在初始相位為零的情況下,，當被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值。為探測兩個光束之間的零光程差位置,，需要精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺，垂直掃描過程中,，用探測器記錄下干涉光強,，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖,，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置,，通過零過程差位置的精密定位，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,；通過確定最大值對應的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度,。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜的大范圍測量和分析。益陽膜厚儀推薦

論文所研究的鍺膜厚度約300nm,，導致其白光干涉輸出光譜只有一個干涉峰,，此時常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調的方案（如峰峰值法等）將不再適用。為此,，我們提出了一種基于單峰值波長移動的白光干涉測量方案,，并設計搭建了膜厚測量系統(tǒng)。溫度測量實驗結果表明,，峰值波長與溫度變化之間具有良好的線性關系,。利用該測量方案，我們測得實驗用鍺膜的厚度為338.8nm,，實驗誤差主要來自于溫度控制誤差和光源波長漂移,。論文通過對納米級薄膜厚度的測量方案研究，實現(xiàn)了對鍺膜和金膜的厚度測量,。論文主要的創(chuàng)新點是提出了白光干涉單峰值波長移動的解調方案,，并將其應用于極短光程差的測量。萍鄉(xiāng)防水膜厚儀白光干涉膜厚測量技術的精度可以達到納米級別,。

薄膜是指分子,、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料。近幾十年來,，隨著材料科學和鍍膜工藝的不斷發(fā)展,，厚度在納米量級（幾納米到幾百納米范圍內）薄膜的研究和應用迅速增加。與體材料相比,，因為納米薄膜的尺寸很小,，使得表面積與體積的比值增加，表面效應所表現(xiàn)出的性質非常突出,，因而在光學性質和電學性質上有許多獨特的表現(xiàn),。納米薄膜應用于傳統(tǒng)光學領域,，在生產(chǎn)實踐中也得到了越來越廣泛的應用，尤其是在光通訊,、光學測量,，傳感，微電子器件,，生物與醫(yī)學工程等領域的應用空間更為廣闊,。

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性,，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術,，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率，而且也減小了環(huán)境對它的影響,。此項技術能夠測量距離,、位移、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源，經(jīng)過分光棱鏡,，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測物體，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結合起來,，形成了一種精度高而且速度快的測量方法。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜的快速測量和分析,。

薄膜作為一種特殊的微結構,，近年來在電子學、摩擦學,、現(xiàn)代光學得到了廣泛的應用,，薄膜的測試技術變得越來越重要。尤其是在厚度這一特定方向上,，尺寸很小,，基本上都是微觀可測量,。因此，在微納測量領域中,，薄膜厚度的測試是一個非常重要而且很實用的研究方向,。在工業(yè)生產(chǎn)中，薄膜的厚度直接關系到薄膜能否正常工作,。在半導體工業(yè)中,，膜厚的測量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能,、力學性能和光學性能等,，所以準確地測量薄膜的厚度成為一種關鍵技術。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜內部結構的測量,。荊門國產(chǎn)膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術可以對不同材料的薄膜進行聯(lián)合測量和分析,。益陽膜厚儀推薦

白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題，具有動態(tài)測量范圍大,，連續(xù)測量時波動范圍小的特點,，但在實際測量中，由于測量誤差,、儀器誤差,、擬合誤差等因素，干涉級次的測量精度仍其受影響,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象,。導致公式計算得到的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差。為得到準確的干涉級次,，本文依據(jù)干涉級次的連續(xù)特性設計了以下校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學厚度的精確值。導入白光干涉光譜測量曲線,。益陽膜厚儀推薦