經(jīng)M2反射的光三次穿過(guò)G2分光板，而經(jīng)M1反射的光通過(guò)G2分光板只一次。G1補(bǔ)償板的設(shè)置是為了消除這種不對(duì)稱,。在使用單色光源時(shí),，可以利用空氣光程來(lái)補(bǔ)償，不一定要補(bǔ)償板,；但在復(fù)色光源時(shí),，由于玻璃和空氣的色散不同，補(bǔ)償板則是不可或缺的,。如果要觀察白光的干涉條紋,，臂基本上完全對(duì)稱，也就是兩相干光的光程差要非常小,，這時(shí)候可以看到彩色條紋,；假若M1或M2有略微的傾斜，就可以得到等厚的交線處（d=0）的干涉條紋為中心對(duì)稱的彩色直條紋,，**條紋由于半波損失為暗條紋,。邁克爾遜和愛(ài)德華·威廉姆斯·莫雷使用這種干涉儀于1887年進(jìn)行了***的邁克耳遜-莫雷實(shí)驗(yàn)，并證實(shí)了以太的不存在,。廣泛應(yīng)用：廣泛應(yīng)用于材料科學(xué),、機(jī)械工程、光學(xué)測(cè)量,、精密制造等領(lǐng)域,。張家港耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,，經(jīng)擴(kuò)束準(zhǔn)直后由分光鏡分為兩路,，并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì)合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),，干涉條紋的光強(qiáng)變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號(hào),，經(jīng)整形、放大后輸入可逆計(jì)數(shù)器計(jì)算出總脈沖數(shù),，再由電子計(jì)算機(jī)按計(jì)算式[356-11]式中λ為 激光波長(zhǎng)(N 為電脈沖總數(shù)),，算出可動(dòng)反射鏡的位移量L,。使用單頻激光干涉儀時(shí)，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài),，各種空氣湍流都會(huì)引起直流電平變化而影響測(cè)量結(jié)果,。江蘇本地雙頻激光干涉儀設(shè)備廠家接受信號(hào)為交流信號(hào)，前置放大器為高倍數(shù)的交流放大器,，不用直流放大,，故沒(méi)有零點(diǎn)漂移等問(wèn)題。

但是這種單頻的激光儀并非完美,，它的一個(gè)根本弱點(diǎn)就是受環(huán)境影響嚴(yán)重,，在測(cè)試環(huán)境惡劣，測(cè)量距離較長(zhǎng)時(shí),，這一缺點(diǎn)十分突出,。其原因在于它是一種直流測(cè)量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零漂的弊端,。激光干涉儀可動(dòng)反光鏡移動(dòng)時(shí),，光電接收器會(huì)輸出信號(hào)，如果信號(hào)超過(guò)了計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平則就會(huì)被記錄下來(lái),，而如果激光束強(qiáng)度發(fā)生變化,，就有可能使光電信號(hào)低于計(jì)數(shù)器的觸發(fā)電平而使計(jì)數(shù)器停止計(jì)數(shù)，使激光器強(qiáng)度或干涉信號(hào)強(qiáng)度變化的主要原因是空氣湍流,，機(jī)床油霧,，切削屑對(duì)光束的影響，結(jié)果光束發(fā)生偏移或波面扭曲,。

雙頻激光干涉儀是一種利用兩種不同頻率的激光光源進(jìn)行干涉測(cè)量的儀器,。它通常用于高精度的位移、振動(dòng),、形變等物理量的測(cè)量,。雙頻激光干涉儀的工作原理基于光的干涉現(xiàn)象，即當(dāng)兩束相干光相遇時(shí),，會(huì)產(chǎn)生干涉條紋,，條紋的變化可以用來(lái)精確測(cè)量物體的位移或其他物理量。主要特點(diǎn)和應(yīng)用：高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度,，適用于微小位移的檢測(cè),。抗干擾能力強(qiáng)：由于使用了兩種不同頻率的激光,，干涉儀對(duì)環(huán)境噪聲和振動(dòng)的抗干擾能力較強(qiáng),。高精度：雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度，適用于微小位移的檢測(cè),。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)：雙頻激光干涉儀采用交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,，即使光強(qiáng)衰減90%,，仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。因此,，它既可在恒溫,、恒濕、防震的計(jì)量室內(nèi)使用,，也可在普通車間內(nèi)為大型機(jī)床的刻度進(jìn)行標(biāo)定,。實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)速高：現(xiàn)代的雙頻激光干涉儀測(cè)速普遍達(dá)到1m/s，有的甚至達(dá)到十幾m/s,，適于高速動(dòng)態(tài)測(cè)量。三,、應(yīng)用領(lǐng)域幾何量精密測(cè)量：用于長(zhǎng)度,、角度、直線度,、平行度,、平面度、垂直度等幾何量的高精度測(cè)量,。同時(shí),，既支持幾十米大量程的檢測(cè)（如大型機(jī)械），也可對(duì)手表零件等微米級(jí)運(yùn)動(dòng)進(jìn)行測(cè)量,。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,，恒濕，防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,，量桿,，刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。張家港耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

而雙頻激光干涉儀正好克服了這一弱點(diǎn),，它是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀,。張家港耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

邁克爾遜干涉儀，是1881年美國(guó)物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,，為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來(lái)的精密光學(xué)儀器,。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過(guò)調(diào)整該干涉儀,，可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,，也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長(zhǎng)度和折射率的測(cè)量,，若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條,，便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2，等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2,。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中,，如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用,。利用該儀器的原理，研制出多種**干涉儀,。 [1]張家港耐用雙頻激光干涉儀量大從優(yōu)

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