極值法求解過程計算簡單,，速度快,，同時確定薄膜的多個光學常數(shù)及解決多值性問題，測試范圍廣,，但沒有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素，以至于精度不夠高,。此外,，由于受曲線擬合精度的限制,，該方法對膜厚的測量范圍有要求,，通常用這種方法測量的薄膜厚度應大于200nm且小于10μm,，以確保光譜信號中的干涉波峰數(shù)恰當,。全光譜擬合法是基于客觀條件或基本常識來設置每個擬合參數(shù)上限、下限,，并為該區(qū)域的薄膜生成一組或多組光學參數(shù)及厚度的初始值,，引入適合的色散模型，再根據麥克斯韋方程組的推導,。這樣求得的值自然和實際的透過率和反射率（通過光學系統(tǒng)直接測量的薄膜透射率或反射率）有所不同,，建立評價函數(shù),，當計算的透過率/反射率與實際值之間的偏差小時,，我們就可以認為預設的初始值就是要測量的薄膜參數(shù)。白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學傳感器中的薄膜厚度測量。泰安膜厚儀產品基本性能要求

根據以上分析可知,，白光干涉時域解調方案的優(yōu)點是：①能夠實現(xiàn)測量；②抗干擾能力強,，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關,；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關,；④結構簡單，成本較低,。但是，時域解調方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度,。采用這種解調方案的測量分辨率一般是幾個微米，達到亞微米的分辨率,，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm,。當所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近，難以區(qū)分,，此時時域解調方案的應用受到限制,。阜陽膜厚儀信賴推薦白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜的在線檢測和控制。

白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題,，具有動態(tài)測量范圍大，連續(xù)測量時波動范圍小的特點,，但在實際測量中,，由于測量誤差、儀器誤差,、擬合誤差等因素，干涉級次的測量精度仍其受影響,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象,。導致公式計算得到的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差,。為得到準確的干涉級次,，本文依據干涉級次的連續(xù)特性設計了以下校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學厚度的精確值,。導入白光干涉光譜測量曲線。

在納米量級薄膜的各項相關參數(shù)中,，薄膜材料的厚度是薄膜設計和制備過程中的重要參數(shù),，是決定薄膜性質和性能的基本參量之一，它對于薄膜的光學,、力學和電磁性能等都有重要的影響[3]。但是由于納米量級薄膜的極小尺寸及其突出的表面效應,，使得對其厚度的準確測量變得困難,。經過眾多科研技術人員的探索和研究，新的薄膜厚度測量理論和測量技術不斷涌現(xiàn),，測量方法實現(xiàn)了從手動到自動，有損到無損測量,。由于待測薄膜材料的性質不同,，其適用的厚度測量方案也不盡相同,。對于厚度在納米量級的薄膜，利用光學原理的測量技術應用,。相比于其他方法，光學測量方法因為具有精度高,，速度快，無損測量等優(yōu)勢而成為主要的檢測手段,。其中具有代表性的測量方法有橢圓偏振法，干涉法，光譜法,，棱鏡耦合法等。白光干涉膜厚測量技術可以對不同材料的薄膜進行聯(lián)合測量和分析,。

光譜擬合法易于測量具有應用領域，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入,，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量。其缺點是不夠實用,，該方法需要一個較好的薄膜的光學模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng)),，但是在實際測試過程中,，薄膜的色散和吸收的公式通常不準確，尤其是對于多層膜體系,，建立光學模型非常困難，無法用公式準確地表示出來,。在實際應用中只能使用簡化模型,，因此,，通常全光譜擬合法不如極值法有效。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于太陽能電池中的薄膜光學參數(shù)測量。阜陽膜厚儀信賴推薦

白光干涉膜厚測量技術可以應用于納米制造中的薄膜厚度測量,。泰安膜厚儀產品基本性能要求

    針對微米級工業(yè)薄膜厚度測量，研究了基于寬光譜干涉的反射式法測量方法,。根據薄膜干涉及光譜共聚焦原理,，綜合考慮成本,、穩(wěn)定性、體積等因素要求,，研制了滿足工業(yè)應用的小型薄膜厚度測量系統(tǒng)。根據波長分辨下的薄膜反射干涉光譜模型,，結合經典模態(tài)分解和非均勻傅里葉變換思想，提出了一種基于相位功率譜分析的膜厚解算算法,，能有效利用全光譜數(shù)據準確提取相位變化，對由環(huán)境噪聲帶來的假頻干擾,，具有很好的抗干擾性。通過對PVC標準厚度片,，PCB板芯片膜層及鍺基SiO2膜層的測量實驗對系統(tǒng)性能進行了驗證，結果表明測厚系統(tǒng)具有1~75μm厚度的測量量程,，μm.的測量不確定度。由于無需對焦,，可在10ms內完成單次測量,，滿足工業(yè)級測量高效便捷的應用要求。 泰安膜厚儀產品基本性能要求