在納米量級薄膜的各項相關(guān)參數(shù)中，薄膜材料的厚度是薄膜設(shè)計和制備過程中的重要參數(shù),，是決定薄膜性質(zhì)和性能的基本參量之一,，它對于薄膜的力學(xué)、光學(xué)和電磁性能等都有重要的影響[3],。但是由于納米量級薄膜的極小尺寸及其突出的表面效應(yīng)，使得對其厚度的準確測量變得困難。經(jīng)過眾多科研技術(shù)人員的探索和研究,，新的薄膜厚度測量理論和測量技術(shù)不斷涌現(xiàn),，測量方法實現(xiàn)了從手動到自動，有損到無損測量,。由于待測薄膜材料的性質(zhì)不同,，其適用的厚度測量方案也不盡相同。對于厚度在納米量級的薄膜,，利用光學(xué)原理的測量技術(shù)應(yīng)用,。相比于其他方法，光學(xué)測量方法因為具有精度高,，速度快,，無損測量等優(yōu)勢而成為主要的檢測手段。其中具有代表性的測量方法有干涉法,，光譜法,，橢圓偏振法，棱鏡耦合法等,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于材料科學(xué)中的薄膜微結(jié)構(gòu)分析,。薄膜干涉膜厚儀零售價格

光譜擬合法易于應(yīng)用于測量，但由于使用了迭代算法,，因此其優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著遺傳算法、模擬退火算法等全局優(yōu)化算法的引入,，被用于測量薄膜參數(shù),。該方法需要一個較好的薄膜光學(xué)模型(包括色散系數(shù)、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng)),，但實際測試過程中薄膜的色散和吸收的公式通常不準確，特別是對于多層膜體系,，建立光學(xué)模型非常困難,，無法用公式準確地表示出來。因此,，通常使用簡化模型,，全光譜擬合法在實際應(yīng)用中不如極值法有效。此外,，該方法的計算速度慢,，不能滿足快速計算的要求。薄膜干涉膜厚儀零售價格隨著技術(shù)的進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴展,。

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)劣，難以一概而論,。,，按照薄膜厚度的增加，適用的測量方式分別為分光光度法,、橢圓偏振法,、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合。而對于小于200nm的薄膜,，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結(jié)果更加可靠?；诎坠飧缮嬖淼墓鈱W(xué)薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，得到待測薄膜厚度。本章在詳細研究白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案,、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上,，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論,。在此基礎(chǔ)上，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調(diào)技術(shù),。

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。因此,，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差，進而得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點是解調(diào)速度較快,，受干擾信號的影響較小。但是其測量精度較低,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT（快速傅里葉變換）理論,，若輸入光源波長范圍為λ1,λ2，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),，所以此方法主要應(yīng)用于對解調(diào)精度要求不高的場合,。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進。該方法總結(jié)起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換,，然后濾波,、提取主頻信號后進行逆傅里葉變換,，然后做對數(shù)運算，并取其虛部做相位反包裹運算,，由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過實驗證明其測量精度比傅里葉變換高。白光干涉膜厚儀是一種可用于測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。

根據(jù)以上分析,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點如下：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量；②抗干擾能力強,，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,、光源波長的漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素無關(guān)；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān),；④結(jié)構(gòu)簡單,，成本較低。但是,，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，因此掃描裝置的分辨率會影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般在幾個微米,，要達到亞微米的分辨率則主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性所限制,。文獻[46]報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54微米。然而,，當所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近，難以區(qū)分,，此時時域解調(diào)方案的應(yīng)用受到了限制,。隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，其性能和功能會得到提高和擴展,。納米級膜厚儀推薦

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以通過對干涉曲線的分析實現(xiàn)對薄膜的厚度和形貌的聯(lián)合測量和分析,。薄膜干涉膜厚儀零售價格

自上世紀60年代開始，西方的工業(yè)生產(chǎn)線廣泛應(yīng)用基于X及β射線,、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng),。隨著質(zhì)檢需求的不斷增長，20世紀70年代后,，電渦流,、超聲波、電磁電容,、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世,。90年代中期，隨著離子輔助,、離子束濺射,、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)的出現(xiàn)，光學(xué)檢測技術(shù)也不斷更新迭代,，以橢圓偏振法和光度法為主導(dǎo)的高精度,、低成本、輕便,、高速穩(wěn)固的光學(xué)檢測技術(shù)迅速占領(lǐng)日用電器和工業(yè)生產(chǎn)市場,，并發(fā)展出了個性化定制產(chǎn)品的能力。對于市場占比較大的微米級薄膜,，除了要求測量系統(tǒng)具有百納米級的測量準確度和分辨率之外,，還需要在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場下具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力。薄膜干涉膜厚儀零售價格