而潔凈生產(chǎn)層的下部是活動地板及其支撐件和鋼筋混凝土多孔板,，在活動地板等以下是作為回風(fēng)靜壓箱的下技術(shù)夾層，在下技術(shù)夾層常常還設(shè)置一些公用動力設(shè)備,、輔助生產(chǎn)設(shè)備和公用動力管線等,，潔凈生產(chǎn)層的回風(fēng)通過活動地板、多孔板回至下技術(shù)夾層,，實際上,，下技術(shù)夾層與潔凈生產(chǎn)層是相通的，所以可以認為：電子工廠潔凈廠房垂直單向流潔凈室的空間包括活動地板以下的下技術(shù)夾層,，潔凈生產(chǎn)層和吊頂以上的上技術(shù)夾層,。非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng),。

近年來,，國內(nèi)外一些潔凈廠房中一級用電負荷因雷擊及電源瞬時變動而引起停電事故頻繁發(fā)生，造成了較大的經(jīng)濟損失,，其原因不是主電源斷電,，而是控制電源失電造成保護系統(tǒng)失靈而造成事故。電氣照明在潔凈廠房設(shè)計中也很重要,。從工藝性質(zhì)來看,，潔凈廠房內(nèi)一般從事精密視覺工作，需要高照度高質(zhì)量照明,。為了獲得良好和穩(wěn)定的照明條件,，除了解決好照明形式、光源,、照度等一系列問題外,，極重要的是保證供電電源的可靠性和穩(wěn)定性。........管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口,、放凈口和取樣口,。噪音潔凈室檢測認真負責(zé)

工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫?？谡稚a(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測流程

5.3.9空氣潔凈度等級要求較高的潔凈室,，其墻板和頂棚宜采用輕質(zhì)壁板構(gòu)造。輕質(zhì)壁板連接構(gòu)造的整體性和氣密性是很重要的,，整體性除靠板與板之間的雌雄槽緊密組合外,，還靠上下馬槽和板之間的嚴密結(jié)合,，使?jié)崈羰倚纬梢粋€完整的匣體。板壁之間的接縫應(yīng)以硅橡膠等密封材料嵌縫密封,，它的作用是防止灰塵在停機時從此進人室內(nèi),，同時使?jié)崈羰以谡９ぷ鲿r易于保持正壓，減少能量的損耗,。此外,，潔凈室的關(guān)鍵密封部位是高效過濾器之間或高效過濾器與其安裝骨架之間的縫隙，一定要***密封,。目前國內(nèi)使用的密封方法很多,，如液槽密封、機械壓墊密封等,，但必須做到涂抹或填嵌方便,，操作簡單，而且還要考慮更換高效過濾器時方便拆裝,。總之,，沒有經(jīng)過高效過濾器過濾的空氣***不允許直接進入潔凈室內(nèi),。潔凈室頂棚用輕質(zhì)壁板應(yīng)具有一定的承重能力，以便施工,、運行時人員行走,。口罩生產(chǎn)車間環(huán)境潔凈室檢測流程