物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行,。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑,、粗糙度和表面結(jié)構(gòu),。當(dāng)測量對象包含不同類型的材料（例如塑料和金屬）時，盡管距離值保持不變,，但反射率會突出材料之間的差異,。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見,。在檢測到信號強度的變化后，系統(tǒng)會創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,。 除了距離測量之外,，另一種選擇是使用信號強度進行測量，這可以實現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化,。通過恒定的曝光時間,，可以獲得關(guān)于表面評估的附加信息，而這靠距離測量是不可能的,。光譜共焦技術(shù)可以在工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮重要作用,。海東高采樣速率光譜共焦

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用,。玻璃基板的品質(zhì)對控制面板成品屏幕分辨率、透光性,、厚度,、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害,。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構(gòu)件,。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片。現(xiàn)階段在商業(yè)上運用的玻璃基板,，其厚度為0.7 mm及0.5m m,，且將要邁進特薄（如0.4mm）厚度之制造,。大部分,，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄,，而厚度規(guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格,，一般在0.01mm的公差，關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度,、漲縮和平面度,。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題，一次測量就可以完成了相對高度值,、厚度系數(shù)的收集,，再加上與此同時選用多個感應(yīng)器測量，不僅提高了高效率,，并且防止觸碰測量所造成的二次損害,。中國臺灣新品光譜共焦光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用將有助于推動中國科技創(chuàng)新的發(fā)展。

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,，因為其測量精度高,，對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點,，應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析,，設(shè)計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,，采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組，使用凹凸透鏡補償法該鏡,，在486,.._,656nm波長范圍內(nèi),，色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達到0.9976，很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度,，配以合適的光譜儀,，傳感器的分辨率可達到5nm的測量精度。符合設(shè)計要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散,，在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性,。

光譜共焦位移傳感器是基于共焦原理采用復(fù)色光為光源的傳感器，其測扯精度能夠達到nm量級,，可用于表面呈漫反射或鏡反射的物體的測匱,。此外，光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進行單向厚度測量,。由于其在測量位 移方面具有高精度的特性，對千單層和多層透明物體,，除準(zhǔn)確測量該物體的位移之外,，還可以單方向測量其厚度。本文將光譜共焦位移傳感器應(yīng)用于位移測量中,，通過實驗驗證光譜共焦測量系統(tǒng)能夠滿足高精度的位移測蜇要求,，對今后將整個 小型化、產(chǎn)品化有著重要的意義,。光譜共焦技術(shù)的精度可以達到納米級別,。

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器，TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線性精度,，10kHz的測量速度，以及±60°的測量角度,，能夠適應(yīng)鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,，支持485,、USB,、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。,。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度，所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量,。柵線測量方法：首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標(biāo)記如圖1,，用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量，柵線厚度是柵線高度-基底的高度差,。二維運動平臺掃描測量（由于柵線不是一個平整面,，自身有一定的曲率，對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大）光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,，對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義,。海東品牌光譜共焦

光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。海東高采樣速率光譜共焦

光譜共焦傳感器可以用于數(shù)碼相機的相位測距,，可大幅提高相機的對焦精度和成像質(zhì)量,。同時，還可以通過檢測相機的微小振動,，實現(xiàn)圖像的防抖和抗震功能,。光譜共焦傳感器可以用于計算機硬盤的位移和振動測量，從而實現(xiàn)對硬盤存儲數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和可靠性的實時監(jiān)控,。在硬盤的生產(chǎn)過程中,，光譜共焦傳感器也可用于進行各種機械結(jié)構(gòu)件的位移、振動和形變測試,。光譜共焦傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用領(lǐng)域極其大量,，可用于各種控制和檢測環(huán)節(jié)，實現(xiàn)高精度,、高可靠性的測量與檢測,。海東高采樣速率光譜共焦