另一方面,,當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí),前者的干涉信號是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號,,而后者的干涉信號是使原有的交流信號頻率增加或減少了△f,,結(jié)果依然是一個(gè)交流信號。因而對于雙頻激光干涉儀來說,,可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對干涉信號進(jìn)行放大,,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,,依然可以得到合適的電信號,。精度高雙頻激光干涉儀以波長作為標(biāo)準(zhǔn)對被測長度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級,,細(xì)分后更可達(dá)到nm量級,。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長度的精密測量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測量角度,、直線度,、平面度、振動(dòng)距離及速度等等雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測量的儀器,。常熟銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
分類激光干涉儀主要分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀兩種:單頻激光干涉儀:在20世紀(jì)60年代中期出現(xiàn),,**初用于檢定基準(zhǔn)線紋尺,后用于在計(jì)量室中精密測長,。它對環(huán)境要求較高,,周圍大氣需處于穩(wěn)定狀態(tài),以避免空氣湍流對測量結(jié)果的影響。雙頻激光干涉儀:出現(xiàn)于1970年,,適宜在車間中使用,。它應(yīng)用頻率變化來測量位移,對由光強(qiáng)變化引起的直流電平變化不敏感,,因此抗干擾能力強(qiáng),。雙頻激光干涉儀常用于檢定測長機(jī)、三坐標(biāo)測量機(jī),、光刻機(jī)和加工中心等的坐標(biāo)精度,,也可用作測長機(jī)、高精度三坐標(biāo)測量機(jī)等的測量系統(tǒng),。三,、應(yīng)用太倉銷售雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)雙頻激光干涉儀的發(fā)明使激光干涉儀擺脫了計(jì)量室的束縛,更為廣泛的應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中,。
若干涉條紋發(fā)生移動(dòng),,一定是場點(diǎn)對應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,,可能是光線長度L發(fā)生變化,,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化,。S為點(diǎn)光源,,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,,其中M1是定鏡,;M2為動(dòng)鏡,它和精密螺絲相連,,轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪可以使其向前后方向移動(dòng),,最小讀數(shù)為10mm,可估計(jì)到10mm,,。M1和M2后各有3個(gè)小螺絲可調(diào)節(jié)其方位,。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,,使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束(反射光和透射光),。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,,經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),,干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號,,經(jīng)整形,、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數(shù)),,算出可動(dòng)反射鏡的位移量L,。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),,各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測量結(jié)果,。它通過多次反射在兩個(gè)平面鏡之間形成干涉。
激光干涉儀,,以激光波長為已知長度,,利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。激光具有**度,、高度方向性,、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn),。目前常用來測量長度的干涉儀,,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源,,構(gòu)成一個(gè)具有干涉作用的測量系統(tǒng),。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置,、速度,、角度、真平度,、真直度,、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作,。英文名稱:laser interferometer(激光干涉儀)光程傳播:參考光束和測量光束分別經(jīng)過不同的路徑,可能會(huì)經(jīng)過被測物體或介質(zhì),。張家港耐用雙頻激光干涉儀哪家強(qiáng)
利用多普勒效應(yīng),,計(jì)數(shù)器計(jì)頻率差的變化,不受激光強(qiáng)度和磁場變化的影響,。常熟銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
但是這種單頻的激光儀并非完美,,它的一個(gè)根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,在測試環(huán)境惡劣,,測量距離較長時(shí),,這一缺點(diǎn)十分突出。其原因在于它是一種直流測量系統(tǒng),,必然具有直流光平和電平零漂的弊端,。激光干涉儀可動(dòng)反光鏡移動(dòng)時(shí),,光電接收器會(huì)輸出信號,如果信號超過了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會(huì)被記錄下來,,而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,,就有可能使光電信號低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù),使激光器強(qiáng)度或干涉信號強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流,,機(jī)床油霧,,切削屑對光束的影響,結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲,。常熟銷售雙頻激光干涉儀產(chǎn)品介紹
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