在初始相位為零的情況下，當(dāng)被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強(qiáng)度將達(dá)到最大值。為了探測兩個光束之間的零光程差位置,，需要使用精密Z向運(yùn)動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運(yùn)動，或移動載物臺,。在垂直掃描過程中,，可以用探測器記錄下干涉光強(qiáng)，得到白光干涉信號強(qiáng)度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。通過干涉圖像序列中某波長處的白光信號強(qiáng)度隨光程差變化的示意圖,，可以找到光強(qiáng)極大值位置，即為零光程差位置,。通過精確確定零光程差位置,，可以實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量。同時,，通過確定最大值對應(yīng)的Z向位置,，也可以獲得被測樣品表面的三維高度,。操作需要一定的專業(yè)素養(yǎng)和經(jīng)驗,，需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實踐。膜厚儀位移計

根據(jù)以上分析,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點如下：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量,；②抗干擾能力強(qiáng)，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,、光源波長的漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素?zé)o關(guān),；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān)；④結(jié)構(gòu)簡單,，成本較低,。但是，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進(jìn)行相位補(bǔ)償,，因此掃描裝置的分辨率會影響系統(tǒng)的精度,。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般在幾個微米，要達(dá)到亞微米的分辨率則主要受機(jī)械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性所限制,。文獻(xiàn)[46]報道的位移掃描的分辨率可以達(dá)到0.54微米,。然而，當(dāng)所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近,，難以區(qū)分，此時時域解調(diào)方案的應(yīng)用受到了限制。微米級膜厚儀找哪家工作原理是基于膜層與底材反射率及相位差,，通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,。

針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜,。如何精確地測定靶丸的光學(xué)參數(shù),，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題。由于光學(xué)測量方法具有無損,、非接觸,、測量效率高、操作簡便等優(yōu)越性,，靶丸參數(shù)測量通常采用光學(xué)測量方式,。常用的光學(xué)參數(shù)測量手段很多，目前,，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)的測量方法有白光干涉法,、光學(xué)顯微干涉法、激光差動共焦法等,。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù),，因此，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義,。而常用的折射率測量方法,，如橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等。

光具有傳播的特性,，不同波列在相遇的區(qū)域,，振動將相互疊加，是各列光波獨自在該點所引起的振動矢量和,。兩束光要發(fā)生干涉,，應(yīng)必須滿足三個相干條件，即：頻率一致,、振動方向一致,、相位差恒定。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強(qiáng),，而在另一些地方振動減弱,，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化。任何干涉測量都是完全建立在這種光波典型特性上的,。下圖分別表示干涉相長和干涉相消的合振幅,。與激光光源相比,，白光光源的相干長度在幾微米到幾十微米內(nèi)，通常都很短,，更為重要的是,，白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個典型的特征：即條紋有一個固定不變的位置，該固定位置對應(yīng)于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強(qiáng)度具有最大值,，并通過探測該光強(qiáng)最大值，可實現(xiàn)樣品表面位移的精密測量,。此外,，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng)、穩(wěn)定性好且動態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單,，成本低廉等優(yōu)點。因此,，白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等基于白光干涉的光學(xué)測量技術(shù)在薄膜三維形貌測量、薄膜厚度精密測量等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用,。隨著技術(shù)的進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提升和擴(kuò)展。

光譜擬合法易于測量具有應(yīng)用領(lǐng)域,，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入,，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點是不夠?qū)嵱茫摲椒ㄐ枰粋€較好的薄膜的光學(xué)模型（包括色散系數(shù),、吸收系數(shù)、多層膜系統(tǒng)）,，但是在實際測試過程中,，薄膜的色散和吸收的公式會有出入，尤其是對于多層膜體系,，建立光學(xué)模型非常困難,，無法用公式準(zhǔn)確地表示出來。在實際應(yīng)用中只能使用簡化模型,，因此,，通常全光譜擬合法不如極值法有效。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求,。操作之前需要專業(yè)技能和經(jīng)驗的培訓(xùn)和實踐,。高速膜厚儀主要功能與優(yōu)勢

廣泛應(yīng)用于電子,、半導(dǎo)體、光學(xué),、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段。膜厚儀位移計

在激光慣性約束聚變（ICF）物理實驗中,，靶丸殼層折射率,、厚度以及其分布參數(shù)是非常關(guān)鍵的參數(shù)。因此,，實現(xiàn)對靶丸殼層折射率,、厚度及其分布的精密測量對精密ICF物理實驗研究非常重要。由于靶丸尺寸微小,、結(jié)構(gòu)特殊,、測量精度要求高，因此如何實現(xiàn)對靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中的重要內(nèi)容,。本文針對這一需求,，開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究。精確測量靶丸殼層折射率,、厚度及其分布是激光慣性約束聚變中至關(guān)重要的,，對于ICF物理實驗的研究至關(guān)重要。由于靶丸特殊的結(jié)構(gòu)和微小的尺寸,，以及測量的高精度要求,，如何實現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中的重要目標(biāo)。本文就此需求開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)的研究,。膜厚儀位移計