在初始相位為零的情況下,,當(dāng)被測(cè)光與參考光之間的光程差為零時(shí),光強(qiáng)度將達(dá)到最大值,。為探測(cè)兩個(gè)光束之間的零光程差位置,,需要精密Z向運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶動(dòng)干涉鏡頭作垂直掃描運(yùn)動(dòng)或移動(dòng)載物臺(tái),垂直掃描過程中,,用探測(cè)器記錄下干涉光強(qiáng),,可得白光干涉信號(hào)強(qiáng)度與Z向掃描位置(兩光束光程差)之間的變化曲線。干涉圖像序列中某波長處的白光信號(hào)強(qiáng)度隨光程差變化示意圖,,曲線中光強(qiáng)極大值位置即為零光程差位置,,通過零過程差位置的精密定位,即可實(shí)現(xiàn)樣品表面相對(duì)位移的精密測(cè)量,;通過確定最大值對(duì)應(yīng)的Z向位置可獲得被測(cè)樣品表面的三維高度,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的大范圍測(cè)量和分析。益陽膜厚儀推薦
論文所研究的鍺膜厚度約300nm,,導(dǎo)致其白光干涉輸出光譜只有一個(gè)干涉峰,,此時(shí)常規(guī)基于相鄰干涉峰間距解調(diào)的方案(如峰峰值法等)將不再適用。為此,,我們提出了一種基于單峰值波長移動(dòng)的白光干涉測(cè)量方案,,并設(shè)計(jì)搭建了膜厚測(cè)量系統(tǒng),。溫度測(cè)量實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,,峰值波長與溫度變化之間具有良好的線性關(guān)系。利用該測(cè)量方案,,我們測(cè)得實(shí)驗(yàn)用鍺膜的厚度為338.8nm,,實(shí)驗(yàn)誤差主要來自于溫度控制誤差和光源波長漂移。論文通過對(duì)納米級(jí)薄膜厚度的測(cè)量方案研究,實(shí)現(xiàn)了對(duì)鍺膜和金膜的厚度測(cè)量,。論文主要的創(chuàng)新點(diǎn)是提出了白光干涉單峰值波長移動(dòng)的解調(diào)方案,,并將其應(yīng)用于極短光程差的測(cè)量。萍鄉(xiāng)防水膜厚儀白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)的精度可以達(dá)到納米級(jí)別,。
薄膜是指分子,、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料。近幾十年來,,隨著材料科學(xué)和鍍膜工藝的不斷發(fā)展,,厚度在納米量級(jí)(幾納米到幾百納米范圍內(nèi))薄膜的研究和應(yīng)用迅速增加。與體材料相比,,因?yàn)榧{米薄膜的尺寸很小,,使得表面積與體積的比值增加,表面效應(yīng)所表現(xiàn)出的性質(zhì)非常突出,,因而在光學(xué)性質(zhì)和電學(xué)性質(zhì)上有許多獨(dú)特的表現(xiàn),。納米薄膜應(yīng)用于傳統(tǒng)光學(xué)領(lǐng)域,在生產(chǎn)實(shí)踐中也得到了越來越廣泛的應(yīng)用,,尤其是在光通訊,、光學(xué)測(cè)量,傳感,,微電子器件,,生物與醫(yī)學(xué)工程等領(lǐng)域的應(yīng)用空間更為廣闊。
白光干涉光譜分析是目前白光干涉測(cè)量的一個(gè)重要方向,,此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對(duì)條紋的測(cè)量轉(zhuǎn)變成為對(duì)不同波長光譜的測(cè)量,。通過分析被測(cè)物體的光譜特性,就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術(shù),,它不需要大量的掃描過程,因此提高了測(cè)量效率,,而且也減小了環(huán)境對(duì)它的影響,。此項(xiàng)技術(shù)能夠測(cè)量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,采用白光作為寬波段光源,,經(jīng)過分光棱鏡,,被分成兩束光,這兩束光分別入射到參考面和被測(cè)物體,,反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,,由色散元件分光至探測(cè)器,,記錄頻域上的干涉信號(hào)。此光譜信號(hào)包含了被測(cè)表面的信息,,如果此時(shí)被測(cè)物體是薄膜,,則薄膜的厚度也包含在這光譜信號(hào)當(dāng)中。這樣就把白光干涉的精度和光譜測(cè)量的速度結(jié)合起來,,形成了一種精度高而且速度快的測(cè)量方法,。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的快速測(cè)量和分析。
薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu),,近年來在電子學(xué),、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,,薄膜的測(cè)試技術(shù)變得越來越重要,。尤其是在厚度這一特定方向上,尺寸很小,,基本上都是微觀可測(cè)量,。因此,在微納測(cè)量領(lǐng)域中,,薄膜厚度的測(cè)試是一個(gè)非常重要而且很實(shí)用的研究方向,。在工業(yè)生產(chǎn)中,薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作,。在半導(dǎo)體工業(yè)中,,膜厚的測(cè)量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能,、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,,所以準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜內(nèi)部結(jié)構(gòu)的測(cè)量,。荊門國產(chǎn)膜厚儀
白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以對(duì)不同材料的薄膜進(jìn)行聯(lián)合測(cè)量和分析,。益陽膜厚儀推薦
白光光譜法克服了干涉級(jí)次的模糊識(shí)別問題,具有動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍大,,連續(xù)測(cè)量時(shí)波動(dòng)范圍小的特點(diǎn),,但在實(shí)際測(cè)量中,由于測(cè)量誤差,、儀器誤差,、擬合誤差等因素,干涉級(jí)次的測(cè)量精度仍其受影響,,會(huì)出現(xiàn)干擾級(jí)次的誤判和干擾級(jí)次的跳變現(xiàn)象,。導(dǎo)致公式計(jì)算得到的干擾級(jí)次m值與實(shí)際譜峰干涉級(jí)次m'(整數(shù))之間有誤差。為得到準(zhǔn)確的干涉級(jí)次,,本文依據(jù)干涉級(jí)次的連續(xù)特性設(shè)計(jì)了以下校正流程圖,,獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值,。導(dǎo)入白光干涉光譜測(cè)量曲線,。益陽膜厚儀推薦