干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率，然而與薄膜自發(fā)產(chǎn)生的等傾干涉不同,，干涉法是通過設置參考光路,，形成與測量光路間的干涉條紋，因此其相位信息包含兩個部分,，分別是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內(nèi)部多次反射引起的膜厚相位,。干涉法測量光路使用面陣CCD接收參考平面和測量平面間相干波面的干涉光強分布，不同于以上三種點測量方式,，可一次性生成薄膜待測區(qū)域的表面形貌信息,，但同時由于存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算，完成單次測量的時間相對較長,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學涂層中的薄膜反射率測量,。益陽膜厚儀源頭直供廠家

在初始相位為零的情況下，當被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值,。為探測兩個光束之間的零光程差位置，需要精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺,，垂直掃描過程中,，用探測器記錄下干涉光強，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖,，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置，通過零過程差位置的精密定位,，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,；通過確定最大值對應的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度。江西膜厚儀詳情白光干涉膜厚測量技術可以應用于激光加工中的薄膜吸收率測量,。

確定靶丸折射率及厚度的算法,，由于干涉光譜信號與膜的光參量直接相關，這里主要考慮光譜分析的方法根據(jù)測量膜的反射或透射光譜進行分析計算,，可獲得膜的厚度,、折射率等參數(shù)。根據(jù)光譜信號分析計算膜折射率及厚度的方法主要有極值法和包絡法,、全光譜擬合法,。極值法測量膜厚度主要是根據(jù)薄膜反射或透射光譜曲線上的波峰的位置來計算，對于弱色散介質(zhì),，折射率為恒定值,，根據(jù)兩個或兩個以上的極大值點的位置,，求得膜的光學厚度，若已知膜折射率即可求解膜的厚度,；對于強色散介質(zhì),，首先利用極值點求出膜厚度的初始值。薄膜厚度是一恒定不變值,，可根據(jù)極大值點位置的光學厚度關系式獲得入射波長和折射率的對應關系,，再依據(jù)薄膜材質(zhì)的色散特性，引入合適的色散模型,，常用的色散模型有cauchy模型,、Selimeier模型、Lorenz模型等,，利用折射率與入射波長的關系式,，通過二乘法擬合得到色散模型的系數(shù)，即可解得任意入射波長下的折射率,。

根據(jù)以上分析可知,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點是：①能夠實現(xiàn)測量；②抗干擾能力強,，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關,；④結構簡單,，成本較低。但是,，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米,，達到亞微米的分辨率,，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm,。當所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近，難以區(qū)分,，此時時域解調(diào)方案的應用受到限制,。白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學通信中的薄膜透過率測量。

白光干涉的分析方法利用白光干涉感知空間位置的變化,，從而得到被測物體的信息,。它是在單色光相移干涉術的基礎上發(fā)展而來的。單色光相移干涉術利用光路使參考光和被測表面的反射光發(fā)生干涉,，再使用相移的方法調(diào)制相位,，利用干涉場中光強的變化計算出其每個數(shù)據(jù)點的初始相位,，但是這樣得到的相位是位于（-π,，+π]間,，所以得到的是不連續(xù)的相位。因此,，需要進行相位展開使其變?yōu)檫B續(xù)相位,。再利用高度與相位的信息求出被測物體的表面形貌。單色光相移法具有測量速度快,、測量分辨力高,、對背景光強不敏感等優(yōu)點。但是,，由于單色光干涉無法確定干涉條紋的零級位置,。因此，在相位解包裹中無法得到相位差的周期數(shù),，所以只能假定相位差不超過一個周期,，相當于測試表面的相鄰高度不能超過四分之一波長[27]。這就限制了其測量的范圍,，使它只能測試連續(xù)結構或者光滑表面結構,。白光干涉膜厚測量技術可以通過對干涉圖像的分析實現(xiàn)對薄膜的表面和內(nèi)部結構測量。新鄉(xiāng)常用膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術的研究需要對光學理論和光學儀器有較深入的了解,。益陽膜厚儀源頭直供廠家

干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內(nèi)的厚度進行解算,，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象。干涉法算法在于相位信息的提取,，借助多種復合算法通?？梢赃_到納米級的測量準確度。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳,，光學元件表面的不清潔,、光照度不均勻、光源不穩(wěn)定,、外界氣流震動干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39],，使干涉圖樣中包含噪聲和部分區(qū)域的陰影，給后期處理帶來困難,。除此之外,，干涉法系統(tǒng)精度的來源——精密移動及定位部件也增加了系統(tǒng)的成本，高精度的干涉儀往往較為昂貴,。益陽膜厚儀源頭直供廠家