MEMS即微機電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems）,，是MEMS傳感器在微電子技術(shù)基礎上發(fā)展起來的多學科交叉的前沿研究領(lǐng)域,。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一,。它涉及電子,、機械、材料,、物理學,、化學、生物學,、醫(yī)學等多種學科與技術(shù),，具有廣闊的應用前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器,。與傳統(tǒng)的傳感器相比,，它具有體積小、重量輕,、成本低,、功耗低、可靠性高,、適于批量化生產(chǎn),、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點,。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能,。觸覺傳感器的適用范圍將拓寬,，在人機交互系統(tǒng)、智能機器人,、移動醫(yī)療等領(lǐng)域具有巨大的應用前景,。浙江溫度傳感器

對于位移傳感器參數(shù)指標主要有以下幾點：1、靈敏度方面的技術(shù)指標：對于一個儀器來說,，一般都是靈敏度越高越好的,，因為越靈敏，對周圍環(huán)境發(fā)生的加速度的變化就越容易感受到,，加速度變化大,，很自然地，輸出的電壓的變化相應地也變大,，這樣測量就比較容易方便,，而測量出來的數(shù)據(jù)也會比較精確的。2,、零點溫漂：環(huán)境溫度的變化引起的零點平衡變化,。一般以溫度每變化10℃時，引起的零點平衡變化量對額定輸出的百分比來表示,，即傳感器不受壓時的輸入由溫度變更引起的漂移,。3、帶寬方面的技術(shù)指標：帶寬指的的是傳感器可以測量的有效的頻帶,，比如,，一個傳感器有上百HZ帶寬的就可以測量振動了，一個具有五十HZ帶寬的傳感器就可以有效測量傾角了,。4,、輸出方式的技術(shù)指標：數(shù)字輸出和模擬輸出兩種方式。數(shù)字式傳感器向儀表輸入的是數(shù)字信號,，如數(shù)量,、重量等；模擬式傳感器向儀表輸入的是模擬量信號,，如電壓,、電流等。5,、量程方面的技術(shù)指標：測量不一樣的事物的運動所需要的量程都是不一樣的,，要根據(jù)實際情況來衡量。6、極限過載：傳感器能承受的不使其喪失工作能力的最大負荷,。意思是當工作超過此值時,，傳感器將會受到長久損壞。遼寧負荷傳感器凡是利用磁性質(zhì),、磁通量變化來制作的傳感器叫磁性傳感器,。

負溫度系數(shù)熱敏電阻的工作原理負溫度系數(shù)熱敏電阻是以氧化錳、氧化鈷,、氧化鎳,、氧化銅和氧化鋁等金屬氧化物為主要原料，采用陶瓷工藝制造而成,。這些金屬氧化物材料都具有半導體性質(zhì),，完全類似于鍺、硅晶體材料,，體內(nèi)的載流子（電子和空穴）數(shù)目少,，電阻較高；溫度升高,，體內(nèi)載流子數(shù)目增加,，自然電阻值降低,。負溫度系數(shù)熱敏電阻類型很多,，使用區(qū)分低溫（-60~300℃）、中溫（300~600℃）,、高溫（>600℃）三種,，有靈敏度高、穩(wěn)定性好,、響應快,、壽命長、價格低等優(yōu)點,，廣泛應用于需要定點測溫的溫度自動控制電路,，如冰箱、空調(diào),、溫室等的溫控系統(tǒng),。熱敏電阻與簡單的放大電路結(jié)合，就可檢測千分之一度的溫度變化,，所以和電子儀表組成測溫計,，能完成高精度的溫度測量。普通用途熱敏電阻工作溫度為-55℃~+315℃,，特殊低溫熱敏電阻的工作溫度低于-55℃,，可達-273℃。

傳感器（Sensor）是一種常見的卻又很重要的器件，它是感受規(guī)定的被測量的各種量并按一定規(guī)律將其轉(zhuǎn)換為有用信號的器件或裝置,。對于傳感器來說,，按照輸入的狀態(tài)，輸入可以分成靜態(tài)量和動態(tài)量,。我們可以根據(jù)在各個值的穩(wěn)定狀態(tài)下,，輸出量和輸入量的關(guān)系得到傳感器的靜態(tài)特性。傳感器的靜態(tài)特性的主要指標有線性度,、遲滯,、重復性、靈敏度和準確度等,。傳感器的動態(tài)特性則指的是對于輸入量隨著時間變化的響應特性,。動態(tài)特性通常采用傳遞函數(shù)等自動控制的模型來描述。通常,，傳感器接收到的信號都有微弱的低頻信號,，外界的干擾有的時候的幅度能夠超過被測量的信號，因此消除串入的噪聲就成為了一項關(guān)鍵的傳感器技術(shù),。汽車上常用傳感器的作用與識別,。

傳感器分類按技術(shù)分類超聲波傳感器、溫度傳感器,、濕度傳感器,、氣體傳感器、氣體報警器,、壓力傳感器,、加速度傳感器、紫外線傳感器,、磁敏傳感器,、磁阻傳感器、圖像傳感器,、電量傳感器,、位移傳感器。按應用分類壓力傳感器,、溫濕度傳感器,、溫度傳感器、流量傳感器,、液位傳感器,、超聲波傳感器、浸水傳感器,、照度傳感器,、差壓變送器,、加速度傳感器、位移傳感器,、稱重傳感器,。電子式傳感器有IR紅外線近接、測距循線循跡Sensor超音波距離檢測雷射區(qū)域距離測量儀室內(nèi)定位系統(tǒng)碰撞傳感器緊急,、保護帶狀開關(guān)可撓曲傳感器,、壓力傳感器、溫濕度傳感器,、表面溫度量測器,、數(shù)位電子羅盤(方向)GPS衛(wèi)星定位模組計數(shù)&PWM產(chǎn)生器、陀螺儀與加速度計傾斜儀與定向計Piezo壓電震動傳感器,、RFIDReader模組PIR物體移動檢知TSL230光To頻率霍爾效應傳感器,、氣體偵測器。電流測量,，可能是TMR傳感器主要的應用方向了,。寧波拉力傳感器

磁旋轉(zhuǎn)傳感器在家用電器中也有大的應用潛力。浙江溫度傳感器

傳感器由敏感元器件（感知元件）和轉(zhuǎn)換器件兩部分組成,，有的半導體敏感元器件可以直接輸出電信號,，本身就構(gòu)成傳感器。敏感元器件品種繁多,，就其感知外界信息的原理來講,，可分為①物理類，基于力,、熱,、光,、電,、磁和聲等物理效應。②化學類,，基于化學反應的原理,。③生物類，基于酶,、抗體,、和等分子識別功能。通常據(jù)其基本感知功能可分為熱敏元件,、光敏元件,、氣敏元件、力敏元件,、磁敏元件,、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件,、色敏元件和味敏元件等幾大類（還有人曾將傳感器分46類）,。下面對常用的熱敏、光敏,、氣敏,、力敏和磁敏傳感器及其敏感元件介紹如下。浙江溫度傳感器

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