潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,，從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來(lái)規(guī)定的,。也就是說(shuō)，所謂的無(wú)塵,，并不是100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,，而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,，這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,，相對(duì)于我們常見(jiàn)的粉塵來(lái)說(shuō)是非常小的，但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō),，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度,，通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低,。福建潔凈工作臺(tái)檢測(cè)值得推薦

單向流潔凈室的流動(dòng)狀態(tài)從雷諾數(shù)看是湍流,，所以所謂層流潔凈室中的層流和流體力學(xué)中的層流是完全不同的概念。因此,，層流潔凈室一詞是不恰當(dāng)?shù)?，?guó)外的一些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出了這一點(diǎn)。例如,，英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)BS-5295曾將所謂的層流潔凈室定義為單向流潔凈室,。層流在括號(hào)中表示。原聯(lián)邦德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)VDl-2083使用“非湍流置換流”一詞,，并在注釋中指出層流的概念只是為了區(qū)分比層流更早出現(xiàn)的湍流(turbulent)流潔凈室整理房間,。在當(dāng)時(shí)使用的成語(yǔ)中,，“層流系統(tǒng)”的確切含義不是分層流，而是湍流的置換流,。本章提到的概念是湍流的漸進(jìn)流,。在流體力學(xué)中，這種流動(dòng)狀態(tài)也可以稱為平行流動(dòng)或單向流動(dòng),。1977年,，我國(guó)在《清潔空氣技術(shù)措施》中選擇了“平行流”一詞，并指出習(xí)慣上在該詞后稱其為“層流”,。福建潔凈工作臺(tái)檢測(cè)值得推薦潔凈室檢測(cè)前,，應(yīng)對(duì)檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行充分清潔和消毒。

B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置,，設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量,，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣[1],，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),，將采樣口正對(duì)氣流的主方向,。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(cè)(例如非單向流)的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上,。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短,。采樣粒子大于或等于1μm時(shí)，連接管的長(zhǎng)度和直徑不應(yīng)超過(guò)制造商的建議值,。采樣過(guò)程中,，因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%,。

潔凈室,、潔凈區(qū)的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替,、稀釋室內(nèi)產(chǎn)生的顆粒污染物來(lái)實(shí)現(xiàn)的。為此,，測(cè)定潔凈室或潔凈設(shè)施的送風(fēng)量,、平均風(fēng)速、送風(fēng)均勻性,、氣流流向及流型等項(xiàng)目十分必要,。單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內(nèi),、區(qū)內(nèi)的污染空氣以維持室內(nèi),、區(qū)內(nèi)的潔凈度,。因此，其送風(fēng)斷面風(fēng)速及均勻性是影響潔凈度的重要參數(shù),。較高的,、較均勻的斷面風(fēng)速能更快、更有效地排除室內(nèi)工藝過(guò)程產(chǎn)生的污染物,，因此它們是主要關(guān)注的檢測(cè)項(xiàng)目,。單向流氣流的凈化原理是活塞和擠壓原理，把塵埃粒子從一端向另一端擠壓出去,，用潔凈氣流置換污染氣流,。

4.3.2人員凈化用室和生活用室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：1應(yīng)設(shè)置存放雨具、換鞋,、存外衣,、更換潔凈工作服等人員凈化用室。2廁所,、盥洗室,、淋浴室、休息室等生活用室以及空氣吹淋室,、氣閘室,、工作服洗滌間和干燥間等可根據(jù)需要設(shè)置。4.3.3人員凈化用室和生活用室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：1人員凈化用室的入口處應(yīng)設(shè)凈鞋措施,。2存外衣,、更換潔凈工作服的房間應(yīng)分別設(shè)置。3外衣存衣柜應(yīng)按設(shè)計(jì)人數(shù)每人設(shè)一柜,，潔凈工作服宜集中掛人帶有空氣吹淋的潔凈柜內(nèi),。4盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)施。5空氣吹淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處,，并與潔凈工作服更衣室相鄰,。單人空氣吹淋室按比較大班人數(shù)每30人設(shè)一臺(tái)。潔凈區(qū)工作人員超過(guò)5人時(shí),，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門,。6嚴(yán)于5級(jí)的垂直單向流潔凈室宜設(shè)氣閘室。7潔凈區(qū)內(nèi)不得設(shè)廁所,。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室,。抽樣對(duì)有設(shè)計(jì)要求的區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)。廣東實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)

對(duì)于不安裝過(guò)濾器的風(fēng)口可按綜合效能普通通風(fēng)空調(diào)風(fēng)口風(fēng)量測(cè)試的方法進(jìn)行,。福建潔凈工作臺(tái)檢測(cè)值得推薦

A,、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服，不得超過(guò)2人,，應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),，并應(yīng)保持靜止,。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕，應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾,。B,、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C,、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”,。D、在單向流區(qū)域,，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),，將采樣口正對(duì)氣流的主方向,。非單向流的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上,。E,、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,，要均勻科學(xué)布點(diǎn),，而且要避開(kāi)回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,，采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),，總采樣數(shù)可根據(jù)面積開(kāi)2次根求得。**少采樣點(diǎn)數(shù)目對(duì)應(yīng)懸浮粒子采樣點(diǎn)數(shù),，工作區(qū)測(cè)點(diǎn)位置離地0.8-1.2m左右,，送風(fēng)口測(cè)點(diǎn)位置離開(kāi)送風(fēng)面30cm左右，關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動(dòng)范圍處可增加測(cè)點(diǎn),，每個(gè)采樣點(diǎn)一般采樣一次,。福建潔凈工作臺(tái)檢測(cè)值得推薦