對同一靶丸相同位置進行白光垂直掃描干涉，圖4-3是靶丸的垂直掃描干涉示意圖,，通過控制光學輪廓儀的運動機構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動,，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,，顯然，當一束平行光穿過靶丸后,，偏離靶丸中心越遠的光線,，測量到的有效壁厚越大，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，當垂直穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應靶丸的上、下殼層的厚度,。白光干涉膜厚測量技術(shù)的研究主要集中在實驗方法的優(yōu)化和算法的改進上,。福州膜厚儀

光譜法是以光的干涉效應為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測量方法，分為反射法和透射法兩類[12],。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應,，不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的，并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應關(guān)系,。因此,，根據(jù)這一光譜特性可以得到薄膜的厚度以及光學參數(shù)。光譜法的優(yōu)點是可以同時測量多個參數(shù)且可以有效的排除解的多值性,，測量范圍廣,，是一種無損測量技術(shù)；缺點是對樣品薄膜表面條件的依賴性強,，測量穩(wěn)定性較差,，因而測量精度不高；對于不同材料的薄膜需要使用不同波段的光源等,。目前,，這種方法主要應用于有機薄膜的厚度測量。松江區(qū)膜厚儀品牌企業(yè)白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對復雜薄膜結(jié)構(gòu)的測量,。

開展白光干涉理論分析,，在此基礎(chǔ)詳細介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理，完成了應用于靶丸殼層折射率和厚度分布測量實驗裝置的設(shè)計及搭建,。該實驗裝置主要由白光反射光譜探測模塊,、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊,、氣浮隔震平臺等幾部分組成,，可實現(xiàn)靶丸的負壓吸附,、靶丸位置的精密調(diào)整以及靶丸360°范圍的旋轉(zhuǎn)及特定角度下靶丸殼層白光反射光譜的測量,。基于白光垂直掃描干涉和白光反射光譜的基本原理,建立了二者聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法,，該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學厚度,，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量,，二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。

常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理示意圖,，入射的白光光束通過半反半透鏡進入到顯微干涉物鏡后,，被分光鏡分成兩部分，一個部分入射到固定的參考鏡,，一部分入射到樣品表面,，當參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后，再次匯聚發(fā)生干涉,，干涉光通過透鏡后,，利用電荷耦合器(CCD)可探測整個視場內(nèi)雙白光光束的干涉圖像。利用Z向精密位移臺帶動干涉鏡頭或樣品臺Z向掃描,，可獲得一系列的干涉圖像,。根據(jù)干涉圖像序列中對應點的光強隨光程差變化曲線，可得該點的Z向相對位移,；然后,，由CCD圖像中每個像素點光強最大值對應的Z向位置獲得被測樣品表面的三維形貌。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應用于光學薄膜設(shè)計中的薄膜參數(shù)測量,。

論文主要以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，研究了白光干涉法、表面等離子體共振法和外差干涉法實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性,。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同。半導體鍺膜具有折射率高,，在通信波段（1550nm附近）不透明的特點,，選擇采用白光干涉的測量方法；而厚度更薄的金膜的折射率為復數(shù),，且能激發(fā)明顯的表面等離子體效應,，因而可借助基于表面等離子體共振的測量方法；為了進一步改善測量的精度,，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調(diào)手段,，檢測P光與S光之間的相位差提升厚度測量的精度,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應用于太陽能電池中的薄膜光學參數(shù)測量。淄博膜厚儀

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應用于納米制造中的薄膜厚度測量,。福州膜厚儀

白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出，隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實現(xiàn),。1983年,，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應用。隨后在1984年,，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。該研究成果證明了白光干涉技術(shù)可以被用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量,。此后的幾年間，白光干涉應用于溫度,、壓力等的研究相繼被報道。自上世紀九十年代以來,，白光干涉技術(shù)快速發(fā)展，提供了實現(xiàn)測量的更多的解決方案,。近幾年以來,，由于傳感器設(shè)計與研制的進步,，信號處理新方案的提出,，以及傳感器的多路復用[39]等技術(shù)的發(fā)展，使得白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展更加迅速,。福州膜厚儀