（1）幾何精度檢測 可用于檢測直線度,、垂直度,、俯仰與偏擺、平面度、平行度等,。（2）位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數(shù)控機床定位精度,、重復定位精度、微量位移精度等,。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差，而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,，比通常的補償方法節(jié)省了大量時間,，并且避免了手工計算和手動數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差，同時可比較大限度地選用被測軸上的補償點數(shù),，使機床達到比較好精度,，另外操作者無需具有機床參數(shù)及補償方法的知識。光電探測器將光信號轉為電信號,，經電路處理提取差頻變化量,，然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移。常熟附近雙頻激光干涉儀單價

多普勒效應：當測量鏡移動時,，測量光的頻率變?yōu)閒1±Δf,，與參考光f2干涉后形成差頻信號|(f1±Δf)-f2|，該信號反映出位移引起的頻率變化,。信號檢測：光電探測器將光信號轉為電信號,，經電路處理提取差頻變化量，然后通過相位比較或脈沖計數(shù)來計算位移,。二,、主要特點精度高：雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量，即使不做細分也可達到微米（μm）量級,，細分后更可達到納米（nm）量級,。應用范圍廣：雙頻激光干涉儀可用于長度的精密測量，配上適當?shù)母郊€可測量角度,、直線度,、平面度、振動距離及速度等,。相城區(qū)安裝雙頻激光干涉儀產品介紹測量精度不受空氣湍流的影響,，無需預熱時間。

激光的出現(xiàn)在世界計量史上具有重大的意義,。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,，由于它的相干長度很大，干涉儀的測量范圍可以**的擴展,；而且由于它的光束發(fā)散角小,，能量集中，因而它產生的干涉條紋可以用光電接收器接收，變?yōu)殡娪嵦?，并由計?shù)器一個不漏的記錄下來,，從而提高了測量速度和測量精度，比如說我國自行設計與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長儀,，可以在20分鐘之內把1米線紋尺上1001條刻線依次自動鑒定完畢,，精度達到±0.2μm，這就是激光干涉儀的成功例證,。

激光干涉測量儀是一種基于激光干涉原理的高精度計量儀器,，廣泛應用于工程與技術科學領域 [1-2]。該儀器通過測量激光波長變化實現(xiàn)幾何量的檢測,，具備抗干擾能力強,、精度高等特點。主要應用場景包括數(shù)控機床校準,、三坐標機校準,、光學平臺校準等，通過與不同光學組件結合,，可檢測線性位移,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等參數(shù) [2]截至2020年11月,，激光干涉測量儀的技術參數(shù)包括 [1]：標準量程：0-40米測量精度：±0.5 ppm分辨率：1納米比較大速率：240米/分鐘角度測量精度：0.2%其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),，必然具有直流光平和電平零漂的弊端。

環(huán)境適應力強：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大,，即使光強衰減90%,，仍然可以得到有效的干涉信號。因此,，它既可在恒溫,、恒濕、防震的計量室內使用,，也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定,。實時動態(tài)測速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s，有的甚至達到十幾m/s,，適于高速動態(tài)測量,。三、應用領域幾何量精密測量：用于長度,、角度,、直線度,、平行度、平面度,、垂直度等幾何量的高精度測量,。同時，既支持幾十米大量程的檢測（如大型機械）,，也可對手表零件等微米級運動進行測量,。它通過將光束分成兩部分，分別經過不同的路徑后再合并,，形成干涉圖樣,。常熟附近雙頻激光干涉儀單價

雙頻激光干涉儀以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。常熟附近雙頻激光干涉儀單價

光源：提供相干光,，通常是激光,，因為激光具有高度的相干性,，能夠產生穩(wěn)定的干涉條紋,。分束器：將光束分成兩部分，通常使用半透半反鏡或分光棱鏡,。反射鏡：調節(jié)光程差,，確保兩束光在干涉屏（或檢測器）上相遇時具有合適的相位差。干涉屏（或檢測器）：顯示干涉結果,，或將干涉后的光束轉換為電信號進行進一步分析,。三、分類干涉儀可以按照不同的分類原則進行分類,，常見的分類方法包括：按結構區(qū)分：分為單路徑干涉儀和多路徑干涉儀,。單路徑干涉儀中，干涉的波通過同一路徑傳播,，如Sagnac干涉儀,、等傾干涉和等厚干涉等；而多路徑干涉儀中,，干涉的波通過不同的路徑傳播,，如邁克爾遜干涉儀。常熟附近雙頻激光干涉儀單價

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